公开(公告)号：US08697331B2

公开(公告)日：2014-04-15

申请号：US12949795

申请日：2010-11-19

申请人： Hirokazu Sakakibara ,  Takehiko Naruoka ,  Makoto Shimizu ,  Yukio Nishimura ,  Nobuji Matsumura ,  Yuusuke Asano

发明人： Hirokazu Sakakibara ,  Takehiko Naruoka ,  Makoto Shimizu ,  Yukio Nishimura ,  Nobuji Matsumura ,  Yuusuke Asano

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/039

CPC分类号： C07C69/96 ,  C08F220/18 ,  C08F220/22 ,  C08F220/24 ,  C08F220/26 ,  C09D133/18 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

摘要： A compound is shown by a following formula (1), wherein R1 represents a hydrogen atom, a methyl group, or a trifluoromethyl group, R2 represents a methylene group, an ethylene group, a 1-methylethylene group, a 2-methylethylene group, a divalent alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, or a derivative thereof, each of R3 represents at least one of a monovalent alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, a derivative thereof, and a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, provided that two of R3 may bond to form a divalent alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms or a derivative thereof together with the carbon atom that is bonded thereto, and X represents a linear or branched fluoroalkylene group having 1 to 20 carbon atoms.

摘要翻译： 化合物由下式（1）表示，其中R1表示氢原子，甲基或三氟甲基，R2表示亚甲基，亚乙基，1-甲基亚乙基，2-甲基亚乙基， 碳原子数4〜20的二价脂环式烃基或其衍生物，各R3表示碳原子数为4〜20的一价脂环族烃基，其衍生物和具有1个碳原子的直链或支链烷基中的至少一种 至4个碳原子，条件是R3中的两个可以键合形成具有4至20个碳原子的二价脂环族烃基或其衍生物和与其键合的碳原子，并且X表示具有1个碳原子的直链或支链氟亚烷基 至20个碳原子。

公开(公告)号：US20120100480A1

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：US13216209

申请日：2011-08-23

申请人： Nobuji MATSUMURA ,  Yuusuke Asano ,  Hirokazu Sakakibara ,  Yukio Nishimura ,  Takehiko Naruoka

发明人： Nobuji MATSUMURA ,  Yuusuke Asano ,  Hirokazu Sakakibara ,  Yukio Nishimura ,  Takehiko Naruoka

IPC分类号： G03F7/004 ,  C08F222/20 ,  C07C69/96

CPC分类号： C07C69/96 ,  C07C68/06 ,  C07C2601/14 ,  C08F220/30 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392

摘要： A compound has a following general formula (1). R0 represents an (n+1)-valent linear or branched aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, or the like. R1 represents a hydrogen atom, a methyl group, or a trifluoromethyl group. R2 represents a single bond or the like. R3 represent a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or the like. X represents a linear or branched fluoroalkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and n is an integer from 1 to 5.

摘要翻译： 化合物具有以下通式（1）。 R 0表示具有1〜10个碳原子的（n + 1）价的直链或支链脂肪族烃基等。 R1表示氢原子，甲基或三氟甲基。 R2表示单键等。 R 3表示具有1〜4个碳原子的直链或支链烷基等。 X表示碳原子数1〜10的直链状或支链状的氟代亚烷基，n表示1〜5的整数。

公开(公告)号：US20110151378A1

公开(公告)日：2011-06-23

申请号：US12949790

申请日：2010-11-19

申请人： Nobuji MATSUMURA ,  Akimasa Soyano ,  Yuusuke Asano ,  Takehiko Naruoka ,  Hirokazu Sakakibara ,  Makoto Shimizu ,  Yukio Nishimura

发明人： Nobuji MATSUMURA ,  Akimasa Soyano ,  Yuusuke Asano ,  Takehiko Naruoka ,  Hirokazu Sakakibara ,  Makoto Shimizu ,  Yukio Nishimura

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  C08F220/28 ,  C08F220/22

CPC分类号： C07C69/96 ,  C08F220/18 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041 ,  C08F220/28 ,  C08F220/22

摘要： A radiation-sensitive resin composition for liquid immersion lithography includes a resin component, a photoacid generator and a solvent. The resin component includes an acid-dissociable group-containing resin in an amount of more than 50% by mass. The acid-dissociable group-containing resin includes a repeating unit that includes a fluorine atom and an acid-dissociable group in a side chain of the repeating unit.

摘要翻译： 用于液浸光刻的辐射敏感性树脂组合物包括树脂组分，光致酸发生剂和溶剂。 树脂组分包含大于50质量％的含酸解离基团的树脂。 含酸解离基的树脂包括在重复单元的侧链中包含氟原子和酸解离基团的重复单元。

公开(公告)号：US08530692B2

公开(公告)日：2013-09-10

申请号：US13216209

申请日：2011-08-23

申请人： Nobuji Matsumura ,  Yuusuke Asano ,  Hirokazu Sakakibara ,  Yukio Nishimura ,  Takehiko Naruoka

发明人： Nobuji Matsumura ,  Yuusuke Asano ,  Hirokazu Sakakibara ,  Yukio Nishimura ,  Takehiko Naruoka

IPC分类号： C07C68/00 ,  C07C69/96 ,  C08F20/28 ,  G03F7/039

CPC分类号： C07C69/96 ,  C07C68/06 ,  C07C2601/14 ,  C08F220/30 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392

摘要： A compound has a following general formula (1). R0 represents an (n+1)-valent linear or branched aliphatic hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, or the like. R1 represents a hydrogen atom, a methyl group, or a trifluoromethyl group. R2 represents a single bond or the like. R3 represent a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or the like. X represents a linear or branched fluoroalkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and n is an integer from 1 to 5.

