公开(公告)号：US3266953A

公开(公告)日：1966-08-16

申请号：US33887764

申请日：1964-01-20

Applicant: IBM

Inventor： DILL JR FREDERICK H

IPC: C30B31/00 ,  H01L21/00 ,  H01L21/24 ,  H01L29/00 ,  H01L29/06 ,  H01L29/167 ,  H01L29/36 ,  H01L29/68 ,  H01L29/88

CPC classification number: H01L29/68 ,  C30B31/00 ,  H01L21/00 ,  H01L21/24 ,  H01L29/00 ,  H01L29/06 ,  H01L29/167 ,  H01L29/36 ,  H01L29/88

公开(公告)号：US3398335A

公开(公告)日：1968-08-20

申请号：US44678065

申请日：1965-03-31

Applicant: IBM

Inventor： DILL JR FREDERICK H

IPC: H01L21/331 ,  H01L23/29 ,  H01L23/482 ,  H01L29/00

CPC classification number: H01L23/291 ,  H01L23/4824 ,  H01L29/00 ,  H01L29/66272 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S148/122 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：US3333146A

公开(公告)日：1967-07-25

申请号：US37859664

申请日：1964-06-29

Applicant: IBM

Inventor： DILL JR FREDERICK H ,  KONNERTH JR KARL L

IPC: G02F2/00 ,  H01J3/02 ,  H01J31/00 ,  H04N5/228

CPC classification number: H01J3/024 ,  G02F2/00 ,  H01J31/00 ,  H04N5/228

公开(公告)号：US3247576A

公开(公告)日：1966-04-26

申请号：US23414162

申请日：1962-10-30

Applicant: IBM

Inventor： DILL JR FREDERICK H ,  RUTZ RICHARD F

IPC: B28D5/00 ,  H01L21/301 ,  H01L21/304 ,  H01L33/00 ,  H01S3/06 ,  H01S5/32

CPC classification number: H01S5/32 ,  B28D5/0023 ,  H01L21/3043 ,  H01L33/00 ,  Y10S148/028 ,  Y10S148/115 ,  Y10S148/145 ,  Y10T225/10

公开(公告)号：US3341937A

公开(公告)日：1967-09-19

申请号：US26002063

申请日：1963-02-20

Applicant: IBM

Inventor： DILL JR FREDERICK H

IPC: H01L21/78 ,  H01S5/22 ,  H01S5/32

CPC classification number: H01S5/32 ,  H01L21/78 ,  H01S5/22

公开(公告)号：US3239393A

公开(公告)日：1966-03-08

申请号：US24867962

申请日：1962-12-31

Applicant: IBM

Inventor： DILL JR FREDERICK H

IPC: C30B31/16 ,  H01L21/00

CPC classification number: C30B31/165 ,  H01L21/00 ,  Y10S252/951