公开(公告)号：US07059203B2

公开(公告)日：2006-06-13

申请号：US10988642

申请日：2004-11-16

申请人： Mitsuru Asai ,  Hiroaki Makino ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori ,  Jun Sugiyama

发明人： Mitsuru Asai ,  Hiroaki Makino ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori ,  Jun Sugiyama

IPC分类号： G01D7/00

CPC分类号： G01L1/20

摘要： A physical sensor having a pressure sensing layer having such property that electrical resistance is changed by application of a stress, and electrical insulating layers which are integrally formed on opposite two surfaces of the pressure sensing layer, respectively, wherein the pressure sensing layer has a matrix comprising glass, and an electrically conductive particle having electrical conductivity and dispersed in the matrix and preferably, the electrically conductive particle includes RuO2, and a thickness of the pressure sensing layer is 1 μm to 200 μm, and it is preferable that one pair of electrodes are disposed on the pressure sensing layer.

摘要翻译： 一种物理传感器，其具有通过施加应力而具有使电阻发生变化的性质的压力感测层，以及一体地形成在压力感测层的相对的两个表面上的电绝缘层，其中压力感测层具有矩阵 包含玻璃和具有导电性并分散在基质中的导电颗粒，并且优选地，导电颗粒包括RuO 2 N 2，并且压力感测层的厚度为1μm至200μm，以及 优选地，一对电极设置在压力感测层上。

公开(公告)号：US20050103124A1

公开(公告)日：2005-05-19

申请号：US10988642

申请日：2004-11-16

申请人： Mitsuru Asai ,  Hiroaki Makino ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori ,  Jun Sugiyama

发明人： Mitsuru Asai ,  Hiroaki Makino ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori ,  Jun Sugiyama

IPC分类号： G01L1/20 ,  G01L3/00

CPC分类号： G01L1/20

摘要： A physical sensor having a pressure sensing layer having such property that electrical resistance is changed by application of a stress, and electrical insulating layers which are integrally formed on opposite two surfaces of the pressure sensing layer, respectively. The pressure sensing layer comprises a matrix comprising glass, and an electrically conductive particle having electrical conductivity and dispersed in the matrix. Preferably, the electrically conductive particle comprises RuO2, and a thickness of the pressure sensing layer is 1 μm to 200 μm. It is preferable that one pair of electrodes are disposed on the pressure sensing layer.

摘要翻译： 具有压力感测层的物理传感器，其具有通过施加应力而使电阻发生变化的特性，以及分别一体地形成在压力感测层的相对的两个表面上的电绝缘层。 压力感测层包括包含玻璃的基体和具有导电性并分散在基质中的导电颗粒。 优选地，导电颗粒包括RuO 2 N 2，并且压力感测层的厚度为1μm至200μm。 优选地，一对电极设置在压力感测层上。

公开(公告)号：US20070159028A1

公开(公告)日：2007-07-12

申请号：US11717798

申请日：2007-03-13

申请人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

发明人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

IPC分类号： H01L41/187

CPC分类号： C01G33/00 ,  C01G33/006 ,  C01G35/006 ,  C01P2002/60 ,  C01P2004/20 ,  C01P2004/54 ,  C01P2006/10 ,  C04B35/493 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3294 ,  C04B2235/5292 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9615 ,  H01L41/0833 ,  H01L41/1873

摘要： The present invention provides a piezoelectric actuator that enjoys excellent practicality. The piezoelectric actuator includes a piezoelectric element (2) including a sheet of piezoelectric ceramic and electrodes formed at least part of the surface of the sheet of piezoelectric ceramic, and a holding member (4) holding the piezoelectric element (2). The piezoelectric at least one of the requirements (a) to (e) described below. (a) The bulk density shall be equal to or smaller than 5 g/cm3, and the Young's modulus Y11E calculated according to a resonance-antiresonance method shall be equal to or larger than 90 GPa. (b) The coefficient of thermal conductivity shall be equal to or larger than 2 Wm−1K−1. (c) The coefficient of thermal expansion shall be equal to or larger than 3.0 ppm/° C. over a temperature range from −30° C. to 160° C. (d) The pyroelectric coefficient shall be equal to or smaller than 400 μCm−2K−1 over the temperature range from −30° C. to 160° C. (e) The mechanical quality factor Qm calculated according to the resonance-antiresonance method shall be equal to or smaller than 50 over a temperature range from −30° C. to 80° C.

