公开(公告)号：US06872665B1

公开(公告)日：2005-03-29

申请号：US09599718

申请日：2000-06-22

申请人： Francis G. Celii ,  Guoqiang Xing ,  Andrew McKerrow ,  Andrew Ralston ,  Zhicheng Tang ,  Kenneth J. Newton ,  Robert Kraft ,  Jeff West

发明人： Francis G. Celii ,  Guoqiang Xing ,  Andrew McKerrow ,  Andrew Ralston ,  Zhicheng Tang ,  Kenneth J. Newton ,  Robert Kraft ,  Jeff West

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L21/20

CPC分类号： H01L21/76808

摘要： A dual damascene process flow for forming interconnect lines and vias in which at least part of the via (116) is etched prior to the trench etch. A low-k material such as a thermoset organic polymer is used for the ILD (106) and IMD (110). After the at least partial via etch, a BARC (120) is deposited over the structure including in the via (116). Then, the trench (126) is patterned and etched. Although at least some of the BARC (120) material is removed during the trench etch, the bottom of the via (116) is protected.

摘要翻译： 用于形成互连线和通孔的双镶嵌工艺流程，其中在沟槽蚀刻之前蚀刻至少部分通孔（116）。 使用低k材料如热固性有机聚合物用于ILD（106）和IMD（110）。 在至少部分通孔蚀刻之后，BARC（120）沉积在包括在通孔（116）中的结构上。 然后，对沟槽（126）进行图案化和蚀刻。 虽然在沟槽蚀刻期间去除了至少一些BARC（120）材料，但是通孔（116）的底部被保护。

公开(公告)号：US09895686B2

公开(公告)日：2018-02-20

申请号：US13505219

申请日：2009-12-01

申请人： Xionghou Gao ,  Dong Ji ,  Haitao Zhang ,  Hongchang Duan ,  Di Li ,  ZhengGuo Tan ,  Yi Su ,  Zhicheng Tang ,  Yi Wang ,  Yanqing Ma ,  Yanbo Sun

发明人： Xionghou Gao ,  Dong Ji ,  Haitao Zhang ,  Hongchang Duan ,  Di Li ,  ZhengGuo Tan ,  Yi Su ,  Zhicheng Tang ,  Yi Wang ,  Yanqing Ma ,  Yanbo Sun

IPC分类号： B01J29/06 ,  B01J37/28 ,  B01J29/04 ,  B01J29/12 ,  B01J29/068 ,  B01J29/44 ,  B01J29/74 ,  C01B39/02 ,  C07C4/06 ,  C10G11/18 ,  B01J37/02 ,  B01J37/08

CPC分类号： B01J37/28 ,  B01J29/041 ,  B01J29/061 ,  B01J29/068 ,  B01J29/126 ,  B01J29/44 ,  B01J29/7415 ,  B01J37/0207 ,  B01J37/0236 ,  B01J37/08 ,  B01J2229/186 ,  B01J2229/24 ,  B01J2229/37 ,  B01J2229/40 ,  C01B39/026 ,  C07C4/06 ,  C07C2529/12 ,  C07C2529/22 ,  C07C2529/44 ,  C07C2529/74 ,  C10G11/18 ,  C10G2300/1044 ,  C10G2400/20 ,  C07C11/02

摘要： A method for producing double-component modified molecular sieve comprises adding molecular sieve to an aqueous solution containing phosphorus to form a mixture, allowing the mixture to react at pH of 1-10, temperature of 70-200° C. and pressure of 0.2-1.2 MPa for 10-200 min, and then filtering, drying and baking the resultant to obtain phosphorus-modified molecular sieve, and then adding the phosphorus-modified molecular sieve to an aqueous solution containing silver ions, allowing the phosphorus-modified molecular sieve to react with silver ions at 0-100° C. in dark condition for 30-150 min, and then filtering, drying and baking. The obtained double-component modified molecular sieve contains 88-99 wt % molecular sieve with a ratio of silica to alumina between 15 and 60, 0.5-10 wt % phosphorus (based on oxides) and 0.01-2 wt % silver (based on oxides), all based on dry matter. A catalyst produced from the double-component modified molecular sieve has improved hydrothermal stability and microactivity.

公开(公告)号：US06542221B1

公开(公告)日：2003-04-01

申请号：US09672531

申请日：2000-09-28

申请人： Zhicheng Tang ,  Roger M. Terry

发明人： Zhicheng Tang ,  Roger M. Terry

IPC分类号： G03B2752

CPC分类号： G03F7/70641

摘要： A method (40) of determining a best focus for an integrated circuit stepper (10). The method repeats various steps for a plurality of different focus levels. The repeated steps include forming a first element group (C1) on a wafer (30F1), where the first element group comprises one or more elements and each of the one or more elements in the first element group has a shape. The repeated steps further include defining a first reference point (CC1) for the first element group at a position relative to the shape of the one or more elements in the first element group. Similarly, the repeated steps include forming a second element group (C2) on the wafer, where the second group comprises one or more elements and each of the one or more elements in the second element group has a shape, and defining a second reference point (CC2) for the second element group at a position relative to the shape of the one or more elements in the second element group. Still another repeated step is measuring a distance between the first reference point and the second reference point such that a distance measurement is identified for each of the plurality of different focus levels. Finally, the method selects as the best focus a focus level from the plurality of different focus levels and corresponding to a selected one of the distance measurements.

