公开(公告)号：US5510876A

公开(公告)日：1996-04-23

申请号：US327420

申请日：1994-10-21

申请人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

发明人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

IPC分类号： G03G21/00 ,  G01R31/3185 ,  G03G15/00 ,  G06F11/273 ,  G06F11/34 ,  H04M11/00 ,  H04N1/00

CPC分类号： G06F11/2294 ,  G03G15/5079 ,  G06F11/0733 ,  G06F11/0748 ,  G01R31/318516 ,  G03G15/55 ,  G03G2215/00113 ,  G06F11/3485

摘要： A control system for collectively supervising a plurality of copiers or similar image forming apparatuses connected to a control device by communication lines with or without the intermediary of communication control units. To down-load data relating to image formation, the control device determines whether or not a copier of interest is an inoperative state and, if it is in an inoperative state, automatically sends the data to the copier via a telephone line, an exchange, and a communication control unit. This data is written to a storage device built in the copier. To up-load data relating to image formation, the control device causes each copier to automatically send the data stored in the storing device thereof and stores the data in a memory thereof. Up-loading is effected at an optimal time other than the time when the copier is performing an automatic adjustment, in use, or quite likely to be used.

摘要翻译： 一种控制系统，用于通过具有或不具有通信控制单元的中介的通信线路来共同监督连接到控制设备的多个复印机或类似图像形成设备。 为了下载与图像形成有关的数据，控制装置确定感兴趣的复印机是否是非工作状态，并且如果它处于不工作状态，则经由电话线，交换机，自动发送数据到复印机， 和通信控制单元。 该数据被写入复印机内置的存储设备。 为了加载与图像形成有关的数据，控制装置使每个复印机自动发送存储在其存储装置中的数据，并将数据存储在其存储器中。 在复印机正在进行自动调整，使用中或非常有可能使用的时间之外的最佳时间进行上载。

公开(公告)号：US5784663A

公开(公告)日：1998-07-21

申请号：US813592

申请日：1997-03-07

申请人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuyuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

发明人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuyuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

IPC分类号： G03G21/00 ,  G01R31/3185 ,  G03G15/00 ,  G06F11/273 ,  G06F11/34 ,  H04M11/00 ,  H04N1/00 ,  G03C15/00

CPC分类号： G06F11/2294 ,  G03G15/5079 ,  G06F11/0733 ,  G06F11/0748 ,  G01R31/318516 ,  G03G15/55 ,  G03G2215/00113 ,  G06F11/3485

摘要： A control system for collectively supervising a plurality of copiers or similar image forming apparatuses connected to a control device by communication lines with or without the intermediary of communication control units. To down-load data relating to image formation, the control device determines whether or not a copier of interest is in an inoperative state and, if it is in an inoperative state, automatically sends the data to the copier via a telephone line, an exchange, and a communication control unit. This data is written to storing means built in the copier. To up-load data relating to image formation, the control device causes each copier to automatically send the data stored in the storing means and stores the data in memory means. Up-loading is effected at an optimal time other than the time when the copier is performing an automatic adjustment, is in use, or is quite likely to be used.

摘要翻译： 一种控制系统，用于通过具有或不具有通信控制单元的中介的通信线路来共同监督连接到控制设备的多个复印机或类似图像形成设备。 为了下载与图像形成有关的数据，控制装置确定感兴趣的复印机是否处于非操作状态，并且如果它处于不工作状态，则经由电话线，交换机自动发送数据到复印机 ，以及通信控制单元。 该数据被写入复印机内置的存储装置。 为了加载与图像形成有关的数据，控制装置使每个复印机自动发送存储在存储装置中的数据并将数据存储在存储装置中。 在复印机进行自动调整，正在使用或很有可能使用的时间以外的最佳时间进行上载。

公开(公告)号：US5694201A

公开(公告)日：1997-12-02

申请号：US575573

申请日：1995-12-20

申请人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuyuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

发明人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuyuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

IPC分类号： G03G21/00 ,  G01R31/3185 ,  G03G15/00 ,  G06F11/273 ,  G06F11/34 ,  H04M11/00 ,  H04N1/00

CPC分类号： G06F11/2294 ,  G03G15/5079 ,  G06F11/0733 ,  G06F11/0748 ,  G01R31/318516 ,  G03G15/55 ,  G03G2215/00113 ,  G06F11/3485