摘要翻译： 本发明提供一种具有优异实用性的压电致动器。 压电致动器包括压电元件（2），其包括压电陶瓷片和形成在压电陶瓷片的表面的至少一部分的电极和保持压电元件（2）的保持构件（4）。 压电元件中的至少一个要求（a）〜（e））。 （a）体积密度应等于或小于5g / cm 3，根据下式计算的杨氏模量Y 11 / E 2 / 共振反共振方法应等于或大于90GPa。 （b）导热系数应当等于或大于2Wm -1，以及<！ - SIPO - >。 （c）在-30℃至160℃的温度范围内，热膨胀系数应等于或大于3.0ppm /℃。（d）热电系数应等于或小于400 在-30℃至160℃的温度范围内，（μ）根据共振反共振计算的机械品质因子Qm 方法应在-30°C至80°C的温度范围内等于或小于50°。

公开(公告)号：US07443085B2

公开(公告)日：2008-10-28

申请号：US11717796

申请日：2007-03-13

申请人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

发明人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

IPC分类号： H01L41/18

CPC分类号： C04B35/495 ,  C01G33/006 ,  C01G35/006 ,  C01P2002/52 ,  C01P2006/32 ,  C01P2006/40 ,  C01P2006/42 ,  C04B35/493 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3294 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/444 ,  C04B2235/5292 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6585 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/9623 ,  H01L41/0833 ,  H01L41/1873

摘要： A piezoelectric actuator 1 includes a piezoelectric element 2, which has a pair of electrodes formed on the surface of a piezoelectric ceramic member, as a drive source. The piezoelectric actuator 1 satisfies at least one of the following requirements (a) to (c): (a) the variation width WC in an apparent dynamic capacity C [F] due to a change in temperature should fall within ±11% over a specific temperature range from −30° C. to 80° C.; (b) the variation width WL in a displacement L [μm] due to a change in temperature should fall within ±14% over the specific temperature range from −30° C. to 80° C.; and (c) the variation width WL/C in a quotient L/C due to a change in temperature should fall within ±12% over the specific temperature range from −30° C. to 80° C., wherein C [F] denotes the apparent dynamic capacity and L [μm] denotes the displacement.

摘要翻译： 压电致动器1包括压电元件2，其具有形成在压电陶瓷构件的表面上的一对电极作为驱动源。 压电致动器1满足以下要求（a）至（c）中的至少一个：（a）由于温度变化导致的表观动态电容C [F]中的变化宽度W C C 应在-30°C至80°C的特定温度范围内落在±11％以内。 （b）由于温度变化引起的位移L [m]中的变化宽度W L L应在-30℃至80℃的特定温度范围内落在±14％以内。 ; 和（c）由于温度变化引起的商L / C中的变化宽度W L / C在-30℃至80℃的特定温度范围内应该在±12％以内 C.其中C [F]表示表观动态容量，L [mum]表示位移。

公开(公告)号：US07267783B2

公开(公告)日：2007-09-11

申请号：US10391191

申请日：2003-03-19

申请人： Tatsuhiko Nonoyama ,  Toshiatsu Nagaya ,  Yasuyoshi Saito ,  Kazumasa Takatori ,  Takahiko Homma ,  Hisaaki Takao

发明人： Tatsuhiko Nonoyama ,  Toshiatsu Nagaya ,  Yasuyoshi Saito ,  Kazumasa Takatori ,  Takahiko Homma ,  Hisaaki Takao

IPC分类号： C04B35/00 ,  C04B35/495 ,  H01L41/18 ,  H01L10/187

CPC分类号： C01G33/006 ,  C01P2006/40 ,  C04B35/495 ,  C04B35/6262 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3294 ,  C04B2235/442 ,  C04B2235/5204 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/77 ,  H01L41/187

摘要： This invention provides a piezoelectric ceramic composition that does not contain lead, can be sintered at a normal pressure and is excellent in at least one of a piezoelectric constant, an electro-mechanical coupling coefficient, a dielectric loss, a relative dielectric constant and a Curie point, its production method, and a piezoelectric device and a dielectric device each utilizing the piezoelectric ceramic composition. The invention relates to a piezoelectric composition expressed by the general formula {Lix(K1−yNay)1−x}(Nb1−zSbz)O3, each of x, y and z respectively falling within composition ranges of 0≦x≦0.2, 0≦y≦1.0 and 0≦z≦0.2 (with the exception of x=z=0), and its production method. The invention further relates to a piezoelectric device having a piezoelectric body formed of the piezoelectric ceramic composition described above and a dielectric device having a dielectric body formed of the piezoelectric ceramic composition described above.

