公开(公告)号：US06960425B2

公开(公告)日：2005-11-01

申请号：US10693647

申请日：2003-10-27

申请人： Myung Sup Jung ,  Jong Jin Park ,  Sung Ouk Jung ,  Seung Joo Seo ,  Bon Won Koo

发明人： Myung Sup Jung ,  Jong Jin Park ,  Sung Ouk Jung ,  Seung Joo Seo ,  Bon Won Koo

IPC分类号： B82B3/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B31/02 ,  G03F1/00 ,  G03F7/039 ,  G03F7/16 ,  G03F7/40 ,  H01B13/00 ,  G03F7/30

CPC分类号： B82Y30/00 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/165 ,  G03F7/168 ,  G03F7/40 ,  Y10S977/842

摘要： A method for forming a pattern of carbon nanotubes includes forming a pattern on a surface-treated substrate using a photolithographic process, and laminating carbon nanotubes thereon using a chemical self-assembly process so as to form the carbon nanotubes in a monolayer or multilayer structure. A monolayer or multilayer carbon nanotube pattern may be easily formed on the substrate, e.g., glass, a silicon wafer and a plastic. Accordingly, the method can be applied to form patterned carbon nanotube layers having a high conductivity, and thus will be usefully utilized in the manufacturing processes of energy storages, for example, solar cells and batteries, flat panel displays, transistors, chemical and biological sensors, semiconductor devices and the like.

摘要翻译： 形成碳纳米管图案的方法包括使用光刻工艺在表面处理的基板上形成图案，并使用化学自组装工艺在其上层压碳纳米管，以便以单层或多层结构形成碳纳米管。 单层或多层碳纳米管图案可以容易地形成在基底上，例如玻璃，硅晶片和塑料。 因此，该方法可以应用于形成具有高导电性的图案化碳纳米管层，因此将有用地用于能量存储器的制造过程中，例如太阳能电池和电池，平板显示器，晶体管，化学和生物传感器 ，半导体器件等。