公开(公告)号：US08262975B2

公开(公告)日：2012-09-11

申请号：US12268823

申请日：2008-11-11

申请人： Margaret E. Best ,  Xing-Cai Guo ,  Thomas E. Karis ,  Dan S. Kercher ,  Charles M. Mate ,  Tsai-Wei Wu

发明人： Margaret E. Best ,  Xing-Cai Guo ,  Thomas E. Karis ,  Dan S. Kercher ,  Charles M. Mate ,  Tsai-Wei Wu

IPC分类号： B27N3/08

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08G65/007 ,  C08G65/3322 ,  C08G2650/48 ,  C08L33/08 ,  C09D171/02 ,  C08L2666/04

摘要： Nanoimprint lithography using resist material with the addition of a surfactant is described. A template release layer is formed on a pattern of a template. A non-ionic surfactant is added to a resist material to form a mixed resist material. The resist material may comprise a hydrocarbon material having an unsaturated bond, such as an acrylate material. The surfactant may comprise polyalkylene glycol or an organically modified polysiloxane. A resist layer is then formed on a substrate from the mixed resist material. The surfactant added to the resist material forms a resist release layer on the surface of the resist layer. The template is then pressed into the resist layer, where the template release layer and the resist release layer are between the pattern of the template and the resist layer.

摘要翻译： 描述了使用加入表面活性剂的抗蚀剂材料的纳米压印光刻。 模板释放层形成在模板的图案上。 将非离子表面活性剂加入到抗蚀剂材料中以形成混合的抗蚀剂材料。 抗蚀剂材料可以包括具有不饱和键的烃材料，例如丙烯酸酯材料。 表面活性剂可以包含聚亚烷基二醇或有机改性的聚硅氧烷。 然后在混合的抗蚀剂材料的基板上形成抗蚀剂层。 添加到抗蚀剂材料中的表面活性剂在抗蚀剂层的表面上形成抗蚀剂剥离层。 然后将模板压入抗蚀剂层，其中模板释放层和抗蚀剂剥离层在模板的图案和抗蚀剂层之间。

公开(公告)号：US20100117256A1

公开(公告)日：2010-05-13

申请号：US12268823

申请日：2008-11-11

申请人： Margaret E. Best ,  Xing-Cai Guo ,  Thomas E. Karis ,  Dan S. Kercher ,  Charles M. Mate ,  Tsai-Wei Wu

发明人： Margaret E. Best ,  Xing-Cai Guo ,  Thomas E. Karis ,  Dan S. Kercher ,  Charles M. Mate ,  Tsai-Wei Wu

IPC分类号： B32B37/02 ,  C08L71/08 ,  C08L83/04

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08G65/007 ,  C08G65/3322 ,  C08G2650/48 ,  C08L33/08 ,  C09D171/02 ,  C08L2666/04

摘要： Nanoimprint lithography using resist material with the addition of a surfactant is described. A template release layer is formed on a pattern of a template. A non-ionic surfactant is added to a resist material to form a mixed resist material. The resist material may comprise a hydrocarbon material having an unsaturated bond, such as an acrylate material. The surfactant may comprise polyakylene glycol or an organically modified polysiloxane. A resist layer is then formed on a substrate from the mixed resist material. The surfactant added to the resist material forms a resist release layer on the surface of the resist layer. The template is then pressed into the resist layer, where the template release layer and the resist release layer are between the pattern of the template and the resist layer.