摘要翻译： 本发明提供一种不含铅的压电陶瓷组合物，其可以在常压下烧结，并且在压电常数，机电耦合系数，介电损耗，相对介电常数和居里中的至少一种方面优异 点，其制造方法，以及各自利用压电陶瓷组合物的压电器件和电介质器件。 本发明涉及一种压电组合物，由下列通式表示：（1）x（x，y）y（x） （Nb 1-z Sb 3 z O）O 3，x，y和z各自分别在 0 <= x <= 0.2,0 <= y <= 1.0，0 <= z <= 0.2（x = z = 0除外）及其制作方法。 本发明还涉及一种具有由上述压电陶瓷组合物形成的压电体的压电器件和具有由上述压电陶瓷组合物构成的电介体的电介质器件。

公开(公告)号：US20070228874A1

公开(公告)日：2007-10-04

申请号：US11717796

申请日：2007-03-13

申请人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

发明人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

IPC分类号： H01L41/00

CPC分类号： C04B35/495 ,  C01G33/006 ,  C01G35/006 ,  C01P2002/52 ,  C01P2006/32 ,  C01P2006/40 ,  C01P2006/42 ,  C04B35/493 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3294 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/444 ,  C04B2235/5292 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6585 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/9623 ,  H01L41/0833 ,  H01L41/1873

摘要： A piezoelectric actuator 1 includes a piezoelectric element 2, which has a pair of electrodes formed on the surface of a piezoelectric ceramic member, as a drive source. The piezoelectric actuator 1 satisfies at least one of the following requirements (a) to (c): (a) the variation width WC in an apparent dynamic capacity C [F] due to a change in temperature should fall within ±11% over a specific temperature range from −30° C. to 80° C.; (b) the variation width WL in a displacement L [μm] due to a change in temperature should fall within ±14% over the specific temperature range from −30° C. to 80° C.; and (c) the variation width WL/C in a quotient L/C due to a change in temperature should fall within ±12% over the specific temperature range from −30° C. to 80° C., wherein C [F] denotes the apparent dynamic capacity and L [μm] denotes the displacement.

摘要翻译： 压电致动器1包括压电元件2，其具有形成在压电陶瓷构件的表面上的一对电极作为驱动源。 压电致动器1满足以下要求（a）至（c）中的至少一个：（a）由于温度变化导致的表观动态电容C [F]中的变化宽度W C C 应在-30°C至80°C的特定温度范围内落在±11％以内。 （b）由于温度变化引起的位移L [m]中的变化宽度W L L应在-30℃至80℃的特定温度范围内落在±14％以内。 ; 和（c）由于温度变化引起的商L / C中的变化宽度W L / C在-30℃至80℃的特定温度范围内应该在±12％以内 C.其中C [F]表示表观动态容量，L [mum]表示位移。

公开(公告)号：US20070176516A1

公开(公告)日：2007-08-02

申请号：US11715744

申请日：2007-03-08

申请人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

发明人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

IPC分类号： H01L41/00

CPC分类号： C04B35/495 ,  C04B35/493 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/02 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3265 ,  C04B2235/3267 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3294 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/5292 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/9607 ,  G01L23/10 ,  G01L23/222 ,  G01P15/0907 ,  H01L41/1873

摘要： A piezoelectric sensor capable of preventing fluctuation in the sensitivity of the piezoelectric sensor over a wide temperature range is provided. This is a piezoelectric sensor comprising a piezoelectric element and a holding member for holding the piezoelectric element, the piezoelectric element comprising a piezoelectric ceramic having formed on the surfaces thereof a pair of electrodes. The piezoelectric ceramic satisfies the following requirement (a) and/or requirement (b): (a) in the temperature range from −30° C. to 160° C., the thermal expansion coefficient is 3.0 ppm/° C. or more, and (b) in the temperature range from −30° C. to 160° C., the pyroelectric coefficient is 400 μCm−2K−1 or less.

