公开(公告)号：US09121093B2

公开(公告)日：2015-09-01

申请号：US13383343

申请日：2010-07-09

申请人： Christian Dussarrat ,  Clément Lansalot-Matras ,  Vincent M. Omarjee ,  Andrey V. Korolev

发明人： Christian Dussarrat ,  Clément Lansalot-Matras ,  Vincent M. Omarjee ,  Andrey V. Korolev

IPC分类号： C23C16/18 ,  C23C16/50 ,  C23C16/455

CPC分类号： C23C16/18 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/45553

摘要： Disclosed are processes for the use of bis-ketoiminate copper precursors for the deposition of copper-containing films via Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) or Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD).

摘要翻译： 公开了通过等离子体增强原子层沉积（PEALD）或等离子体增强化学气相沉积（PECVD）沉积含铜膜的双酮亚胺铜前体的使用方法。

公开(公告)号：US20120321817A1

公开(公告)日：2012-12-20

申请号：US13383343

申请日：2010-07-09

申请人： Christian Dussarrat ,  Clément Lansalot-Matras ,  Vincent M. Omarjee ,  Andrey V. Korolev

发明人： Christian Dussarrat ,  Clément Lansalot-Matras ,  Vincent M. Omarjee ,  Andrey V. Korolev

IPC分类号： C23C16/50

CPC分类号： C23C16/18 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/45553

摘要： Disclosed are processes for the use of bis-ketoiminate copper precursors for the deposition of copper-containing films via Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) or Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD).

摘要翻译： 公开了通过等离子体增强原子层沉积（PEALD）或等离子体增强化学气相沉积（PECVD）沉积含铜膜的双酮亚胺铜前体的使用方法。

公开(公告)号：US20130023669A1

公开(公告)日：2013-01-24

申请号：US13340875

申请日：2011-12-30

申请人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

发明人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

IPC分类号： C07F15/04 ,  C07F15/00 ,  C07F15/06 ,  C23C16/44 ,  C23C16/50

CPC分类号： C07F13/005 ,  C07F15/045 ,  C07F15/065 ,  C23C16/18 ,  C23C16/406 ,  C23C16/42 ,  C23C16/45553

摘要： Disclosed are precursors having a pyrrolecarbaldiminates ligand and methods of synthesizing the same. The pyrrolecarbaldiminates ligand may be substituted.

摘要翻译： 公开了具有吡咯亚甲基二胺配体的前体及其合成方法。 吡咯亚甲基二胺配体可以被取代。

公开(公告)号：US09034761B2

公开(公告)日：2015-05-19

申请号：US14159815

申请日：2012-06-29

申请人： Clément Lansalot-Matras ,  Andrey V. Korolev

发明人： Clément Lansalot-Matras ,  Andrey V. Korolev

IPC分类号： H01L21/44 ,  H01L21/285 ,  C07F15/04 ,  H01L21/768

CPC分类号： H01L21/28506 ,  C07F15/04 ,  H01L21/76838

摘要： Disclosed are metal-containing precursors having the formula Compound (I) wherein: —M is a metal selected from Ni, Co, Mn, Pd; and —each of R-1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, and R10 are independently selected from H; a C1-C4 linear, branched, or cyclic alkyl group; a C1-C4 linear, branched, or cyclic alkylsilyl group (mono, bis, or tris alkyl); a C1-C4 linear, branched, or cyclic alkylamino group; or a C1-C4 linear, branched, or cyclic fluoroalkyl group. Also disclosed are methods of synthesizing and using the disclosed metal-containing precursors to deposit metal-containing films on a substrate via a vapor deposition process.

摘要翻译： 公开了具有式化合物（I）的含金属的前体，其中：-M是选自Ni，Co，Mn，Pd的金属; R 1，R 2，R 3，R 4，R 5，R 6，R 7，R 8，R 9和R 10各自独立地选自H; C1-C4直链，支链或环状烷基; C1-C4直链，支链或环状烷基甲硅烷基（单，双或三烷基）; C1-C4直链，支链或环状烷基氨基; 或C 1 -C 4直链，支链或环状氟代烷基。 还公开了合成和使用所公开的含金属前体的方法，其通过气相沉积工艺将含金属的膜沉积在基底上。

公开(公告)号：US08686138B2

公开(公告)日：2014-04-01

申请号：US13341251

申请日：2011-12-30

申请人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

发明人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

IPC分类号： C07F15/00 ,  C07F17/02

CPC分类号： C07F13/005 ,  C07F15/045 ,  C07F15/065 ,  C23C16/18 ,  C23C16/406 ,  C23C16/42 ,  C23C16/45553

摘要： Disclosed are precursors having a pyrrolecarbaldiminates ligand and methods of synthesizing the same. The pyrrolecarbaldiminates ligand may be substituted.

