公开(公告)号：US07768721B2

公开(公告)日：2010-08-03

申请号：US12143322

申请日：2008-06-20

申请人： Jochen Weber ,  Erich Merz ,  Ole Fluegge ,  Kai-Uwe Berroth ,  Cornelia Buehler ,  Markus Hauf

发明人： Jochen Weber ,  Erich Merz ,  Ole Fluegge ,  Kai-Uwe Berroth ,  Cornelia Buehler ,  Markus Hauf

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G03F7/70825

摘要： In some embodiments, the disclosure relates to an optical assembly that includes an optical element and a structure element. A gap runs between the optical element and the structure element. A sealing element may be present to seal the gap. At least one liquid layer may be arranged between the structure element and/or the optical element, and the sealing element so that a relative displacement of the sealing element with respect to the structure element and/or the optical element is possible in the direction of the layer plane.

摘要翻译： 在一些实施例中，本公开涉及一种包括光学元件和结构元件的光学组件。 间隙在光学元件和结构元件之间延伸。 可以存在密封元件以密封间隙。 至少一个液体层可以布置在结构元件和/或光学元件和密封元件之间，使得密封元件相对于结构元件和/或光学元件的相对位移可以在 层平面。

公开(公告)号：US20080316621A1

公开(公告)日：2008-12-25

申请号：US12143322

申请日：2008-06-20

申请人： Jochen Weber ,  Erich Merz ,  Ole Fluegge ,  Kai-Uwe Berroth ,  Cornelia Buehler ,  Markus Hauf

发明人： Jochen Weber ,  Erich Merz ,  Ole Fluegge ,  Kai-Uwe Berroth ,  Cornelia Buehler ,  Markus Hauf

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G03F7/70825

摘要： In some embodiments, the disclosure relates to an optical assembly that includes an optical element and a structure element. A gap runs between the optical element and the structure element. A sealing element may be present to seal the gap. At least one liquid layer may be arranged between the structure element and/or the optical element, and the sealing element so that a relative displacement of the sealing element with respect to the structure element and/or the optical element is possible in the direction of the layer plane.

摘要翻译： 在一些实施例中，本公开涉及一种包括光学元件和结构元件的光学组件。 间隙在光学元件和结构元件之间延伸。 可以存在密封元件以密封间隙。 至少一个液体层可以布置在结构元件和/或光学元件和密封元件之间，使得密封元件相对于结构元件和/或光学元件的相对位移可以在 层平面。

公开(公告)号：US20110199597A1

公开(公告)日：2011-08-18

申请号：US13096112

申请日：2011-04-28

申请人： Wolfgang Hummel ,  Jurgen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schöngart ,  Markus Neumaier ,  Bärbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Mühlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Wolfgang Hummel ,  Jurgen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schöngart ,  Markus Neumaier ,  Bärbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Mühlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/52

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70825

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography has at least one optical element and at least one manipulator, having a linear drive, for manipulating the position of the optical element. The linear drive has a driven subregion and a nondriven subregion, which are movable relative to one another in the direction of a movement axis. The subregions are interconnected at least temporarily via functional elements with an active axis and via functional elements with an active direction at least approximately parallel to the movement axis.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置具有至少一个光学元件和至少一个具有线性驱动的操纵器，用于操纵光学元件的位置。 线性驱动器具有驱动区域和非驱动子区域，它们可以在运动轴线的方向上相对于彼此移动。 至少临时地通过具有主动轴的功能元件和通过至少大致平行于运动轴的有源方向的功能元件临时地互相连接。

公开(公告)号：US20060164619A1

公开(公告)日：2006-07-27

申请号：US11316160

申请日：2005-12-21

申请人： Stephan Back ,  Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Schwaer ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Stephan Back ,  Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Schwaer ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70825 ,  G03F7/70258

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography comprises at least one optical element and at least one manipulator, a linear drive for manipulating the position of the optical element. Said linear drive has at least one moving element, said moving element having a shearing part and a lifting part. Said shearing part is arranged to move the optical element and said lifting part is arranged to move said shearing part. Said linear drive has a supporting element which is in contact with and prevents movement of the optical element while the shearing part is moved by the lifting part.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置包括至少一个光学元件和至少一个操纵器，用于操纵光学元件的位置的线性驱动器。 所述线性驱动器具有至少一个移动元件，所述移动元件具有剪切部分和提升部分。 所述剪切部分被布置成移动光学元件，并且所述提升部分被布置成移动所述剪切部分。 所述线性驱动器具有支撑元件，该支撑元件在剪切部分被提升部分移动的同时与光学元件接触并防止其移动。

公开(公告)号：US08514371B2

公开(公告)日：2013-08-20

申请号：US13096112

申请日：2011-04-28

申请人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/52 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70825

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography has at least one optical element and at least one manipulator, having a linear drive, for manipulating the position of the optical element. The linear drive has a driven subregion and a nondriven subregion, which are movable relative to one another in the direction of a movement axis. The subregions are interconnected at least temporarily via functional elements with an active axis and via functional elements with an active direction at least approximately parallel to the movement axis.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置具有至少一个光学元件和至少一个具有线性驱动的操纵器，用于操纵光学元件的位置。 线性驱动器具有驱动区域和非驱动子区域，它们可以在运动轴线的方向上相对于彼此移动。 至少临时地通过具有主动轴的功能元件和通过至少大致平行于运动轴的有源方向的功能元件临时地互相连接。

