公开(公告)号：US20120280347A1

公开(公告)日：2012-11-08

申请号：US13550364

申请日：2012-07-16

Applicant: Dongwoo SUH ,  Sanghoon KIM ,  Jiho JOO ,  Gyungock KIM

Inventor： Dongwoo SUH ,  Sanghoon KIM ,  Jiho JOO ,  Gyungock KIM

IPC: H01L31/0232

CPC classification number: G02B6/12004 ,  G02B6/131 ,  G02B6/136 ,  G02B2006/121 ,  H01L31/0352

Abstract: Provided is a waveguide photodetector that may improve an operation speed and increase or maximize productivity. The waveguide photodetector includes a waveguide layer extending in a first direction, an absorption layer disposed on the waveguide layer, a first electrode disposed on the absorption layer, a second electrode disposed on the waveguide layer, the second electrode being spaced from the first electrode and the absorption layer in a second direction crossing the first direction, and at least one bridge electrically connecting the absorption layer to the second electrode.

Abstract translation: 提供了可以提高操作速度并增加或最大化生产率的波导光电检测器。 波导光电检测器包括沿第一方向延伸的波导层，设置在波导层上的吸收层，设置在吸收层上的第一电极，设置在波导层上的第二电极，第二电极与第一电极间隔开， 所述吸收层在与所述第一方向交叉的第二方向上，以及至少一个电桥将所述吸收层电连接到所述第二电极。

公开(公告)号：US20110049660A1

公开(公告)日：2011-03-03

申请号：US12763990

申请日：2010-04-20

Applicant: Dongwoo SUH ,  Sanghoon Kim ,  Jiho Joo ,  Gyungock Kim

Inventor： Dongwoo SUH ,  Sanghoon Kim ,  Jiho Joo ,  Gyungock Kim

IPC: H01L31/0232

CPC classification number: G02B6/12004 ,  G02B6/131 ,  G02B6/136 ,  G02B2006/121 ,  H01L31/0352

Abstract: Provided is a waveguide photodetector that may improve an operation speed and increase or maximize productivity. The waveguide photodetector includes a waveguide layer extending in a first direction, an absorption layer disposed on the waveguide layer, a first electrode disposed on the absorption layer, a second electrode disposed on the waveguide layer, the second electrode being spaced from the first electrode and the absorption layer in a second direction crossing the first direction, and at least one bridge electrically connecting the absorption layer to the second electrode.

Abstract translation: 提供了可以提高操作速度并增加或最大化生产率的波导光电检测器。 波导光电检测器包括沿第一方向延伸的波导层，设置在波导层上的吸收层，设置在吸收层上的第一电极，设置在波导层上的第二电极，第二电极与第一电极间隔开， 所述吸收层在与所述第一方向交叉的第二方向上，以及至少一个电桥将所述吸收层电连接到所述第二电极。

公开(公告)号：US20100102412A1

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：US12404275

申请日：2009-03-13

Applicant: Dongwoo SUH ,  Sam Hoon KIM ,  Gyungock KIM ,  JiHo JOO

Inventor： Dongwoo SUH ,  Sam Hoon KIM ,  Gyungock KIM ,  JiHo JOO

IPC: H01L33/00 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L31/028 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02667 ,  H01L31/103 ,  H01L31/1808 ,  H01L31/1872 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: Provided is a germanium photodetector having a germanium epitaxial layer formed without using a buffer layer and a method of fabricating the same. In the method, an amorphous germanium layer is formed on a substrate. The amorphous germanium layer is heated up to a high temperature to form a crystallized germanium layer. A germanium epitaxial layer is formed on the crystallized germanium layer.

Abstract translation: 提供了具有不使用缓冲层形成的锗外延层的锗光电检测器及其制造方法。 在该方法中，在基板上形成无定形锗层。 将非晶锗层加热至高温以形成结晶的锗层。 在结晶的锗层上形成锗外延层。