公开(公告)号：US09196548B2

公开(公告)日：2015-11-24

申请号：US13729843

申请日：2012-12-28

申请人： Mahbub Rashed ,  Srikanth Samavedam ,  David Doman ,  Navneet Jain ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub Rashed ,  Srikanth Samavedam ,  David Doman ,  Navneet Jain ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/092

CPC分类号： H01L21/845 ,  H01L21/823821 ,  H01L27/0924 ,  H01L27/1211

摘要： Methodology enabling selectively connecting fin structures using a segmented trench salicide layer, and the resulting device are disclosed. Embodiments include: providing on a substrate at least one gate structure; providing first and second fin structures in a vertical direction intersecting with the at least one gate structure; and providing a first segment of a salicide layer, the first segment being formed along a horizontal direction and being connected with the second fin structure and separated from the first fin structure.

摘要翻译： 公开了使用分段沟槽自对准硅层选择性地连接翅片结构的方法，以及所得到的装置。 实施例包括：在衬底上提供至少一个栅极结构; 在与所述至少一个栅极结构相交的垂直方向上提供第一和第二鳍结构; 以及提供自对准层的第一段，所述第一段沿着水平方向形成并且与所述第二鳍结构连接并与所述第一鳍结构分离。

公开(公告)号：US20140183638A1

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：US13729843

申请日：2012-12-28

申请人： Mahbub RASHED ,  Srikanth Samavedam ,  David Doman ,  Navneet Jain ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub RASHED ,  Srikanth Samavedam ,  David Doman ,  Navneet Jain ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： H01L21/84 ,  H01L27/12

CPC分类号： H01L21/845 ,  H01L21/823821 ,  H01L27/0924 ,  H01L27/1211

摘要： Methodology enabling selectively connecting fin structures using a segmented trench salicide layer, and the resulting device are disclosed. Embodiments include: providing on a substrate at least one gate structure; providing first and second fin structures in a vertical direction intersecting with the at least one gate structure; and providing a first segment of a salicide layer, the first segment being formed along a horizontal direction and being connected with the second fin structure and separated from the first fin structure.

摘要翻译： 公开了使用分段沟槽自对准硅层选择性地连接翅片结构的方法，以及所得到的装置。 实施例包括：在衬底上提供至少一个栅极结构; 在与所述至少一个栅极结构相交的垂直方向上提供第一和第二鳍结构; 以及提供自对准层的第一段，所述第一段沿着水平方向形成并且与所述第二鳍结构连接并与所述第一鳍结构分离。

公开(公告)号：US08689154B2

公开(公告)日：2014-04-01

申请号：US13446418

申请日：2012-04-13

申请人： Mahbub Rashed ,  David Doman ,  Dinesh Somasekhar ,  Yan Wang ,  Yunfei Deng ,  Navneet Jain ,  Jongwook Kye ,  Ali Keshavarzi ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub Rashed ,  David Doman ,  Dinesh Somasekhar ,  Yan Wang ,  Yunfei Deng ,  Navneet Jain ,  Jongwook Kye ,  Ali Keshavarzi ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5045 ,  G06F17/5031 ,  G06F2217/84

摘要： An approach for providing timing-closed FinFET designs from planar designs is disclosed. Embodiments include: receiving one or more planar cells associated with a planar design; generating an initial FinFET design corresponding to the planar design based on the planar cells and a FinFET model; and processing the initial FinFET design to provide a timing-closed FinFET design. Other embodiments include: determining a race condition associated with a path of the initial FinFET design based on a timing analysis of the initial FinFET design; and increasing delay associated with the path to resolve hold violations associated with the race condition, wherein the processing of the initial FinFET design is based on the delay increase.

摘要翻译： 公开了一种从平面设计提供定时关闭的FinFET设计的方法。 实施例包括：接收与平面设计相关联的一个或多个平面单元; 基于平面单元和FinFET模型产生对应于平面设计的初始FinFET设计; 并处理初始FinFET设计以提供定时关闭的FinFET设计。 其他实施例包括：基于初始FinFET设计的时序分析确定与初始FinFET设计的路径相关联的竞争条件; 以及与解决与竞争条件相关联的持续违规的路径相关联的增加的延迟，其中初始FinFET设计的处理基于延迟增加。

公开(公告)号：US20130275935A1

公开(公告)日：2013-10-17

申请号：US13446418

申请日：2012-04-13

申请人： Mahbub Rashed ,  David Doman ,  Dinesh Somasekhar ,  Yan Wang ,  Yunfei Deng ,  Navneet Jain ,  Jongwook Kye ,  Ali Keshavarzi ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub Rashed ,  David Doman ,  Dinesh Somasekhar ,  Yan Wang ,  Yunfei Deng ,  Navneet Jain ,  Jongwook Kye ,  Ali Keshavarzi ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5045 ,  G06F17/5031 ,  G06F2217/84

摘要： An approach for providing timing-closed FinFET designs from planar designs is disclosed. Embodiments include: receiving one or more planar cells associated with a planar design; generating an initial FinFET design corresponding to the planar design based on the planar cells and a FinFET model; and processing the initial FinFET design to provide a timing-closed FinFET design. Other embodiments include: determining a race condition associated with a path of the initial FinFET design based on a timing analysis of the initial FinFET design; and increasing delay associated with the path to resolve hold violations associated with the race condition, wherein the processing of the initial FinFET design is based on the delay increase.