公开(公告)号：US07486382B2

公开(公告)日：2009-02-03

申请号：US11316160

申请日：2005-12-21

申请人： Stephan Back ,  Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Schwaer ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Stephan Back ,  Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Schwaer ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/42 ,  G03B27/52 ,  G02B7/02

CPC分类号： G03F7/70825 ,  G03F7/70258

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography includes at least one optical element and at least one manipulator, a linear drive for manipulating the position of the optical element. The linear drive has at least one moving element, the moving element having a shearing part and a lifting part. The shearing part is arranged to move the optical element and the lifting part is arranged to move the shearing part. The linear drive has a supporting element which is in contact with and prevents movement of the optical element while the shearing part is moved by the lifting part.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置包括至少一个光学元件和至少一个操纵器，用于操纵光学元件的位置的线性驱动器。 线性驱动器具有至少一个移动元件，移动元件具有剪切部分和提升部分。 剪切部分被布置成移动光学元件，并且提升部分被布置成移动剪切部分。 线性驱动器具有支撑元件，该支撑元件在通过提升部分移动剪切部分的同时与光学元件接触并防止其移动。

公开(公告)号：US07961294B2

公开(公告)日：2011-06-14

申请号：US12247597

申请日：2008-10-08

申请人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/42 ,  G03B27/52 ,  G03B7/02

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70825

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography has at least one optical element and at least one manipulator, having a linear drive, for manipulating the position of the optical element. The linear drive has a driven subregion and a nondriven subregion, which are movable relative to one another in the direction of a movement axis. The subregions are interconnected at least temporarily via functional elements with an active axis and via functional elements with an active direction at least approximately parallel to the movement axis.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置具有至少一个光学元件和至少一个具有线性驱动的操纵器，用于操纵光学元件的位置。 线性驱动器具有驱动区域和非驱动子区域，它们可以在运动轴线的方向上相对于彼此移动。 至少临时地通过具有主动轴的功能元件和通过至少大致平行于运动轴的有源方向的功能元件临时地互相连接。

公开(公告)号：US07304717B2

公开(公告)日：2007-12-04

申请号：US10250495

申请日：2002-12-17

申请人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schoengart ,  Markus Neumaier ,  Baerbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/42 ,  G03B27/52 ,  G02B7/02 ,  G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70825

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography has at least one optical element and at least one manipulator, having a linear drive, for manipulating the position of the optical element. The linear drive has a driven subregion and a nondriven subregion, which are movable relative to one another in the direction of a movement axis. The subregions are interconnected at least temporarily via functional elements with an active axis and via functional elements with an active direction at least approximately parallel to the movement axis.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置具有至少一个光学元件和至少一个具有线性驱动的操纵器，用于操纵光学元件的位置。 线性驱动器具有驱动区域和非驱动子区域，它们可以在运动轴线的方向上相对于彼此移动。 至少临时地通过具有主动轴的功能元件和通过至少大致平行于运动轴的有源方向的功能元件临时地互相连接。

公开(公告)号：US20090040487A1

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：US12247597

申请日：2008-10-08

申请人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schongart ,  Markus Neumaier ,  Barbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Wolfgang Hummel ,  Juergen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schongart ,  Markus Neumaier ,  Barbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muehlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70825

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography has at least one optical element and at least one manipulator, having a linear drive, for manipulating the position of the optical element. The linear drive has a driven subregion and a nondriven subregion, which are movable relative to one another in the direction of a movement axis. The subregions are interconnected at least temporarily via functional elements with an active axis and via functional elements with an active direction at least approximately parallel to the movement axis.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置具有至少一个光学元件和至少一个具有线性驱动的操纵器，用于操纵光学元件的位置。 线性驱动器具有驱动区域和非驱动子区域，它们可以在运动轴线的方向上相对于彼此移动。 至少临时地通过具有主动轴的功能元件和通过至少大致平行于运动轴的有源方向的功能元件临时地互相连接。

公开(公告)号：US20080174757A1

公开(公告)日：2008-07-24

申请号：US11936768

申请日：2007-11-07

申请人： Wolfgang Hummel ,  Jurgen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schongart ,  Markus Neumaier ,  Barbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muhlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

发明人： Wolfgang Hummel ,  Jurgen Fischer ,  Karl-Eugen Aubele ,  Erich Merz ,  Raoul Reiner ,  Klaus Rief ,  Stefan Schongart ,  Markus Neumaier ,  Barbel Trossbach ,  Ulrich Weber ,  Michael Muhlbeyer ,  Hubert Holderer ,  Alexander Kohl ,  Jochen Weber ,  Johannes Lippert ,  Thorsten Rassel

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G03F7/70825

摘要： An imaging device in a projection exposure machine for microlithography has at least one optical element and at least one manipulator, having a linear drive, for manipulating the position of the optical element. The linear drive has a driven subregion and a nondriven subregion, which are movable relative to one another in the direction of a movement axis. The subregions are interconnected at least temporarily via functional elements with an active axis and via functional elements with an active direction at least approximately parallel to the movement axis.

摘要翻译： 用于微光刻的投影曝光机中的成像装置具有至少一个光学元件和至少一个具有线性驱动的操纵器，用于操纵光学元件的位置。 线性驱动器具有驱动区域和非驱动子区域，它们可以在运动轴线的方向上相对于彼此移动。 至少临时地通过具有主动轴的功能元件和通过至少大致平行于运动轴的有源方向的功能元件临时地互相连接。