公开(公告)号：US20100200566A1

公开(公告)日：2010-08-12

申请号：US12300979

申请日：2007-05-14

申请人： Mitsuaki Komino ,  Kenji Saito

发明人： Mitsuaki Komino ,  Kenji Saito

IPC分类号： H05B3/68 ,  H05B3/06

CPC分类号： C23C16/46 ,  H01L21/67109

摘要： The present invention is to provide a heating apparatus available to reduce temperature quickly with efficient cooling effects in the case of reducing the temperature of a chamber or the like. A substrate processing apparatus 1 comprises a heating unit 100 in a chamber inner space 23 surrounded by a processing chamber 11 and a cover 12. The heating unit 100 is provided by a planer heating body 113 between an outer shell 111 and an inner shell 112. The heating unit generates heat when electricity is carried to the planar heat generating body 113, and heats the chamber inner space 23 to a desired temperature. At a boundary section of the outer shell 111 and the planar shaped heating body 113 of the heating unit 100, a cooling medium flow path 114 is spirally arranged along the circumference surface of the heating unit 100. At the time of reducing temperature, the cooling medium is permitted to flow in the cooling medium flow path 114 to forcibly cool the chamber inner space 23 and the substrate processing apparatus 1, and the temperature is rapidly reduced.

摘要翻译： 本发明提供一种可以在降低室等的温度的情况下快速降低温度的加热装置和有效的冷却效果。 基板处理装置1包括由处理室11和盖12包围的室内空间23中的加热单元100.加热单元100由外壳111和内壳112之间的平面加热体113设置。 当电被传送到平面发热体113时，加热单元产生热量，并将室内空间23加热到期望的温度。 在加热单元100的外壳111和平面状加热体113的边界部分，沿着加热单元100的圆周表面螺旋地设置冷却介质流路114.在降温时，冷却 允许介质在冷却介质流路114中流动，以强制冷却室内空间23和基板处理装置1，并且迅速降低温度。

公开(公告)号：US20070034159A1

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：US10556067

申请日：2004-05-19

申请人： Mitsuaki Komino ,  Masato Yonemitsu ,  Kenji Saito ,  Miura Kuniaki ,  Abe Yuji ,  Makoto Asaba

发明人： Mitsuaki Komino ,  Masato Yonemitsu ,  Kenji Saito ,  Miura Kuniaki ,  Abe Yuji ,  Makoto Asaba

IPC分类号： C23C16/00 ,  H05B3/10

CPC分类号： H01L21/67109 ,  F16L53/35

摘要： A semiconductor manufacturing device according to the present invention includes a processing chamber (11), a transferring passage (12) through which a wafer is put in and taken out of the processing chamber (11), an exhaust passage (13) and exhaust lines (40 and 40′) through which a processing gas inside the processing chamber (11) is exhausted, and so on, and in order to heat the inner wall faces (11a, 11b, 12a, 13a, 410a, and 420a) of the processing chamber (11), the transferring passage (12), the exhaust passage (13) and the exhaust pipes (410 and 420), further includes sheet-like heating units (50, 60, 70, 80, 170, and 270) that sandwich and cover a thin plate-shaped resistive heating element by a pair of metal plates and cover the inner wall faces from the inner side. Thereby, the heating efficiency on the wall faces to be exposed to the processing gas increases, adhesion of by-products can be prevented, and deterioration of the resistive heating element can also be prevented.

摘要翻译： 根据本发明的半导体制造装置包括处理室（11），将晶片放入和移出处理室（11）的输送通道（12），排气通道（13）和排气管 （40）和（40'），处理室（11）内的处理气体通过其排出，等等，为了加热内壁面（11a，11b，12a，13a， 和处理室（11），转移通道（12），排气通道（13）和排气管（410和420）之间的部分，还包括片状加热单元（50,60,70,80） ，170和270），其通过一对金属板夹住并覆盖薄板状电阻加热元件，并从内侧覆盖内壁面。 因此，暴露于处理气体的壁面上的加热效率提高，可以防止副产物的粘附，并且还可以防止电阻加热元件的劣化。