摘要翻译： 化合物具有以下通式（1）。 R 0表示具有1〜10个碳原子的（n + 1）价的直链或支链脂肪族烃基等。 R1表示氢原子，甲基或三氟甲基。 R2表示单键等。 R 3表示具有1〜4个碳原子的直链或支链烷基等。 X表示碳原子数1〜10的直链状或支链状的氟代亚烷基，n表示1〜5的整数。

公开(公告)号：US20110104611A1

公开(公告)日：2011-05-05

申请号：US12949795

申请日：2010-11-19

申请人： Hirokazu Sakakibara ,  Takehiko Naruoka ,  Makoto Shimizu ,  Yukio Nishimura ,  Nobuji Matsumura ,  Yuusuke Asano

发明人： Hirokazu Sakakibara ,  Takehiko Naruoka ,  Makoto Shimizu ,  Yukio Nishimura ,  Nobuji Matsumura ,  Yuusuke Asano

IPC分类号： G03F7/004 ,  C07C69/96 ,  C08F120/22

CPC分类号： C07C69/96 ,  C08F220/18 ,  C08F220/22 ,  C08F220/24 ,  C08F220/26 ,  C09D133/18 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

摘要： A compound is shown by a following formula (1), wherein R1 represents a hydrogen atom, a methyl group, or a trifluoromethyl group, R2 represents a methylene group, an ethylene group, a 1-methylethylene group, a 2-methylethylene group, a divalent alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, or a derivative thereof, each of R3 represents at least one of a monovalent alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, a derivative thereof, and a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, provided that two of R3 may bond to form a divalent alicyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms or a derivative thereof together with the carbon atom that is bonded thereto, and X represents a linear or branched fluoroalkylene group having 1 to 20 carbon atoms.

摘要翻译： 化合物由下式（1）表示，其中R1表示氢原子，甲基或三氟甲基，R2表示亚甲基，亚乙基，1-甲基亚乙基，2-甲基亚乙基， 碳原子数4〜20的二价脂环式烃基或其衍生物，各R3表示碳原子数为4〜20的一价脂环族烃基，其衍生物和具有1个碳原子的直链或支链烷基中的至少一种 至4个碳原子，条件是R3中的两个可以键合形成具有4至20个碳原子的二价脂环族烃基或其衍生物和与其键合的碳原子，并且X表示具有1个碳原子的直链或支链氟亚烷基 至20个碳原子。

公开(公告)号：US08728706B2

公开(公告)日：2014-05-20

申请号：US13420618

申请日：2012-03-15

申请人： Yuusuke Asano ,  Mitsuo Satou ,  Hiromitsu Nakashima ,  Kazuki Kasahara ,  Yoshifumi Oizumi ,  Masafumi Hori ,  Takanori Kawakami ,  Yasuhiko Matsuda ,  Kazuo Nakahara

发明人： Yuusuke Asano ,  Mitsuo Satou ,  Hiromitsu Nakashima ,  Kazuki Kasahara ,  Yoshifumi Oizumi ,  Masafumi Hori ,  Takanori Kawakami ,  Yasuhiko Matsuda ,  Kazuo Nakahara

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30

CPC分类号： G03F7/0392 ,  C08F20/22 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0388 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32

摘要： A radiation-sensitive resin composition includes a first polymer including an acid-labile group, an acid generator to generate an acid upon exposure to radiation, and a second polymer including a fluorine atom and a functional group shown by a general formula (x). The second polymer has a fluorine atom content higher than a fluorine atom content of the first polymer. R1 represents an alkali-labile group. A represents an oxygen atom, —NR′—, —CO—O—# or —SO2—O—##, wherein the oxygen atom represented by A is not an oxygen atom bonded directly to an aromatic ring, a carbonyl group, or a sulfoxyl group, R′ represents a hydrogen atom or an alkali-labile group, and “#” and “##” indicates a bonding hand bonded to R1. -A-R1  (x)

摘要翻译： 辐射敏感性树脂组合物包括包含酸不稳定基团的第一聚合物，暴露于辐射时产生酸的酸产生剂和包含氟原子的第二聚合物和由通式（x）表示的官能团。 第二聚合物的氟原子含量高于第一聚合物的氟原子含量。 R1表示碱不稳定基团。 A表示氧原子，-NR' - ， - CO-O - 或-SO 2 -O - ，其中由A表示的氧原子不是直接与芳环键合的氧原子，羰基或 亚砜基，R'表示氢原子或碱不稳定基团，“＃”和“##”表示与R1键合的键。 -A-R1（x）

公开(公告)号：US08535871B2

公开(公告)日：2013-09-17

申请号：US13325056

申请日：2011-12-14

申请人： Yuusuke Asano ,  Takanori Kawakami

发明人： Yuusuke Asano ,  Takanori Kawakami

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30

CPC分类号： C08F20/22 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

摘要： A radiation-sensitive resin composition includes a first polymer that includes a repeating unit having an acid-labile group and becomes alkali-soluble upon dissociation of the acid-labile group, and a radiation-sensitive acid-generating agent. The acid-labile group has a structure shown by a general formula (1). R1 represents a methyl group or the like, R2 represents a hydrocarbon group that forms a cyclic structure, R3 represents a fluorine atom or the like, R4 represents a carbon atom, and n1 is an integer from 1 to 7.

摘要翻译： 辐射敏感性树脂组合物包括第一聚合物，其包含具有酸不稳定基团的重复单元，并且在酸不稳定基团解离时变得碱溶性，并且具有辐射敏感性的酸产生剂。 酸不稳定基具有通式（1）所示的结构。 R1表示甲基等，R2表示形成环状结构的烃基，R3表示氟原子等，R4表示碳原子，n1表示1〜7的整数。