摘要翻译： 公开了一种从平面设计提供定时关闭的FinFET设计的方法。 实施例包括：接收与平面设计相关联的一个或多个平面单元; 基于平面单元和FinFET模型产生对应于平面设计的初始FinFET设计; 并处理初始FinFET设计以提供定时关闭的FinFET设计。 其他实施例包括：基于初始FinFET设计的时序分析确定与初始FinFET设计的路径相关联的竞争条件; 以及与解决与竞争条件相关联的持续违规的路径相关联的增加的延迟，其中初始FinFET设计的处理基于延迟增加。

公开(公告)号：US20140001563A1

公开(公告)日：2014-01-02

申请号：US13539830

申请日：2012-07-02

申请人： Mahbub Rashed ,  David Doman ,  Marc Tarabbia ,  Irene Lin ,  Jeff Kim ,  Chinh Nguyen ,  Steve Soss ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub Rashed ,  David Doman ,  Marc Tarabbia ,  Irene Lin ,  Jeff Kim ,  Chinh Nguyen ,  Steve Soss ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： H01L27/088 ,  H01L27/092

CPC分类号： H01L27/0207 ,  H01L27/11807

摘要： One illustrative device disclosed herein includes a continuous active region defined in a semiconducting substrate, first and second transistors formed in and above the continuous active region, each of the first and second transistors comprising a plurality of doped regions formed in the continuous active region, a conductive isolating electrode positioned above the continuous active region between the first and second transistors and a power rail conductively coupled to the conductive isolating electrode.

摘要翻译： 本文公开的一个说明性器件包括限定在半导体衬底中的连续有源区，形成在连续有源区中和上方的第一和第二晶体管，第一和第二晶体管中的每一个包括形成在连续有源区中的多个掺杂区， 导电隔离电极位于第一和第二晶体管之间的连续有源区上方，导电隔离电极与导电隔离电极导电耦合。

公开(公告)号：US08618607B1

公开(公告)日：2013-12-31

申请号：US13539830

申请日：2012-07-02

申请人： Mahbub Rashed ,  David Doman ,  Marc Tarabbia ,  Irene Lin ,  Jeff Kim ,  Chinh Nguyen ,  Steve Soss ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub Rashed ,  David Doman ,  Marc Tarabbia ,  Irene Lin ,  Jeff Kim ,  Chinh Nguyen ,  Steve Soss ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L27/0207 ,  H01L27/11807

摘要： One illustrative device disclosed herein includes a continuous active region defined in a semiconducting substrate, first and second transistors formed in and above the continuous active region, each of the first and second transistors comprising a plurality of doped regions formed in the continuous active region, a conductive isolating electrode positioned above the continuous active region between the first and second transistors and a power rail conductively coupled to the conductive isolating electrode.

摘要翻译： 本文公开的一个说明性器件包括限定在半导体衬底中的连续有源区，形成在连续有源区中和上方的第一和第二晶体管，第一和第二晶体管中的每一个包括形成在连续有源区中的多个掺杂区， 导电隔离电极位于第一和第二晶体管之间的连续有源区上方，导电隔离电极与导电隔离电极导电耦合。

公开(公告)号：US20130146982A1

公开(公告)日：2013-06-13

申请号：US13324699

申请日：2011-12-13

申请人： Mahbub Rashed ,  Steven Soss ,  Jongwook Kye ,  Irene Y. Lin ,  James Benjamin Gullette ,  Chinh Nguyen ,  Jeff Kim ,  Marc Tarabbia ,  Yuansheng Ma ,  Yunfei Deng ,  Rod Augur ,  Seung-Hyun Rhee ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub Rashed ,  Steven Soss ,  Jongwook Kye ,  Irene Y. Lin ,  James Benjamin Gullette ,  Chinh Nguyen ,  Jeff Kim ,  Marc Tarabbia ,  Yuansheng Ma ,  Yunfei Deng ,  Rod Augur ,  Seung-Hyun Rhee ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： H01L27/088

CPC分类号： H01L21/76895 ,  H01L27/0207 ,  H01L27/11807 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A semiconductor device is provided for implementing at least one logic element. The semiconductor device includes a semiconductor substrate with a first transistor and a second transistor formed on the semiconductor substrate. Each of the transistors includes a source, a drain, and a gate. A CA layer is electrically connected to at least one of the source or the drain of the first transistor. A CB layer is electrically connected to at least one of the gates of the transistors and the CA layer.