公开(公告)号：US09046059B2

公开(公告)日：2015-06-02

申请号：US13618101

申请日：2012-09-14

申请人： Katsuhiro Furuta ,  Hideo Matsunaga ,  Hitoshi Kamura ,  Kenji Saito

发明人： Katsuhiro Furuta ,  Hideo Matsunaga ,  Hitoshi Kamura ,  Kenji Saito

IPC分类号： F02D41/22 ,  F02M25/07 ,  B60W20/00 ,  F02D41/00 ,  B60K6/442 ,  B60K6/52 ,  B60W10/06 ,  F02D41/02

CPC分类号： F02M25/0702 ,  B60K6/442 ,  B60K6/52 ,  B60W10/06 ,  B60W20/00 ,  B60W20/50 ,  B60W2510/0604 ,  B60W2510/0671 ,  B60Y2400/442 ,  F02D41/0055 ,  F02D41/022 ,  F02D2200/0406 ,  F02M26/49 ,  Y02T10/47 ,  Y02T10/6234 ,  Y02T10/6265

摘要： An electric vehicle includes engine in which the amount of fuel supply is controlled by a throttle, a generator that produces electricity using the power of the engine, a motor outputs power to a drive shaft, an EGR system that supplies gas, exhausted from the engine, to a manifold of the engine, a clutch that switches between the transmission and the non-transmission of power from the engine to the drive shaft, a sensor that measures the change of a pressure of the manifold before and after the EGR system supplies the gas to the manifold, and ECU that performs fault detection of the EGR system using the sensor when conditions, where a series mode is selected, the degree of opening of the throttle is constant, are satisfied.

摘要翻译： 电动车辆包括其中通过节气门控制燃料供给量的发动机，使用发动机的动力产生电的发电机，电动机向驱动轴输出动力，从发动机排出的EGR的EGR系统 到发动机的歧管，离合器，其在变速器和从发动机到驱动轴的不传动动力之间切换;传感器，其测量在EGR系统供给前后的歧管的压力变化 满足歧管的气体和在选择串联模式的情况下，节气门的开度恒定的条件下，使用传感器进行EGR系统的故障检测的ECU。

公开(公告)号：US08597439B2

公开(公告)日：2013-12-03

申请号：US12640229

申请日：2009-12-17

申请人： Shushi Ikeda ,  Yoichi Mukai ,  Hiroshi Akamizu ,  Koichi Makii ,  Koichi Sugimoto ,  Shunichi Hashimoto ,  Kenji Saito

发明人： Shushi Ikeda ,  Yoichi Mukai ,  Hiroshi Akamizu ,  Koichi Makii ,  Koichi Sugimoto ,  Shunichi Hashimoto ,  Kenji Saito

IPC分类号： C22C38/12

CPC分类号： C22C38/02 ,  C22C38/04 ,  C22C38/12

摘要： A high-strength cold rolled steel sheet contains:0.10 to 0.28% of C,1.0 to 2.0% of Si,1.0 to 3.0% of Mn, and0.03 to 0.10% of Nb in terms of % by mass,Al is controlled to 0.5 or less, P is controlled to 0.15% or less, and S is controlled to 0.02% or less, and residual austenite accounts for 5 to 20%, bainitic ferrite accounts for 50% or more, and polygonal ferrite accounts for 30% or less (containing 0%), of the entire structure, and a mean number of residual austenite blocks is 20 or more as determined when the random area (15 μm×15 μm) is observed by EBSP (electron back scatter diffraction pattern).