摘要翻译： 描述了使用加入表面活性剂的抗蚀剂材料的纳米压印光刻。 模板释放层形成在模板的图案上。 将非离子表面活性剂加入到抗蚀剂材料中以形成混合的抗蚀剂材料。 抗蚀剂材料可以包括具有不饱和键的烃材料，例如丙烯酸酯材料。 表面活性剂可以包括聚亚烷基二醇或有机改性的聚硅氧烷。 然后在混合的抗蚀剂材料的基板上形成抗蚀剂层。 添加到抗蚀剂材料中的表面活性剂在抗蚀剂层的表面上形成抗蚀剂剥离层。 然后将模板压入抗蚀剂层，其中模板释放层和抗蚀剂剥离层在模板的图案和抗蚀剂层之间。

公开(公告)号：US20080145525A1

公开(公告)日：2008-06-19

申请号：US11610294

申请日：2006-12-13

申请人： Xing-Cai Guo ,  Dan S. Kercher ,  Bruno Marchon ,  Charles M. Mate ,  Tsai-Wei Wu

发明人： Xing-Cai Guo ,  Dan S. Kercher ,  Bruno Marchon ,  Charles M. Mate ,  Tsai-Wei Wu

IPC分类号： B28B7/36

CPC分类号： B29C59/022 ,  B29C37/0075 ,  B29C2059/023 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G11B5/743 ,  G11B5/82

摘要： Methods of performing nanoimprint lithography are described. For one method, a master tool and a stamper tool are formed to provide nanometer-scale imprinting. A release layer comprised of a perfluoropolyether diacrylate material is formed on the master tool and the stamper tool. The master tool and the stamper tool are used to form patterns in resist material, such as hole or pillar patterns. The resist material as described herein has lower viscosity and lower surface tension than prior resist materials allowing for more uniform replication of the patterns.

摘要翻译： 描述了进行纳米压印光刻的方法。 对于一种方法，形成主工具和压模工具以提供纳米级刻印。 在主工具和压模工具上形成由全氟聚醚二丙烯酸酯材料构成的脱模层。 主工具和压模工具用于形成抗蚀剂材料中的图案，例如孔或柱图案。 如本文所述的抗蚀剂材料具有比现有抗蚀剂材料更低的粘度和更低的表面张力，允许图案的更均匀的复制。

公开(公告)号：US07604836B2

公开(公告)日：2009-10-20

申请号：US11610294

申请日：2006-12-13

申请人： Xing-Cai Guo ,  Dan S. Kercher ,  Bruno Marchon ,  Charles M. Mate ,  Tsai-Wei Wu

发明人： Xing-Cai Guo ,  Dan S. Kercher ,  Bruno Marchon ,  Charles M. Mate ,  Tsai-Wei Wu

IPC分类号： B41L29/12

CPC分类号： B29C59/022 ,  B29C37/0075 ,  B29C2059/023 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G11B5/743 ,  G11B5/82

摘要： Methods of performing nanoimprint lithography are described. For one method, a master tool and a stamper tool are formed to provide nanometer-scale imprinting. A release layer comprised of a perfluoropolyether diacrylate material is formed on the master tool and the stamper tool. The master tool and the stamper tool are used to form patterns in resist material, such as hole or pillar patterns. The resist material as described herein has lower viscosity and lower surface tension than prior resist materials allowing for more uniform replication of the patterns.

摘要翻译： 描述了进行纳米压印光刻的方法。 对于一种方法，形成主工具和压模工具以提供纳米级刻印。 在主工具和压模工具上形成由全氟聚醚二丙烯酸酯材料构成的脱模层。 主工具和压模工具用于形成抗蚀剂材料中的图案，例如孔或柱图案。 如本文所述的抗蚀剂材料具有比现有抗蚀剂材料更低的粘度和更低的表面张力，允许图案的更均匀的复制。

公开(公告)号：US06495944B2

公开(公告)日：2002-12-17

申请号：US09838088

申请日：2001-04-18

申请人： Toshiko Hirano ,  Dan S. Kercher ,  Charles M. Mate

发明人： Toshiko Hirano ,  Dan S. Kercher ,  Charles M. Mate

IPC分类号： H02N100

CPC分类号： H02N1/008 ,  Y10T137/0318

摘要： A micro-electro-mechanical systems (MEMS) type electrostatic microactuator has a fixed electrode and a movable electrode, with the movable electrode being attached to the substrate by a flexure. Each electrode has a plurality of fingers with the fixed electrode fingers and the movable electrode fingers interleaved in a comb-like arrangement. A nonconductive viscous liquid is located between the fingers for damping motion of the movable electrode relative to the fixed electrode. The liquid is held in a reservoir attached to the movable electrode. Capillary pressure pulls the liquid from the reservoir into the small gaps between the interleaved fingers.

