公开(公告)号：US20080248628A1

公开(公告)日：2008-10-09

申请号：US12056500

申请日：2008-03-27

申请人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee

发明人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee

IPC分类号： H01L21/3205

CPC分类号： H01L21/762 ,  H01L27/11521 ,  H01L29/66795

摘要： Methods of forming integrated circuit devices include forming an electrically insulating layer having a semiconductor fin structure extending therethrough. This semiconductor fin structure may include at least one amorphous and/or polycrystalline semiconductor region therein. The at least one amorphous and/or polycrystalline semiconductor region within the semiconductor fin structure is then converted into a single crystalline semiconductor region. This semiconductor fin structure is then used as an active region of a semiconductor device.

摘要翻译： 形成集成电路器件的方法包括形成具有延伸穿过其中的半导体鳍片结构的电绝缘层。 该半导体鳍结构可以包括其中的至少一个非晶和/或多晶半导体区域。 然后将半导体鳍结构内的至少一个非晶和/或多晶半导体区域转换为单晶半导体区域。 然后将该半导体鳍结构用作半导体器件的有源区。

公开(公告)号：US20100330753A1

公开(公告)日：2010-12-30

申请号：US12879401

申请日：2010-09-10

申请人： Pil-Kyu Kang ,  Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  InSoo Jung

发明人： Pil-Kyu Kang ,  Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  InSoo Jung

IPC分类号： H01L21/336 ,  C30B1/02

CPC分类号： H01L21/823425 ,  H01L21/823475

摘要： Integrated circuit devices are provided including a first single-crystalline layer and an insulating layer pattern on the first single-crystalline layer. The insulating layer pattern has an opening therein that partially exposes the first single-crystalline layer. A seed layer is in the opening. A second single-crystalline layer is on the insulating layer pattern and the seed layer. The second single-crystalline layer has a crystalline structure substantially the same as that of the seed layer. A transcription-preventing pattern is on the second single-crystalline layer and a third single-crystalline layer on the transcription-preventing pattern and the second single-crystalline layer. The transcription-preventing pattern is configured to limit transcription of defective portions in the second single-crystalline layer into the third single-crystalline layer.

摘要翻译： 在第一单晶层上提供包括第一单晶层和绝缘层图案的集成电路器件。 绝缘层图案在其中具有部分地暴露第一单晶层的开口。 种子层在开口处。 第二单晶层位于绝缘层图案和籽晶层上。 第二单晶层具有与种子层基本相同的晶体结构。 转录阻止图案位于转录阻止图案和第二单晶层上的第二单晶层和第三单晶层上。 转录阻止图案被配置为将第二单晶层中的缺陷部分的转录限制为第三单晶层。

公开(公告)号：US20080308845A1

公开(公告)日：2008-12-18

申请号：US12195790

申请日：2008-08-21

申请人： Sung-Min Kim ,  Kyoung-Hwan Yeo ,  In-Soo Jung ,  Si-Young Choi ,  Dong-Won Kim ,  Yong-Hoon Son ,  Young-Eun Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  Jong-Wook Lee

发明人： Sung-Min Kim ,  Kyoung-Hwan Yeo ,  In-Soo Jung ,  Si-Young Choi ,  Dong-Won Kim ,  Yong-Hoon Son ,  Young-Eun Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  Jong-Wook Lee

IPC分类号： H01L29/00

CPC分类号： H01L29/0653 ,  H01L29/78

摘要： Embodiments of the present invention include heterogeneous substrates, integrated circuits formed on such heterogeneous substrates. The heterogeneous substrates according to certain embodiments of the present invention include a first Group IV semiconductor layer (e.g., silicon), a second Group IV pattern (e.g., a silicon-germanium pattern) that includes a plurality of individual elements on the first Group IV semiconductor layer, and a third Group IV semiconductor layer (e.g., a silicon epitaxial layer) on the second Group IV pattern and on a plurality of exposed portions of the first Group IV semiconductor layer. The second Group IV pattern may be removed in embodiments of the present invention. In these and other embodiments of the present invention, the third Group IV semiconductor layer may be planarized.