摘要翻译： 高强度冷轧钢板包含：以质量％计，C：0.10〜0.28％，Si：1.0〜2.0％，Mn：1.0〜3.0％，Nb：0.03〜0.10％，Al： 以下，P为0.15％以下，S为0.02％以下，残留奥氏体为5〜20％，贝氏体铁素体为50％以上，多边形铁素体为30％以下 （含有0％），并且当通过EBSP（电子背散射衍射图）观察到随机面积（15mum×15mum））时，残留奥氏体块的平均数为20以上。

公开(公告)号：US08564941B2

公开(公告)日：2013-10-22

申请号：US12827088

申请日：2010-06-30

申请人： Manabu Watabe ,  Kenji Saito

发明人： Manabu Watabe ,  Kenji Saito

IPC分类号： H05K5/00 ,  H05K7/00 ,  G06F1/16

CPC分类号： G06F1/1616

摘要： An electronic apparatus includes a keyboard unit, a first circuit board, and a first electronic component. The keyboard unit includes a plate that includes a front surface and a bottom surface facing each other and a first coupling portion protruding from the bottom surface, and a plurality of keys provided on the front surface side of the plate. The first circuit board is provided to face the bottom surface via the first coupling portion and includes a second coupling portion to be coupled with the first coupling portion and a first front surface as a surface on a side that faces the bottom surface. The first electronic component is mounted on the first front surface of the first circuit board.

摘要翻译： 电子设备包括键盘单元，第一电路板和第一电子元件。 键盘单元包括：板，其包括彼此面对的前表面和底表面;以及从底表面突出的第一联接部分和设置在板的前表面侧上的多个键。 第一电路板经由第一联接部分设置为面对底面，并且包括与第一联接部分联接的第二联接部分和作为面向底面的一侧上的表面的第一前表面。 第一电子部件安装在第一电路板的第一前表面上。

公开(公告)号：US08517795B2

公开(公告)日：2013-08-27

申请号：US10532586

申请日：2003-10-31

申请人： Kenji Saito ,  Tamao Higuchi

发明人： Kenji Saito ,  Tamao Higuchi

IPC分类号： B24B49/08

CPC分类号： C23F3/06 ,  B24B1/00 ,  B24B31/0218 ,  C23F3/03 ,  C25F3/16

摘要： A surface-treating process and a forming process in which an inner surface of a vacuum member is mechanically polished in the presence of a liquid medium including no hydrogen atom.

摘要翻译： 在不含氢原子的液体介质的存在下，对真空部件的内表面进行机械研磨的表面处理工序和成形工序。

公开(公告)号：US08415502B2

公开(公告)日：2013-04-09

申请号：US12994599

申请日：2008-10-24

申请人： Tatsuya Tsujiuchi ,  Shinya Tachibana ,  Tsuyoshi Oishi ,  Tomio Mimura ,  Yasuyuki Yagi ,  Hidehisa Mita ,  Ryosuke Araki ,  Kenji Saito

发明人： Tatsuya Tsujiuchi ,  Shinya Tachibana ,  Tsuyoshi Oishi ,  Tomio Mimura ,  Yasuyuki Yagi ,  Hidehisa Mita ,  Ryosuke Araki ,  Kenji Saito

IPC分类号： C07C213/04

CPC分类号： C07C213/10 ,  C07C213/04 ,  C07C215/08

摘要： A reaction column (12) to which a raw material mixture (11) containing a mono-lower-alkylamine (AA: raw material I) and an alkylene oxide (AO: raw material II) is supplied, an unreacted raw material distillation column (14) that separates an unreacted raw material (15) from a reaction product (13a) (containing the unreacted raw material (15), a target reaction product (monomer) (17), and a by-product (dimer) (18)), and a flash drum (16) to which a reaction product (13b) (containing the target reaction product (monomer) (17) and the by-product (dimer) (18)) is supplied, the flash drum (16) separating a mono-lower-alkyl monoalkanolamine (monomer, the target reaction product 17) in a gas state, are provided.