摘要翻译： 提供半导体器件用于实现至少一个逻辑元件。 半导体器件包括具有第一晶体管的半导体衬底和形成在半导体衬底上的第二晶体管。 每个晶体管包括源极，漏极和栅极。 CA层电连接到第一晶体管的源极或漏极中的至少一个。 CB层电连接到晶体管和CA层的至少一个栅极。

公开(公告)号：US20130146986A1

公开(公告)日：2013-06-13

申请号：US13324740

申请日：2011-12-13

申请人： Mahbub Rashed ,  Irene Y. Lin ,  Steven Soss ,  Jeff Kim ,  Chinh Nguyen ,  Marc Tarabbia ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub Rashed ,  Irene Y. Lin ,  Steven Soss ,  Jeff Kim ,  Chinh Nguyen ,  Marc Tarabbia ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： H01L27/092 ,  H01L27/088

CPC分类号： H01L23/535 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76895 ,  H01L21/823418 ,  H01L21/823475 ,  H01L21/823814 ,  H01L21/823871 ,  H01L23/53238 ,  H01L27/0207 ,  H01L27/092 ,  H01L27/11807 ,  H01L29/0847 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A semiconductor device is provided for implementing at least one logic element. The semiconductor device includes a semiconductor substrate with a first transistor and a second transistor formed on the semiconductor substrate. Each of the transistors comprises a source, a drain, and a gate. A trench silicide layer electrically connects one of the source or the drain of the first transistor to one of the source or the drain of the second transistor.

摘要翻译： 提供半导体器件用于实现至少一个逻辑元件。 该半导体器件包括具有第一晶体管的半导体衬底和形成在半导体衬底上的第二晶体管。 每个晶体管包括源极，漏极和栅极。 沟槽硅化物层将第一晶体管的源极或漏极之一电连接到第二晶体管的源极或漏极之一。

公开(公告)号：US09355910B2

公开(公告)日：2016-05-31

申请号：US13324740

申请日：2011-12-13

申请人： Mahbub Rashed ,  Irene Y. Lin ,  Steven Soss ,  Jeff Kim ,  Chinh Nguyen ,  Marc Tarabbia ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub Rashed ,  Irene Y. Lin ,  Steven Soss ,  Jeff Kim ,  Chinh Nguyen ,  Marc Tarabbia ,  Scott Johnson ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： H01L21/70 ,  H01L21/8234 ,  H01L27/02 ,  H01L21/768 ,  H01L27/118

CPC分类号： H01L23/535 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/76895 ,  H01L21/823418 ,  H01L21/823475 ,  H01L21/823814 ,  H01L21/823871 ,  H01L23/53238 ,  H01L27/0207 ,  H01L27/092 ,  H01L27/11807 ,  H01L29/0847 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A semiconductor device is provided for implementing at least one logic element. The semiconductor device includes a semiconductor substrate with a first transistor and a second transistor formed on the semiconductor substrate. Each of the transistors comprises a source, a drain, and a gate. A trench silicide layer electrically connects one of the source or the drain of the first transistor to one of the source or the drain of the second transistor.

摘要翻译： 提供半导体器件用于实现至少一个逻辑元件。 该半导体器件包括具有第一晶体管的半导体衬底和形成在半导体衬底上的第二晶体管。 每个晶体管包括源极，漏极和栅极。 沟槽硅化物层将第一晶体管的源极或漏极之一电连接到第二晶体管的源极或漏极之一。

公开(公告)号：US20140042641A1

公开(公告)日：2014-02-13

申请号：US13568737

申请日：2012-08-07

申请人： Mahbub Rashed ,  Yuansheng Ma ,  Irene Lin ,  Jason Stephens ,  Yunfei Deng ,  Yuan Lei ,  Jongwook Kye ,  Rod Augur ,  Shibly Ahmed ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

发明人： Mahbub Rashed ,  Yuansheng Ma ,  Irene Lin ,  Jason Stephens ,  Yunfei Deng ,  Yuan Lei ,  Jongwook Kye ,  Rod Augur ,  Shibly Ahmed ,  Subramani Kengeri ,  Suresh Venkatesan

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L23/48

CPC分类号： H01L23/5386 ,  H01L21/76895 ,  H01L21/823871 ,  H01L23/5384 ,  H01L27/0207 ,  H01L27/0924 ,  H01L29/7851 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： An approach for providing MOL constructs using diffusion contact structures is disclosed. Embodiments include: providing a first diffusion region in a substrate; providing, via a first lithography process, a first diffusion contact structure; providing, via a second lithography process, a second diffusion contact structure; and coupling the first diffusion contact structure to the first diffusion region and the second diffusion contact structure. Embodiments include: providing a second diffusion region in the substrate; providing a diffusion gap region between the first and second diffusion regions; providing the diffusion contact structure over the diffusion gap region; and coupling, via the diffusion contact structure, the first and second diffusion regions.

摘要翻译： 公开了一种使用扩散接触结构提供MOL构造的方法。 实施例包括：在衬底中提供第一扩散区域; 通过第一光刻工艺提供第一扩散接触结构; 经由第二光刻工艺提供第二扩散接触结构; 以及将所述第一扩散接触结构耦合到所述第一扩散区和所述第二扩散接触结构。 实施例包括：在衬底中提供第二扩散区域; 在所述第一和第二扩散区之间提供扩散间隙区域; 在扩散间隙区域上提供扩散接触结构; 以及经由扩散接触结构耦合第一和第二扩散区域。