摘要翻译： 本发明的实施例包括异质衬底，在这种异质衬底上形成的集成电路。 根据本发明的某些实施方案的异质衬底包括第一组IV半导体层（例如，硅），第二组IV图案（例如硅 - 锗图案），其包括第一组IV上的多个单独元件 半导体层和第二组IV模式上的第三组IV半导体层（例如，硅外延层）和第一组IV半导体层的多个暴露部分上。 在本发明的实施例中可以去除第二组IV图案。 在本发明的这些和其它实施例中，第三组IV半导体层可以被平坦化。

公开(公告)号：US20080194083A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：US12061253

申请日：2008-04-02

申请人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee ,  Pil-Kyu Kang

发明人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee ,  Pil-Kyu Kang

IPC分类号： H01L21/36

CPC分类号： H01L21/8221 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02667 ,  H01L27/0688 ,  H01L27/115 ,  H01L27/11521 ,  H01L27/11524 ,  H01L27/11551 ,  H01L27/1285 ,  H01L29/78675

摘要： In a method of manufacturing a semiconductor device, a string structure including a selection transistor and a memory cell on a substrate. An insulation layer pattern is formed on the substrate to cover the string structure. The insulation layer pattern includes at least one opening exposing a portion of the substrate adjacent to the selection transistor. A seed layer including a single-crystalline material is formed in the opening. An amorphous thin film including an amorphous material is formed on the insulation layer pattern and the seed layer. The amorphous thin film is transformed into a single-crystalline thin film, using the single-crystalline material in the seed layer as a seed during a phase transition of the amorphous thin film, to form a channel layer on the insulation layer pattern and the seed layer. Therefore, the semiconductor device including the channel layer having the single-crystalline thin film may be manufactured.

摘要翻译： 在制造半导体器件的方法中，包括在衬底上的选择晶体管和存储单元的串联结构。 在衬底上形成绝缘层图案以覆盖串结构。 绝缘层图案包括暴露基板的与选择晶体管相邻的部分的至少一个开口。 在开口中形成包括单晶材料的晶种层。 在绝缘层图案和种子层上形成包含非晶材料的非晶态薄膜。 在非晶薄膜的相变期间，将晶种层中的单晶材料作为种子，将非晶薄膜转变为单晶薄膜，以在绝缘层图案和种子上形成沟道层 层。 因此，可以制造包括具有单晶薄膜的沟道层的半导体器件。

公开(公告)号：US20080093601A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：US11974293

申请日：2007-10-12

申请人： Pil-Kyu Kang ,  Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  In-Soo Jung

发明人： Pil-Kyu Kang ,  Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  In-Soo Jung

IPC分类号： H01L29/786 ,  H01L29/12 ,  H01L21/84

CPC分类号： H01L21/823425 ,  H01L21/823475

摘要： Integrated circuit devices are provided including a first single-crystalline layer and an insulating layer pattern on the first single-crystalline layer. The insulating layer pattern has an opening therein that partially exposes the first single-crystalline layer. A seed layer is in the opening. A second single-crystalline layer is on the insulating layer pattern and the seed layer. The second single-crystalline layer has a crystalline structure substantially the same as that of the seed layer. A transcription-preventing pattern is on the second single-crystalline layer and a third single-crystalline layer on the transcription-preventing pattern and the second single-crystalline layer. The transcription-preventing pattern is configured to limit transcription of defective portions in the second single-crystalline layer into the third single-crystalline layer.

摘要翻译： 在第一单晶层上提供包括第一单晶层和绝缘层图案的集成电路器件。 绝缘层图案在其中具有部分地暴露第一单晶层的开口。 种子层在开口处。 第二单晶层位于绝缘层图案和籽晶层上。 第二单晶层具有与种子层基本相同的晶体结构。 转录阻止图案位于转录阻止图案和第二单晶层上的第二单晶层和第三单晶层上。 转录阻止图案被配置为将第二单晶层中的缺陷部分的转录限制为第三单晶层。

公开(公告)号：US07320908B2

公开(公告)日：2008-01-22

申请号：US11072103

申请日：2005-03-04

申请人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Byeong-Chan Lee ,  Jong-Wook Lee ,  In-Soo Jung ,  Deok-Hyung Lee

发明人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Byeong-Chan Lee ,  Jong-Wook Lee ,  In-Soo Jung ,  Deok-Hyung Lee