摘要翻译： 将供给含有单低级烷基胺（AA：原料I）和环氧烷（AO：原料II））的原料混合物（11）的反应塔（12），未反应原料蒸馏塔 14），将未反应的原料（15）与反应产物（13a）（含有未反应的原料（15）），目标反应产物（单体）（17）和副产物（二聚体）（18）分离， ）和提供有反应产物（13b）（含有目标反应产物（单体）（17）和副产物（二聚体）（18））的闪蒸筒），闪蒸鼓（16） 分离出气态下的单低级烷基单烷醇胺（单体，目标反应产物17）。

公开(公告)号：US08323880B2

公开(公告)日：2012-12-04

申请号：US12310054

申请日：2007-08-10

申请人： Yutaka Murakami ,  Norio Ishikawa ,  Taku Murata ,  Kenji Saito ,  Ryosuke Araki

发明人： Yutaka Murakami ,  Norio Ishikawa ,  Taku Murata ,  Kenji Saito ,  Ryosuke Araki

IPC分类号： G03F7/26

CPC分类号： G03F7/322

摘要： Disclosed is a positive resist processing liquid composition which is composed of an aqueous solution containing a quaternary ammonium hydroxide represented by the following general formula (I). In the formula, R1 and R3 independently represent a methyl group, and R2 represents an alkyl group having 12-18 carbon atoms.

摘要翻译： 公开了由含有由以下通式（I）表示的季铵氢氧化物的水溶液组成的正性抗蚀剂处理液体组合物。 在该式中，R 1和R 3独立地表示甲基，R 2表示具有12-18个碳原子的烷基。

公开(公告)号：US20110130294A1

公开(公告)日：2011-06-02

申请号：US12737651

申请日：2009-06-24

申请人： Kenji Saito ,  Koichi Takeuchi ,  Hiroshi Yamazaki

发明人： Kenji Saito ,  Koichi Takeuchi ,  Hiroshi Yamazaki

IPC分类号： H01L39/24

CPC分类号： H05H7/20 ,  B21D22/20 ,  B21D35/005 ,  C22B34/24 ,  C22C27/00 ,  Y10T29/49014

摘要： To provide a manufacturing method of a superconducting radio-frequency acceleration cavity used in a charged particle accelerator enabling the manufacturing with few waste amounts of the niobium material at low cost in a short time, the manufacturing method has each of the steps of (a) obtaining an ingot made from a disk-shaped niobium material, (b) slicing and cutting the niobium ingot into a plurality of niobium plates each with a predetermined thickness, by vibrating multiple wires back and forth while spraying fine floating abrasive grains with the niobium ingot supported, (c) removing the floating abrasive grains adhered to the sliced niobium plates, and (d) performing deep draw forming on the niobium plates and thereby obtaining a niobium cell of a desired shape.

摘要翻译： 为了提供一种用于带电粒子加速器的超导射频加速腔的制造方法，其能够在短时间内以低成本制造少量的铌材料，所以制造方法具有以下步骤：（a） 获得由圆盘形铌材料制成的铸锭，（b）通过在铌锭中喷洒细的浮动磨料颗粒来回振动多根钢丝，将铌锭切割并切割成多个具有预定厚度的铌板 （c）除去附着在切片的铌板上的浮动磨粒，（d）在铌板上进行深冲压成形，得到所需形状的铌电池。

公开(公告)号：US20110051345A1

公开(公告)日：2011-03-03

申请号：US12827088

申请日：2010-06-30

申请人： Manabu WATABE ,  Kenji Saito

发明人： Manabu WATABE ,  Kenji Saito

IPC分类号： H05K5/02

CPC分类号： G06F1/1616

摘要： An electronic apparatus includes a keyboard unit, a first circuit board, and a first electronic component. The keyboard unit includes a plate that includes a front surface and a bottom surface facing each other and a first coupling portion protruding from the bottom surface, and a plurality of keys provided on the front surface side of the plate. The first circuit board is provided to face the bottom surface via the first coupling portion and includes a second coupling portion to be coupled with the first coupling portion and a first front surface as a surface on a side that faces the bottom surface. The first electronic component is mounted on the first front surface of the first circuit board.

摘要翻译： 电子设备包括键盘单元，第一电路板和第一电子元件。 键盘单元包括：板，其包括彼此面对的前表面和底表面;以及从底表面突出的第一联接部分和设置在板的前表面侧上的多个键。 第一电路板经由第一联接部分设置为面对底面，并且包括与第一联接部分联接的第二联接部分和作为面向底面的一侧上的表面的第一前表面。 第一电子部件安装在第一电路板的第一前表面上。