公开(公告)号：US08431719B1

公开(公告)日：2013-04-30

申请号：US13340824

申请日：2011-12-30

申请人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

发明人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

IPC分类号： C07D209/00

CPC分类号： C07F1/005

摘要： Disclosed are precursors having a pyrrolecarbaldiminates ligand and methods of synthesizing the same. The pyrrolecarbaldiminates ligand may be substituted.

摘要翻译： 公开了具有吡咯亚甲基二胺配体的前体及其合成方法。 吡咯亚甲基二胺配体可以被取代。

公开(公告)号：US08691985B2

公开(公告)日：2014-04-08

申请号：US13340875

申请日：2011-12-30

申请人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

发明人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

IPC分类号： C07F3/02 ,  C07F15/04 ,  C07F15/06

CPC分类号： C07F13/005 ,  C07F15/045 ,  C07F15/065 ,  C23C16/18 ,  C23C16/406 ,  C23C16/42 ,  C23C16/45553

摘要： Disclosed are precursors having a pyrrolecarbaldiminates ligand and methods of synthesizing the same. The pyrrolecarbaldiminates ligand may be substituted.

摘要翻译： 公开了具有吡咯亚甲基二胺配体的前体及其合成方法。 吡咯亚甲基二胺配体可以被取代。

公开(公告)号：US20130023670A1

公开(公告)日：2013-01-24

申请号：US13341251

申请日：2011-12-30

申请人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

发明人： Andrey V. Korolev ,  Clément Lansalot-Matras

IPC分类号： C07F15/00 ,  C23C16/44 ,  C23C16/50 ,  C09D7/12

CPC分类号： C07F13/005 ,  C07F15/045 ,  C07F15/065 ,  C23C16/18 ,  C23C16/406 ,  C23C16/42 ,  C23C16/45553

摘要： Disclosed are precursors having a pyrrolecarbaldiminates ligand and methods of synthesizing the same. The pyrrolecarbaldiminates ligand may be substituted.

公开(公告)号：US09073952B1

公开(公告)日：2015-07-07

申请号：US13458579

申请日：2012-04-27

申请人： Zhiwen Wan ,  Ziyun Wang ,  Ashutosh Misra ,  Jean-Marc Girard ,  Andrey V. Korolev

发明人： Zhiwen Wan ,  Ziyun Wang ,  Ashutosh Misra ,  Jean-Marc Girard ,  Andrey V. Korolev

IPC分类号： C07F7/18 ,  C07F7/08 ,  C07F7/12

CPC分类号： C07F7/1804 ,  C07F7/0827 ,  C07F7/0896 ,  C07F7/125 ,  C07F7/1876

摘要： Si(OEt)2[CH2—Si(OEt)3]2 compounds are synthesized by reacting a Grignard reagent having the formula Si(OEt)3(CH2MgCl) with a quenching agent having the formula Si(OEt)2Cl2.

摘要翻译： 通过使具有式Si（OEt）3（CH2MgCl）的格氏试剂与具有式Si（OEt）2 Cl 2的淬灭剂反应，合成Si（OEt）2 [CH 2 -Si（OEt）3] 2化合物。

公开(公告)号：US08692010B1

公开(公告)日：2014-04-08

申请号：US13549067

申请日：2012-07-13

申请人： Andrey V. Korolev ,  Venkateswara R. Pallem

发明人： Andrey V. Korolev ,  Venkateswara R. Pallem

IPC分类号： C07F1/08

CPC分类号： C07C225/14 ,  C07C251/12

摘要： Disclosed are synthesis methods to produce copper bis-ketoiminate and copper bis-ketiminate compounds.

摘要翻译： 公开了生产双 - 酮亚铜酸铜和双 - 酮亚胺铜化合物的合成方法。