IPC分类号： H01L21/338

CPC分类号： H01L29/7851 ,  H01L21/823481 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/66621

摘要： Methods for forming semiconductor devices are provided. A semiconductor substrate is etched such that the semiconductor substrate defines a trench and a preliminary active pattern. The trench has a floor and a sidewall. An insulating layer is provided on the floor and the sidewall of the trench and a spacer is formed on the insulating layer such that the spacer is on the sidewall of the trench and on a portion of the floor of the trench. The insulating layer is removed on the floor of the trench and beneath the spacer such that a portion of the floor of the trench is at least partially exposed, the spacer is spaced apart from the floor of the trench and a portion of the preliminary active pattern is partially exposed. A portion of the exposed portion of the preliminary active pattern is partially removed to provide an active pattern that defines a recessed portion beneath the spacer. A buried insulating layer is formed in the recessed portion of the active pattern. Related devices are also provided.

摘要翻译： 提供了形成半导体器件的方法。 蚀刻半导体衬底，使得半导体衬底限定沟槽和初步活性图案。 沟槽具有地板和侧壁。 绝缘层设置在地板上，并且沟槽的侧壁和间隔件形成在绝缘层上，使得间隔件位于沟槽的侧壁和沟槽底部的一部分上。 绝缘层在沟槽的地板上移除并且在间隔物的下面被移除，使得沟槽的底部的一部分至少部分地露出，间隔物与沟槽的底部间隔开，并且预活性图案的一部分 部分暴露。 部分地去除预活性图案的暴露部分的一部分以提供在间隔物下方限定凹陷部分的活性图案。 在活性图案的凹部中形成掩埋绝缘层。 还提供了相关设备。

公开(公告)号：US07566602B2

公开(公告)日：2009-07-28

申请号：US11751857

申请日：2007-05-22

申请人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee

发明人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee

IPC分类号： H01L21/84

CPC分类号： H01L21/02675 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02645 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/8221 ,  H01L21/84 ,  H01L27/0688

摘要： In a method of forming a single crystalline semiconductor layer, an amorphous layer may be formed on a seed layer that includes a single crystalline material. The single crystalline layer may be formed from the amorphous layer by irradiating a laser beam onto the amorphous layer using the seed layer as a seed for a phase change of the amorphous layer. The laser beam may have an energy for melting the amorphous layer, and the laser beam may be irradiated onto the amorphous layer without generating a superimposedly irradiated region of the amorphous layer. The single crystalline layer may include a high density of large-sized grains without generating a protrusion thereon through a simple process so that a semiconductor device including the single crystalline layer may have a high degree of integration and improved electrical characteristics.

摘要翻译： 在形成单晶半导体层的方法中，可以在包括单晶材料的籽晶层上形成非晶层。 可以通过使用种子层作为非晶层相变的种子将激光束照射到非晶层上，由非晶层形成单晶层。 激光束可以具有用于熔化非晶层的能量，并且可以将激光束照射到非晶层上而不产生非晶层的叠加照射的区域。 单晶层可以包括高密度的大尺寸晶粒，而不通过简单的工艺在其上产生突起，使得包括单晶层的半导体器件可以具有高度集成度和改善的电特性。

公开(公告)号：US20070218607A1

公开(公告)日：2007-09-20

申请号：US11751857

申请日：2007-05-22

申请人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee

发明人： Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee

IPC分类号： H01L21/84

CPC分类号： H01L21/02675 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02645 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/8221 ,  H01L21/84 ,  H01L27/0688

摘要： In a method of forming a single crystalline semiconductor layer, an amorphous layer may be formed on a seed layer that includes a single crystalline material. The single crystalline layer may be formed from the amorphous layer by irradiating a laser beam onto the amorphous layer using the seed layer as a seed for a phase change of the amorphous layer. The laser beam may have an energy for melting the amorphous layer, and the laser beam may be irradiated onto the amorphous layer without generating a superimposedly irradiated region of the amorphous layer. The single crystalline layer may include a high density of large-sized grains without generating a protrusion thereon through a simple process so that a semiconductor device including the single crystalline layer may have a high degree of integration and improved electrical characteristics.