摘要： A control system for collectively supervising a plurality of copiers or similar image forming apparatuses connected to a control device by communication lines with or without the intermediary of communication control units. To down-load data relating to image formation, the control device determines whether or not a copier of interest is an inoperative state and, if it is in an inoperative state, automatically sends the data to the copier via a telephone line, an exchange, and a communication control unit. This data is written to storing means built in the copier. To up-load data relating to image formation, the control device causes each copier to automatically send the data stored in the storing means thereof and stores the data in memory means thereof. Up-loading is effected at an optimal time other than the time when the copier is performing an automatic adjustment, in use, or quite likely to be used.

摘要翻译： 一种控制系统，用于通过具有或不具有通信控制单元的中介的通信线路来共同监督连接到控制设备的多个复印机或类似图像形成设备。 为了下载与图像形成有关的数据，控制装置确定感兴趣的复印机是否是非工作状态，并且如果它处于不工作状态，则经由电话线，交换机，自动发送数据到复印机， 和通信控制单元。 该数据被写入复印机内置的存储装置。 为了加载与图像形成有关的数据，控制装置使每个复印机自动发送存储在其存储装置中的数据，并将数据存储在其存储装置中。 在复印机正在进行自动调整，使用中或非常有可能使用的时间之外的最佳时间进行上载。

公开(公告)号：US5546164A

公开(公告)日：1996-08-13

申请号：US327418

申请日：1994-10-21

申请人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuyuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

发明人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuyuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

IPC分类号： G03G21/00 ,  G01R31/3185 ,  G03G15/00 ,  G06F11/273 ,  G06F11/34 ,  H04M11/00 ,  H04N1/00

CPC分类号： G06F11/2294 ,  G03G15/5079 ,  G06F11/0733 ,  G06F11/0748 ,  G01R31/318516 ,  G03G15/55 ,  G03G2215/00113 ,  G06F11/3485

摘要： A control system for collectively supervising a plurality of copiers or similar image forming apparatuses connected to a control device by communication lines with or without the intermediary of communication control units. To down-load data relating to image formation, the control device determines whether or not a copier of interest is an inoperative state and, if it is in an inoperative state, automatically sends the data to the copier via a telephone line, an exchange, and a communication control unit. This data is written to a storage device built in the copier. To up-load data relating to image formation, the control device causes each copier to automatically send the data stored in the storing device thereof and stores the data in a memory thereof. Up-loading is effected at an optimal time other than the time when the copier is performing an automatic adjustment, in use, or quite likely to be used.

摘要翻译： 一种控制系统，用于通过具有或不具有通信控制单元的中介的通信线路来共同监督连接到控制设备的多个复印机或类似图像形成设备。 为了下载与图像形成有关的数据，控制装置确定感兴趣的复印机是否是非工作状态，并且如果它处于不工作状态，则经由电话线，交换机，自动发送数据到复印机， 和通信控制单元。 该数据被写入复印机内置的存储设备。 为了加载与图像形成有关的数据，控制装置使每个复印机自动发送存储在其存储装置中的数据，并将数据存储在其存储器中。 在复印机正在进行自动调整，使用中或非常有可能使用的时间之外的最佳时间进行上载。

公开(公告)号：US5485246A

公开(公告)日：1996-01-16

申请号：US345796

申请日：1994-11-22

申请人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuyuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

发明人： Masayuki Hayashi ,  Yoshihiro Mitekura ,  Koichi Kanaya ,  Masato Terao ,  Toshiya Tagawa ,  Nobuaki Tomidokoro ,  Masahiro Kitayama ,  Osamu Kizaki ,  Yasuo Kawada ,  Kazuyuki Nakahara ,  Tomofumi Harada ,  Yasunari Hashimoto

IPC分类号： G03G21/00 ,  G01R31/3185 ,  G03G15/00 ,  G06F11/273 ,  G06F11/34 ,  H04M11/00 ,  H04N1/00

CPC分类号： G06F11/2294 ,  G03G15/5079 ,  G06F11/0733 ,  G06F11/0748 ,  G01R31/318516 ,  G03G15/55 ,  G03G2215/00113 ,  G06F11/3485