摘要翻译： 微电子机械系统（MEMS）型静电微致动器具有固定电极和可动电极，可动电极通过弯曲附接到基板。 每个电极具有多个指状物，其中固定的电极指和可动电极指以梳状布置交错。 非导电粘性液体位于指状物之间，用于阻止可动电极相对于固定电极的运动。 液体保持在附接到可动电极的储存器中。 毛细管压力将液体从储存器拉到交错的手指之间的小间隙。

公开(公告)号：US20110305923A1

公开(公告)日：2011-12-15

申请号：US12815267

申请日：2010-06-14

申请人： Thomas E. Karis ,  Charles M. Mate

发明人： Thomas E. Karis ,  Charles M. Mate

IPC分类号： B05D5/12 ,  B44C1/22 ,  G11B5/33 ,  B05D3/06

CPC分类号： G11B5/855 ,  B82Y10/00 ,  G11B5/725 ,  G11B5/743

摘要： Magnetic recording disks and associated fabrication methods are described for utilizing polymer structures in planarized magnetic media. A polymer fill material is deposited on the disk and a removal process is performed on the fill material to planarize the disk. In some embodiments, the fill material is deposited subsequent to bonding a lubrication layer to a protective layer on the disk. In other embodiments, the fill material is bonded directly to a protective layer on the disk.

摘要翻译： 磁记录盘和相关的制造方法被描述为在平面磁介质中利用聚合物结构。 聚合物填充材料沉积在盘上，并且在填充材料上进行去除处理以使盘平坦化。 在一些实施例中，在将润滑层粘合到盘上的保护层之后，填充填料。 在其他实施例中，填充材料直接粘合到盘上的保护层。

公开(公告)号：US08203805B2

公开(公告)日：2012-06-19

申请号：US12398909

申请日：2009-03-05

申请人： Weidong Huang ,  Sang Hoon Kim ,  Charles M. Mate

发明人： Weidong Huang ,  Sang Hoon Kim ,  Charles M. Mate

IPC分类号： G11B5/60

CPC分类号： G11B5/6005 ,  G11B5/40 ,  G11B5/6082

摘要： A method and apparatus for controlling lubrication in hard disk drives. Hard disk drives often include lubrication on the disks to protect the disks from incidental contact with the head slider. Embodiments of the invention include lubrication control recesses on the air bearing surface (ABS) of the head slider. The recesses reduce air stagnation on the ABS and/or store excess lubrication that migrates from the disk to the head slider. By reducing build-up of lubrication and storing excess lubrication, the lubrication control recesses avoid failure that may occur as a result of the lubrication interfering with the ABS or the read/write elements of the head.

摘要翻译： 一种控制硬盘驱动器润滑的方法和装置。 硬盘驱动器通常包括磁盘上的润滑，以防止磁盘与磁头滑块偶然接触。 本发明的实施例包括头滑动器的空气轴承表面（ABS）上的润滑控制凹部。 这些凹槽减少ABS上的空气滞留和/或存储从盘移动到头滑块的多余的润滑。 通过减少润滑的积累和储存多余的润滑，润滑控制凹槽可以避免由于润滑干扰ABS或读/写头元件而导致的故障。

公开(公告)号：US20110102940A1

公开(公告)日：2011-05-05

申请号：US12610461

申请日：2009-11-02

申请人： Joan K. Bosworth ,  Charles M. Mate ,  Ricardo Ruiz

发明人： Joan K. Bosworth ,  Charles M. Mate ,  Ricardo Ruiz

IPC分类号： G11B5/23 ,  G11B5/187

CPC分类号： G11B5/82 ,  B82Y10/00 ,  G11B5/743 ,  G11B5/855

摘要： The surfaces of hard disk drive magnetic media disks are planarized with surface-grafted polymer chains that form a monolayer-thick film of uniform, self-limiting thickness. The thickness is controlled by the molecular weight of the polymer selected. The polymer film may be swollen by a solvent vapor to fill variable width gaps in the topography. The polymer may be cross-linked in place by radiation or thermal processing.

