公开(公告)号：US20160181066A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：US14879865

申请日：2013-10-16

Applicant: NITRIDE SOLUTIONS, INC.

Inventor： Daniel Brors ,  Richard Ernest DeMaray ,  David Slutz ,  Richard Clark

IPC: H01J37/317 ,  H01M4/04 ,  H01M4/38 ,  H01M4/66 ,  C23C14/22 ,  H01M4/134

CPC classification number: H01J37/3178 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/0617 ,  C23C14/221 ,  C23C14/32 ,  C23C14/562 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32889 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/3137 ,  H01J2237/3142 ,  H01M4/0404 ,  H01M4/0423 ,  H01M4/1395 ,  H01M4/38 ,  H01M4/387 ,  H01M4/661

Abstract: Systems and methods using PVD for producing materials, for example nitrides, are disclosed. The present application also relates to use of the materials for electrode materials.

Abstract translation: 公开了使用PVD制造材料的系统和方法，例如氮化物。 本申请还涉及用于电极材料的材料的使用。

公开(公告)号：US20140227527A1

公开(公告)日：2014-08-14

申请号：US14348406

申请日：2012-09-27

Applicant: Nitride Solutions Inc.

Inventor： Daniel Brors ,  Richard Ernest De-Maray ,  David Slutz

IPC: H01L21/02 ,  F27B14/10 ,  H01J27/02

CPC classification number: H01L21/0262 ,  C23C14/0617 ,  C23C14/32 ,  C30B23/066 ,  C30B29/403 ,  F27B14/10 ,  F27B2014/104 ,  H01J27/022 ,  H01J27/04 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3178 ,  H01L21/02444 ,  Y10T428/31504

Abstract: PVD and HPHT methods and apparatus for producing materials, for example nitrides, are disclosed.

Abstract translation: 公开了用于生产材料的PVD和HPHT方法和装置，例如氮化物。