摘要翻译： 提供一种压电传感器，其能够在宽的温度范围内防止压电传感器的灵敏度的波动。 这是一种包括压电元件和用于保持压电元件的保持构件的压电传感器，该压电元件包括​​在其表面上形成有一对电极的压电陶瓷。 压电陶瓷满足以下要求（a）和/或要求（b）：（a）在-30℃〜160℃的温度范围内，热膨胀系数为3.0ppm /℃以上 ，和（b）在-30℃至160℃的温度范围内，热电系数为400μCm-2K以上-1以下。

公开(公告)号：US20060006360A1

公开(公告)日：2006-01-12

申请号：US11156328

申请日：2005-06-17

申请人： Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Yasuyoshi Saito ,  Kazumasa Takatori ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Toshiatsu Nagaya ,  Masaya Nakamura

发明人： Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Yasuyoshi Saito ,  Kazumasa Takatori ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Toshiatsu Nagaya ,  Masaya Nakamura

IPC分类号： C04B35/00

CPC分类号： H01L41/1873 ,  C04B35/495 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3267 ,  C04B2235/3279 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/3289 ,  C04B2235/3291 ,  C04B2235/3294 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/408 ,  C04B2235/5292 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/6585 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/787 ,  H01B3/12 ,  H01L41/43

摘要： To provide a grain oriented ceramic capable of exerting excellent piezoelectric properties, a production method thereof, and a piezoelectric material, a dielectric material, a thermoelectric conversion element and an ion conducting element each using the grain oriented ceramic, there is provided a grain oriented ceramic comprising, as the main phase, an isotropic perovskite-type compound which is represented by formula (1): {Lix(K1−yNay)1−x}(Nb1−z−wTazSbw)O3 in which x, y, z and w are in respective composition ranges of 0≦x≦0.2, 0≦y≦1, 0≦z≦0.4, 0≦w≦0.2 and x+z+w>0. The main phase comprises a polycrystalline body containing from 0.0001 to 0.15 mol of any one or more additional element selected from metal elements, semimetal elements, transition metal elements, noble metal elements and alkaline earth metal elements belonging to Groups 2 to 15 of the Periodic Table, per mol of the compound represented by formula (1). A specific crystal plane of each crystal grain constituting said polycrystalline body is oriented.

摘要翻译： 为了提供能够发挥优异的压电性能的晶粒取向陶瓷，其制造方法以及使用晶粒取向陶瓷的压电材料，电介质材料，热电转换元件和离子传导元件，提供了晶粒取向陶瓷 包括作为主相的由式（1）表示的各向同性的钙钛矿型化合物：{Li x Si（K 1-y Na y） 1/2）（Nb 1-z z）Z z O z O z O 2） 3，其中x，y，z和w分别为0 <= x <= 0.2,0 <= y <=1,0,0≤z≤0.4,0<= w < 0.2和x + z + w> 0。 主相包括含有0.0001-0.15mol选自属于元素周期表第2至15族的金属元素，半金属元素，过渡金属元素，贵金属元素和碱土金属元素中的任何一种或多种附加元素的多晶体 每摩尔由式（1）表示的化合物。 构成所述多晶体的每个晶粒的特定晶面被取向。

公开(公告)号：US07470390B2

公开(公告)日：2008-12-30

申请号：US11258356

申请日：2005-10-25

申请人： Masaya Nakamura ,  Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Hisaaki Takao ,  Yasuyoshi Saito ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

发明人： Masaya Nakamura ,  Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Hisaaki Takao ,  Yasuyoshi Saito ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

IPC分类号： C04B35/64 ,  C04B33/32 ,  C04B35/622

CPC分类号： C04B35/495 ,  C04B35/6303 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3267 ,  C04B2235/3291 ,  C04B2235/3294 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/5292 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/9615 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/43