摘要翻译： 硬盘驱动器磁盘介质盘的表面被表面接枝的聚合物链平坦化，形成均匀的自限制厚度的单层厚膜。 厚度由所选聚合物的分子量控制。 聚合物膜可以通过溶剂蒸汽溶胀以填充地形中的可变宽度间隙。 聚合物可以通过辐射或热加工在适当的位置进行交联。

公开(公告)号：US20100226035A1

公开(公告)日：2010-09-09

申请号：US12398909

申请日：2009-03-05

申请人： Weidong Huang ,  Sang Hoon Kim ,  Charles M. Mate

发明人： Weidong Huang ,  Sang Hoon Kim ,  Charles M. Mate

IPC分类号： G11B21/02 ,  G11B5/60

CPC分类号： G11B5/6005 ,  G11B5/40 ,  G11B5/6082

摘要： A method and apparatus for controlling lubrication in hard disk drives. Hard disk drives often include lubrication on the disks to protect the disks from incidental contact with the head slider. Embodiments of the invention include lubrication control recesses on the air bearing surface (ABS) of the head slider. The recesses reduce air stagnation on the ABS and/or store excess lubrication that migrates from the disk to the head slider. By reducing build-up of lubrication and storing excess lubrication, the lubrication control recesses avoid failure that may occur as a result of the lubrication interfering with the ABS or the read/write elements of the head.

摘要翻译： 一种控制硬盘驱动器润滑的方法和装置。 硬盘驱动器通常包括磁盘上的润滑，以防止磁盘与磁头滑块偶然接触。 本发明的实施例包括头滑动器的空气轴承表面（ABS）上的润滑控制凹部。 这些凹槽减少ABS上的空气滞留和/或存储从盘移动到头滑块的多余的润滑。 通过减少润滑的积累和储存多余的润滑，润滑控制凹槽可以避免由于润滑干扰ABS或读/写头元件而导致的故障。

公开(公告)号：US20090061735A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：US11850304

申请日：2007-09-05

申请人： Bruno Marchon ,  Charles M. Mate ,  Bernhard E. Knigge ,  Kurt Rubin

发明人： Bruno Marchon ,  Charles M. Mate ,  Bernhard E. Knigge ,  Kurt Rubin

IPC分类号： B24B39/06 ,  B24B1/00 ,  G11B33/00

CPC分类号： B24B37/00 ,  B24B37/013 ,  B24B49/10 ,  Y10T29/47 ,  Y10T29/49025

摘要： Systems and methods are provided for burnishing a recording head in-situ in a magnetic recording disk drive. The burnishing process generates a tribocurrent, which is electricity generated by the rubbing of dissimilar materials. Different materials exhibit widely different tribocurrent characteristics while in sliding contact. The tribocurrent thus acts as an indicator of the particular materials of the recording head making contact with the magnetic recording media during different stages of the burnishing process. The tribocurrent is thus monitored to determine when it reaches a threshold value. The threshold value indicates that the burnishing has exposed a particular material of the recording head. Thus, the burnishing process may be stopped upon the tribocurrent reaching the threshold value so that the read sensor of the recording head is not burnished and inadvertently damaged.

摘要翻译： 提供了用于在磁记录盘驱动器中原位抛光记录头的系统和方法。 抛光过程产生摩擦电流，这是通过摩擦不同材料产生的电力。 不同的材料在滑动接触时表现出广泛不同的摩擦电流特性。 因此，摩擦电流因此用作在抛光过程的不同阶段期间与磁记录介质接触的记录头的特定材料的指示器。 因此监测摩擦电流以确定何时达到阈值。 阈值表示抛光已经暴露了记录头的特定材料。 因此，可以在摩擦电流达到阈值时停止抛光过程，使得记录头的读取传感器不被抛光并且被无意地损坏。