摘要翻译： 在形成单晶半导体层的方法中，可以在包括单晶材料的籽晶层上形成非晶层。 可以通过使用种子层作为非晶层相变的种子将激光束照射到非晶层上，由非晶层形成单晶层。 激光束可以具有用于熔化非晶层的能量，并且可以将激光束照射到非晶层上而不产生非晶层的叠加照射的区域。 单晶层可以包括高密度的大尺寸晶粒，而不通过简单的工艺在其上产生突起，使得包括单晶层的半导体器件可以具有高度集成度和改善的电特性。

公开(公告)号：US20050218395A1

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：US11080737

申请日：2005-03-15

申请人： Sung-Min Kim ,  Kyoung-Hwan Yeo ,  In-Soo Jung ,  Si-Young Choi ,  Dong-Won Kim ,  Yong-Hoon Son ,  Young-Eun Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  Jong-Wook Lee

发明人： Sung-Min Kim ,  Kyoung-Hwan Yeo ,  In-Soo Jung ,  Si-Young Choi ,  Dong-Won Kim ,  Yong-Hoon Son ,  Young-Eun Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  Jong-Wook Lee

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L29/06 ,  H01L29/78

CPC分类号： H01L29/0653 ,  H01L29/78

摘要： Embodiments of the present invention include heterogeneous substrates, integrated circuits formed on such heterogeneous substrates, and methods of forming such substrates and integrated circuits. The heterogeneous substrates according to certain embodiments of the present invention include a first Group IV semiconductor layer (e.g., silicon), a second Group IV pattern (e.g., a silicon-germanium pattern) that includes a plurality of individual elements on the first Group IV semiconductor layer, and a third Group IV semiconductor layer (e.g., a silicon epitaxial layer) on the second Group IV pattern and on a plurality of exposed portions of the first Group IV semiconductor layer. The second Group IV pattern may be removed in embodiments of the present invention. In these and other embodiments of the present invention, the third Group IV semiconductor layer may be planarized.

摘要翻译： 本发明的实施例包括异质衬底，在这种异质衬底上形成的集成电路，以及形成这种衬底和集成电路的方法。 根据本发明的某些实施方案的异质衬底包括第一组IV半导体层（例如，硅），第二组IV图案（例如硅 - 锗图案），其包括第一组IV上的多个单独元件 半导体层和第二组IV模式上的第三组IV半导体层（例如，硅外延层）和第一组IV半导体层的多个暴露部分上。 在本发明的实施例中可以去除第二组IV图案。 在本发明的这些和其它实施例中，第三组IV半导体层可以被平坦化。

公开(公告)号：US07816735B2

公开(公告)日：2010-10-19

申请号：US11974293

申请日：2007-10-12

申请人： Pil-Kyu Kang ,  Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  InSoo Jung

发明人： Pil-Kyu Kang ,  Yong-Hoon Son ,  Si-Young Choi ,  Jong-Wook Lee ,  Byeong-Chan Lee ,  InSoo Jung

IPC分类号： H01L33/16

CPC分类号： H01L21/823425 ,  H01L21/823475

摘要： Integrated circuit devices are provided including a first single-crystalline layer and an insulating layer pattern on the first single-crystalline layer. The insulating layer pattern has an opening therein that partially exposes the first single-crystalline layer. A seed layer is in the opening. A second single-crystalline layer is on the insulating layer pattern and the seed layer. The second single-crystalline layer has a crystalline structure substantially the same as that of the seed layer. A transcription-preventing pattern is on the second single-crystalline layer and a third single-crystalline layer on the transcription-preventing pattern and the second single-crystalline layer. The transcription-preventing pattern is configured to limit transcription of defective portions in the second single-crystalline layer into the third single-crystalline layer.

摘要翻译： 在第一单晶层上提供包括第一单晶层和绝缘层图案的集成电路器件。 绝缘层图案在其中具有部分地暴露第一单晶层的开口。 种子层在开口处。 第二单晶层位于绝缘层图案和籽晶层上。 第二单晶层具有与种子层基本相同的晶体结构。 转录阻止图案位于转录阻止图案和第二单晶层上的第二单晶层和第三单晶层上。 转录阻止图案被配置为将第二单晶层中的缺陷部分的转录限制为第三单晶层。