摘要： To provide a production method of a polycrystalline ceramic body with excellent density, a preparation step, a mixing step, a forming step and a heat-treating step are performed. In the preparation step, a coarse particle ceramic powder, and a fine particle powder having an average particle diameter of ⅓ or less of the average particle diameter of the coarse particle ceramic powder are prepared. In the mixing step, the coarse particle ceramic powder and the fine particle powder are mixed to produce a raw material mixture. In the forming step, the raw material mixture is formed to a shaped body. In the heat-treating step, the shaped body is heated and thereby sintered to produce a polycrystalline ceramic body. In the heat-treating step, a temperature elevating process and a first holding process are performed and at the same time, a second holding process and/or a cooling process are performed. In the temperature elevating process, heating is started to elevate the temperature and in the first holding process, the shaped body is held at a temperature T1° C. In the second holding process, the shaped body is held at a temperature T2° C. lower than the temperature T1° C. In the cooling process, the shaped body is cooled at a temperature dropping rate of 60° C./h or less from the temperature T1° C.

摘要翻译： 为了提供具有优异密度的多晶陶瓷体的制造方法，进行制备步骤，混合步骤，成形步骤和热处理步骤。 在制备步骤中，制备粗颗粒陶瓷粉末和平均粒径为粗颗粒陶瓷粉末的平均粒径的1/3以下的细颗粒粉末。 在混合步骤中，将粗颗粒陶瓷粉末和细颗粒粉末混合以制备原料混合物。 在成形步骤中，将原料混合物形成为成形体。 在热处理工序中，加热成形体，由此烧结而制成多晶体。 在热处理步骤中，进行升温处理和第一保持处理，同时进行第二保持处理和/或冷却处理。 在升温过程中，加热开始升温，在第一保持过程中，成形体保持在T1℃的温度。在第二保持过程中，成形体保持在T2℃的温度。 低于温度T1℃。在冷却过程中，成形体从温度T1℃以60℃/小时以下的降温速度冷却。

公开(公告)号：US07352113B2

公开(公告)日：2008-04-01

申请号：US11717798

申请日：2007-03-13

申请人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

发明人： Toshiatsu Nagaya ,  Tatsuhiko Nonoyama ,  Masaya Nakamura ,  Yasuyoshi Saito ,  Hisaaki Takao ,  Takahiko Homma ,  Kazumasa Takatori

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： C01G33/00 ,  C01G33/006 ,  C01G35/006 ,  C01P2002/60 ,  C01P2004/20 ,  C01P2004/54 ,  C01P2006/10 ,  C04B35/493 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3294 ,  C04B2235/5292 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6025 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9615 ,  H01L41/0833 ,  H01L41/1873

摘要： The piezoelectric actuator includes a piezoelectric element (2) including a sheet of piezoelectric ceramic and electrodes formed at least part of the surface of the sheet of piezoelectric ceramic, and a holding member (4) holding the piezoelectric element (2); The piezoelectric at least one of the requirements (a) to (e) described below; (a) The bulk density shall be equal to or smaller than 5 g/cm3, and the Young's modulus Y11E calculated according to a resonance-antiresonance method shall be equal to or larger than 90 GPa; (b) The coefficient of thermal conductivity shall be equal to or larger than 2 Wm−1K−1; (c) The coefficient of thermal expansion shall be equal to or larger than 3.0 ppm/° C. over a temperature range from −30° C. to 160° C.; (d) The pyroelectric coefficient shall be equal to or smaller than 400 μCm−2K−1 over the temperature range from −30° C. to 160° C.; (e) The mechanical quality factor Qm calculated according to the resonance-antiresonance method shall be equal to or smaller than 50 over a temperature range from −30° C. to 80° C.

摘要翻译： 压电致动器包括：压电元件（2），包括压电陶瓷片和形成在压电陶瓷片的表面的至少一部分的电极;以及保持部件（4），其保持压电元件（2）; 压电元件中的至少一个要求（a）〜（e）） （a）体积密度应等于或小于5g / cm 3，根据下式计算的杨氏模量Y 11 / E 2 / 共振反共振方法应等于或大于90GPa; （b）导热系数应等于或大于2Wm-1K 1; （c）在-30℃至160℃的温度范围内，热膨胀系数应等于或大于3.0ppm /℃。 （d）在-30℃至160℃的温度范围内，热电系数应等于或小于400微米-2K以上。 （e）根据共振 - 反谐振法计算的机械品质因数Qm在-30°C至80°C的温度范围内应等于或小于50。