公开(公告)号：US20130058728A1

公开(公告)日：2013-03-07

申请号：US13601512

申请日：2012-08-31

申请人： Gang Xiong ,  Feng Liao ,  Rick C. Powell

发明人： Gang Xiong ,  Feng Liao ,  Rick C. Powell

IPC分类号： B65G53/08

CPC分类号： C23C14/24 ,  B65G53/16 ,  C23C14/228

摘要： An improved feeder system and method for a vapor transport deposition system that includes a carrier gas bypass flow line to allow for continuous carrier gas flow to a vaporizer unit when a vibratory unit which supplies powdered material and carrier gas to the vaporizer unit is out of service. A process gas flow line to the vibratory unit may be included when the powdered material contains a powdered dopant in the material mix.

摘要翻译： 一种用于蒸气传输沉积系统的改进的馈送系统和方法，其包括载气旁路流线，以便当向蒸发器单元供应粉末材料和载气的振动单元失去使用时，允许连续的载气流向蒸发器单元 。 当粉末材料在材料混合物中含有粉末掺杂剂时，可以包括到振动单元的工艺气体流线。

公开(公告)号：US09359668B2

公开(公告)日：2016-06-07

申请号：US13601512

申请日：2012-08-31

申请人： Gang Xiong ,  Feng Liao ,  Rick C. Powell

发明人： Gang Xiong ,  Feng Liao ,  Rick C. Powell

IPC分类号： B65G53/40 ,  C23C14/22

CPC分类号： C23C14/24 ,  B65G53/16 ,  C23C14/228

摘要： An improved feeder system and method for a vapor transport deposition system that includes a carrier gas bypass flow line to allow for continuous carrier gas flow to a vaporizer unit when a vibratory unit which supplies powdered material and carrier gas to the vaporizer unit is out of service. A process gas flow line to the vibratory unit may be included when the powdered material contains a powdered dopant in the material mix.

摘要翻译： 一种用于蒸气传输沉积系统的改进的馈送系统和方法，其包括载气旁路流线，以便当向蒸发器单元供应粉末材料和载气的振动单元失去使用时，允许连续的载气流向蒸发器单元 。 当粉末材料在材料混合物中含有粉末掺杂剂时，可以包括到振动单元的工艺气体流线。

公开(公告)号：US20130017317A1

公开(公告)日：2013-01-17

申请号：US13549118

申请日：2012-07-13

申请人： Kenneth M. Ring ,  Rick C. Powell ,  William Logan ,  Feng Liao ,  Xilin Peng

发明人： Kenneth M. Ring ,  Rick C. Powell ,  William Logan ,  Feng Liao ,  Xilin Peng

IPC分类号： C23C16/52

CPC分类号： C23C14/566 ,  C23C16/52

摘要： Method and apparatus for controlling evacuation pressure of a load lock connected to a processing chamber uses prior pressure changes detected in the processing chamber when the load lock communicates with the processing chamber.

摘要翻译： 用于控制连接到处理室的负载锁的抽空压力的方法和装置在加载锁与处理室通信时使用在处理室中检测到的先前的压力变化。

公开(公告)号：US20100040780A1

公开(公告)日：2010-02-18

申请号：US12228392

申请日：2008-08-12

申请人： John Mariner ,  Douglas A. Longworth ,  Donald William Pultz, JR. ,  Feng Liao ,  David M. Rusinko ,  Zhong-Hao Lu ,  Timothy J. Hejl

发明人： John Mariner ,  Douglas A. Longworth ,  Donald William Pultz, JR. ,  Feng Liao ,  David M. Rusinko ,  Zhong-Hao Lu ,  Timothy J. Hejl

IPC分类号： C23C16/448

CPC分类号： C23C14/243

摘要： A containment vessel for evaporating materials for use in applying film coatings to a substrate includes a body fabricated from a refractory material. In one embodiment the body includes end portions capable of being connected to other bodies in an end to end fashion. In another embodiment, the body includes an integral patterned conductor incorporated into the outer surface portion of the body to facilitate association with an electrical power source for heating.

摘要翻译： 用于将薄膜涂料用于蒸镀材料的容纳容器包括由耐火材料制成的主体。 在一个实施例中，主体包括能够以端对端方式连接到其他主体的端部。 在另一个实施例中，主体包括结合到主体的外表面部分中的整体图案化导体，以便于与用于加热的电源相关联。

公开(公告)号：US08512806B2

公开(公告)日：2013-08-20

申请号：US12228392

申请日：2008-08-12

申请人： John Mariner ,  Douglas A. Longworth ,  Donald William Pultz, Jr. ,  Feng Liao ,  David M. Rusinko ,  Zhong-Hao Lu ,  Timothy J. Hejl

发明人： John Mariner ,  Douglas A. Longworth ,  Donald William Pultz, Jr. ,  Feng Liao ,  David M. Rusinko ,  Zhong-Hao Lu ,  Timothy J. Hejl

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： C23C14/243

摘要： A containment vessel for evaporating materials for use in applying film coatings to a substrate includes a body fabricated from a refractory material. In one embodiment the body includes end portions capable of being connected to other bodies in an end to end fashion. In another embodiment, the body includes an integral patterned conductor incorporated into the outer surface portion of the body to facilitate association with an electrical power source for heating.

摘要翻译： 用于将薄膜涂料用于蒸镀材料的容纳容器包括由耐火材料制成的主体。 在一个实施例中，主体包括能够以端对端方式连接到其他主体的端部。 在另一个实施例中，主体包括结合到主体的外表面部分中的整体图案化导体，以便于与用于加热的电源相关联。