摘要： A control system for collectively supervising a plurality of copiers or similar image forming apparatuses connected to a control device by communication lines with or without the intermediary of communication control units. To down-load data relating to image formation, the control device determines whether or not a copier of interest is an inoperative state and, if it is in an inoperative state, automatically sends the the copier via a telephone line, an exchange, and a communication control unit. This data is written to a storing device built in the copier. To up-load data relating to image formation, the control device causes each copier automatically send the data stored in the storing device thereof and stores the data in a memory thereof. Up-loading is effected at an optimal time other than the time when the copier is performing an automatic adjustment, in use, or quite likely to be used.

摘要翻译： 一种控制系统，用于通过具有或不具有通信控制单元的中介的通信线路来共同监督连接到控制设备的多个复印机或类似图像形成设备。 为了下载与图像形成有关的数据，控制装置确定感兴趣的复印机是否是非操作状态，并且如果它处于不工作状态，则经由电话线，交换机和 通讯控制单元。 该数据被写入复印机内置的存储装置。 为了加载与图像形成有关的数据，控制装置使每个复印机自动发送存储在其存储装置中的数据，并将数据存储在其存储器中。 在复印机正在进行自动调整，使用中或非常有可能使用的时间之外的最佳时间进行上载。

公开(公告)号：US07615116B2

公开(公告)日：2009-11-10

申请号：US10572465

申请日：2004-09-27

申请人： Koichi Kanaya ,  Tsuyoshi Nishizawa

发明人： Koichi Kanaya ,  Tsuyoshi Nishizawa

IPC分类号： C30B21/02

CPC分类号： C30B25/02 ,  C30B25/12 ,  C30B29/06

摘要： In a vapor phase growth apparatus including a reaction chamber, a susceptor, a lift pin, an upper heating device, and a lower heating device, a heating ratio between the upper heating ratio and the lower heating ratio is adjusted.

摘要翻译： 在包括反应室，基座，升降销，上加热装置和下加热装置的气相生长装置中，调节上加热比和下加热比之间的加热比。

公开(公告)号：US20080248728A1

公开(公告)日：2008-10-09

申请号：US12078525

申请日：2008-04-01

申请人： Koichi Kanaya ,  Masayoshi Sekizawa ,  Naotaka Toyama

发明人： Koichi Kanaya ,  Masayoshi Sekizawa ,  Naotaka Toyama

IPC分类号： B24D11/00 ,  B24D18/00 ,  B24B1/00

CPC分类号： B24D18/00 ,  B24B37/20 ,  Y10T428/24992

摘要： There is disclosed a method for manufacturing a polishing pad that is formed of a urethane foam pad and attached to a turn table to polish a wafer, the method comprising at least steps of: slicing a urethane foam cake to provide the urethane foam pad; and performing press processing with respect to the urethane foam pad with a pressure of 15000 g/cm2 or above, a polishing pad manufactured by this method, and a method for polishing a wafer by using this polishing pad. There can be provided a method for manufacturing a polishing pad that can stably obtain a wafer with high flatness, etc.

摘要翻译： 公开了一种用于制造由聚氨酯泡沫垫形成的抛光垫的方法，该抛光垫安装在转台上以抛光晶片，所述方法至少包括以下步骤：切割聚氨酯泡沫块以提供聚氨酯泡沫垫; 对该聚氨酯泡沫垫进行压力加工，压力为15000g / cm 2以上，通过该方法制造的研磨垫，以及使用该抛光垫来研磨晶片的方法 。 可以提供一种能够稳定地获得具有高平坦度等的晶片的抛光垫的制造方法。