摘要翻译： 一种确定集成电路步进器（10）的最佳焦点的方法（40）。 该方法针对多个不同的焦点级别重复各种步骤。 重复的步骤包括在晶片（30F1）上形成第一元件组（C1），其中第一元件组包括一个或多个元件，并且第一元件组中的一个或多个元件中的每一个都具有形状。 重复的步骤还包括在相对于第一元素组中的一个或多个元素的形状的位置处定义第一元素组的第一参考点（CC1）。 类似地，重复的步骤包括在晶片上形成第二元件组（C2），其中第二组包括一个或多个元件，并且第二元件组中的一个或多个元件中的每一个都具有形状，并且限定第二参考点 （CC2），用于在相对于第二元素组中的一个或多个元素的形状的位置处的第二元素组。 另一重复步骤是测量第一参考点和第二参考点之间的距离，使得针对多个不同聚焦水平中的每一个标识距离测量。 最后，该方法从多个不同焦点级别中选择最佳聚焦焦点水平，并对应于所选距离测量中的一个。

公开(公告)号：US20120275994A1

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：US13505219

申请日：2009-12-01

申请人： Xionghou Gao ,  Dong Ji ,  Haitao Zhang ,  Hongchang Duan ,  Di Li ,  ZhengGuo Tan ,  Yi Su ,  Zhicheng Tang ,  Yi Wang ,  Yanqing Ma ,  Yanbo Sun

发明人： Xionghou Gao ,  Dong Ji ,  Haitao Zhang ,  Hongchang Duan ,  Di Li ,  ZhengGuo Tan ,  Yi Su ,  Zhicheng Tang ,  Yi Wang ,  Yanqing Ma ,  Yanbo Sun

IPC分类号： C01B39/02 ,  C01B39/38

CPC分类号： B01J37/28 ,  B01J29/041 ,  B01J29/061 ,  B01J29/068 ,  B01J29/126 ,  B01J29/44 ,  B01J29/7415 ,  B01J37/0207 ,  B01J37/0236 ,  B01J37/08 ,  B01J2229/186 ,  B01J2229/24 ,  B01J2229/37 ,  B01J2229/40 ,  C01B39/026 ,  C07C4/06 ,  C07C2529/12 ,  C07C2529/22 ,  C07C2529/44 ,  C07C2529/74 ,  C10G11/18 ,  C10G2300/1044 ,  C10G2400/20 ,  C07C11/02

摘要： A method for producing double-component modified molecular sieve comprises adding molecular sieve to an aqueous solution containing phosphorus to form a mixture, allowing the mixture to react at pH of 1-10, temperature of 70-200° C. and pressure of 0.2-1.2 MPa for 10-200 min, and then filtering, drying and baking the resultant to obtain phosphorus-modified molecular sieve, and then adding the phosphorus-modified molecular sieve to an aqueous solution containing silver ions, allowing the phosphorus-modified molecular sieve to react with silver ions at 0-100° C. in dark condition for 30-150 min, and then filtering, drying and baking. The obtained double-component modified molecular sieve contains 88-99 wt % molecular sieve with a ratio of silica to alumina between 15 and 60, 0.5-10 wt % phosphorus (based on oxides) and 0.01-2 wt % silver (based on oxides), all based on dry matter. A catalyst produced from the double-component modified molecular sieve has improved hydrothermal stability and microactivity.

摘要翻译： 制备双组分改性分子筛的方法包括向含磷的水溶液中加入分子筛以形成混合物，使混合物在1-10℃的温度下反应，温度为70-200℃，压力为0.2- 1.2MPa，10-200min，然后过滤，干燥和烘焙得到磷改性分子筛，然后将磷改性分子筛加入含银离子的水溶液中，使磷改性分子筛 在0-100℃的黑色条件下与银离子反应30-150分钟，然后过滤，干燥和烘烤。 得到的双组分改性分子筛含有88-99重量％的分子筛，二氧化硅与氧化铝的比例为15-60，0.5-10重量％磷（基于氧化物）和0.01-2重量％银（基于氧化物 ），都是基于干物质。 由双组分改性分子筛生产的催化剂具有改善的水热稳定性和微活性。

公开(公告)号：US06967920B2

公开(公告)日：2005-11-22

申请号：US09911338

申请日：2001-07-23

申请人： Michael Seidl ,  Jun Tang ,  Zhicheng Tang

发明人： Michael Seidl ,  Jun Tang ,  Zhicheng Tang

IPC分类号： H04J3/06 ,  H04L12/56 ,  H04J3/14

CPC分类号： H04L12/5601 ,  H04J3/0685

摘要： An apparatus and method for improving data transfers between a network and a network device is provided. The apparatus comprising a data input, a programmable counter adapted to counting the number of data packets received, an interrupt generator for signaling a microprocessor upon a signal from said programmable counter, a data processing block for examining the contents of data packets for an end-of-packet flag, and an output.

摘要翻译： 提供一种用于改善网络和网络设备之间的数据传输的装置和方法。 该装置包括一数据输入端，一可编程计数器，用于对接收到的数据分组数进行计数;一中断发生器，用于根据来自所述可编程计数器的信号发送微处理器;一数据处理模块，用于检查数据分组的内容， 分组标志和输出。

公开(公告)号：US20050207418A1

公开(公告)日：2005-09-22

申请号：US10801427

申请日：2004-03-16

申请人： Zhicheng Tang ,  Balaji Srinivasan

发明人： Zhicheng Tang ,  Balaji Srinivasan

IPC分类号： H04L12/56 ,  H04L29/06

CPC分类号： H04L12/5601 ,  H04L69/04 ,  H04L69/22 ,  H04L2012/5615 ,  H04L2012/5652

摘要： A communication method is based on a communications standard such as, for example, asynchronous transfer mode (ATM), that defines a cell format 110 with a standard header 5 of a standard length M (for ATM, five octets). The method involves forming an abbreviated header 2 of length m

摘要翻译： 通信方法基于通信标准，例如异步传输模式（ATM），其定义具有标准长度M（对于ATM，五个八位字节）的标准头5的小区格式110。 该方法包括形成长度为m