公开(公告)号：US07459720B2

公开(公告)日：2008-12-02

申请号：US10332434

申请日：2001-07-06

申请人： Tadahiro Ohmi ,  Shigetoshi Sugawa ,  Tatsuo Ito ,  Koichi Kanaya

发明人： Tadahiro Ohmi ,  Shigetoshi Sugawa ,  Tatsuo Ito ,  Koichi Kanaya

IPC分类号： H01L29/04

CPC分类号： H01L21/28211 ,  C30B15/00 ,  C30B29/06 ,  H01L29/518 ,  H01L31/028 ,  H01L31/036 ,  Y02E10/547 ,  Y02P80/30

摘要： The present invention provides a single crystal wafer, wherein the main surface has a plane or a plane equivalent to a plane tilting with respect to a [100] axis of single crystal by angles of α (0°

摘要翻译： 本发明提供了一种单晶晶片，其中主表面具有相对于单晶的[100]轴倾斜的平面的平面或平面，其角度为α（0°<α<90°） 方向，[01-1]方向的β（0°<β<90°）和[10-1]或[101]方向的γ（0°<= gamma <45°）。 因此，提供即使以小的晶片厚度即可充分承受器件制造工艺的单晶晶片，从而降低单晶原料的损失。 此外，通过使用这样的晶片，以低成本提供MIS型半导体器件和太阳能电池。

公开(公告)号：US20060180076A1

公开(公告)日：2006-08-17

申请号：US10565653

申请日：2004-04-26

申请人： Koichi Kanaya ,  Toru Otsuka ,  Takao Kanno

发明人： Koichi Kanaya ,  Toru Otsuka ,  Takao Kanno

IPC分类号： C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  C30B28/12 ,  C30B28/14

CPC分类号： H01L21/68735 ,  C30B25/12 ,  C30B29/06

摘要： In a vapor phase growth apparatus for performing a vapor phase growth of a silicon epitaxial layer on a main surface of a silicon single crystal substrate while heating the silicon single crystal substrate placed on a pocket formed on a susceptor, from both sides, the pocket has an outer peripheral side part which supports a rear surface of the silicon single crystal substrate and an inner peripheral side part which is kept in a state of being more recessed than the outer peripheral side part in the inside of the outer peripheral side part, and the susceptor has a warped inverted U-shaped longitudinal sectional shape.

公开(公告)号：US06217651B1

公开(公告)日：2001-04-17

申请号：US09356319

申请日：1999-07-16

申请人： Hisashi Kashino ,  Koichi Kanaya

发明人： Hisashi Kashino ,  Koichi Kanaya

IPC分类号： C30B2516

CPC分类号： C23C16/52 ,  C30B25/16

摘要： In the process of thin film growth, actual temperature of a substrate is measured and corrected with low cost in short time. With first thin film growth equipment of which a difference between set temperature of a heating source and an actual temperature of the substrate (hereinafter, referred to as temperature characteristic) is known, a first calibration curve representing “thin film growth rate vs. substrate actual temperature” is prepared. Next, thin film growth is conducted at one set temperature T2 with use of second thin film growth equipment whose temperature characteristic is unknown, where a difference from a set temperature T1 reading from the first calibration curve in correspondence to a thin film growth rate G resulting from the thin film growth process is determined. This difference is added to a set temperature T3 in the diffusion controlled temperature region at which the thin film growth is actually performed, making it possible to achieve thin film growth at an accurate substrate surface temperature. The temperature characteristic of the first thin film growth equipment can be known based on a second calibration curve representing “sheet resistance vs. substrate actual temperature” prepared by using a test-use substrate by ion implantation.

摘要翻译： 在薄膜生长过程中，在短时间内以低成本测量和校正基板的实际温度。 利用第一薄膜生长设备，其中加热源的设定温度与基板的实际温度之间的差异（以下称为温度特性）是已知的，表示“薄膜生长速率对基板实际值”的第一校准曲线 温度“。 接下来，使用温度特性未知的第二薄膜生长设备在一个设定温度T2下进行薄膜生长，其中与从薄膜生长速率G相应的从第一校准曲线读取的设定温度T1的差异导致 从薄膜生长过程确定。 该差异被添加到实际进行薄膜生长的扩散控制温度区域的设定温度T3，使得可以在精确的基板表面温度下实现薄膜生长。 基于通过使用通过离子注入使用测试用基板制备的表示“薄层电阻与基板实际温度”的第二校准曲线，可以知道第一薄膜生长设备的温度特性。