公开(公告)号：US09297069B2

公开(公告)日：2016-03-29

申请号：US13771582

申请日：2013-02-20

申请人： Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd.

发明人： SeoHyun Kim ,  GunSang Yoon ,  Hyunhee Lee ,  YoungZo Yoo

IPC分类号： C23C16/40 ,  B32B3/26 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18 ,  H01L21/02

CPC分类号： C23C16/407 ,  B32B3/263 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50 ,  Y10T428/24355

摘要： A conductive film substrate, a photovoltaic cell having the same, and a method of manufacturing the same. The conductive film substrate includes a base substrate and a transparent conductive film formed on the base substrate. The transparent conductive film is a zinc oxide thin film which has first texture structures and second texture structures concurrently formed on a surface thereof. The second texture structures are smaller than the first texture structures.

摘要翻译： 导电膜基板，具有该导电膜基板的光伏电池及其制造方法。 导电膜基板包括基底基板和形成在基底基板上的透明导电膜。 透明导电膜是其表面上同时形成第一纹理结构和第二纹理结构的氧化锌薄膜。 第二纹理结构小于第一纹理结构。

公开(公告)号：US20140042476A1

公开(公告)日：2014-02-13

申请号：US13960994

申请日：2013-08-07

申请人： Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd.

发明人： YoungZo Yoo ,  Seo Hyun Kim ,  June Hyoung Park ,  Il Hee Baek ,  Gun Sang Yoon ,  Hyunhee Lee ,  Eun Ho Choi

IPC分类号： H01L21/64 ,  H01L33/42 ,  H01L31/0224 ,  H01L33/40

CPC分类号： H01L21/64 ,  C03C17/245 ,  C03C2217/24 ,  C03C2217/94 ,  C03C2217/944 ,  C03C2218/1525 ,  G02B5/0247 ,  G02B5/0278 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022475 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/022491 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/1884 ,  H01L33/405 ,  H01L33/42 ,  H01L51/442 ,  H01L51/447 ,  H01L51/5209 ,  H01L51/5215 ,  H01L51/5268 ,  H01L2251/305 ,  H01L2251/306 ,  Y02E10/549 ,  Y10T428/24562 ,  Y10T428/24997

摘要： A metal oxide thin film substrate which can increase light trapping efficiency and light extraction efficiency, a method of fabricating the same and a photovoltaic cell and organic light-emitting device (OLED) including the same. The metal oxide thin film substrate includes a base substrate, and a metal oxide thin film formed on the base substrate. The metal oxide thin film has voids which are formed inside the metal oxide thin film to scatter light.

摘要翻译： 能够提高光捕获效率和光提取效率的金属氧化物薄膜基板，其制造方法以及包含该金属氧化物薄膜基板的有机发光元件（OLED）。 金属氧化物薄膜基板包括基底基板和形成在基底基板上的金属氧化物薄膜。 金属氧化物薄膜具有形成在金属氧化物薄膜内部以使光散射的空隙。

公开(公告)号：US20130171341A1

公开(公告)日：2013-07-04

申请号：US13681191

申请日：2012-11-19

申请人： Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd

发明人： Sooho Park ,  Seohyun Kim ,  Jeongwoo Park ,  Taejung Park ,  YoungZo Yoo ,  GunSang Yoon ,  Eun-Ho Choi ,  Myong Woon Kim ,  Bogyeong Kim ,  Hyung Soo Shin ,  Seung Ho Yoo ,  Sang Do Lee ,  Sang Ick Lee ,  Sang Jun Yim

IPC分类号： C07F3/06

CPC分类号： C07F3/06 ,  C07F17/00 ,  C23C16/407

摘要： A zinc oxide precursor for use in deposition of a zinc oxide-based thin film contains a zincocene having the following formula or a derivative thereof: where R1 and R2 are hydrogen or CnH2n+1. The n is a number selected from 1 to 3, and the R1 and R2 is one selected from the group consisting of hydrogen, a methyl group, an ethyl group and an i-propyl group. A method of depositing a zinc oxide-based thin film includes the following steps of: loading a substrate into a deposition chamber; and supplying the above-described zinc oxide precursor and an oxidizer into the deposition chamber and forming a zinc oxide-based thin film on the substrate via chemical vapor deposition. In an exemplary embodiment, the zinc oxide-based thin film may be formed on the substrate via atmospheric pressure chemical vapor deposition.

摘要翻译： 用于沉积氧化锌基薄膜的氧化锌前体含有具有下式的一种或多种其衍生物：其中R 1和R 2是氢或C n H 2n + 1。 n为选自1至3的数，R1和R2为选自氢，甲基，乙基和异丙基的一个。 沉积氧化锌基薄膜的方法包括以下步骤：将基底装载到沉积室中; 并将上述氧化锌前体和氧化剂供给到沉积室中，并通过化学气相沉积在衬底上形成氧化锌基薄膜。 在一个示例性实施例中，氧化锌基薄膜可以通过大气压化学气相沉积在基板上形成。

公开(公告)号：US09257312B2

公开(公告)日：2016-02-09

申请号：US13960994

申请日：2013-08-07

申请人： Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd.

发明人： YoungZo Yoo ,  Seo Hyun Kim ,  June Hyoung Park ,  Il Hee Baek ,  Gun Sang Yoon ,  Hyunhee Lee ,  Eun Ho Choi

IPC分类号： H01L33/42 ,  H01L21/64 ,  H01L33/40 ,  H01L31/0224 ,  H01L51/52 ,  H01L51/44 ,  C03C17/245 ,  G02B5/02 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0236

CPC分类号： H01L21/64 ,  C03C17/245 ,  C03C2217/24 ,  C03C2217/94 ,  C03C2217/944 ,  C03C2218/1525 ,  G02B5/0247 ,  G02B5/0278 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022475 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/022491 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/1884 ,  H01L33/405 ,  H01L33/42 ,  H01L51/442 ,  H01L51/447 ,  H01L51/5209 ,  H01L51/5215 ,  H01L51/5268 ,  H01L2251/305 ,  H01L2251/306 ,  Y02E10/549 ,  Y10T428/24562 ,  Y10T428/24997

摘要： A metal oxide thin film substrate which can increase light trapping efficiency and light extraction efficiency, a method of fabricating the same and a photovoltaic cell and organic light-emitting device (OLED) including the same. The metal oxide thin film substrate includes a base substrate, and a metal oxide thin film formed on the base substrate. The metal oxide thin film has voids which are formed inside the metal oxide thin film to scatter light.

摘要翻译： 能够提高光捕获效率和光提取效率的金属氧化物薄膜基板，其制造方法以及包含该金属氧化物薄膜基板的有机发光元件（OLED）。 金属氧化物薄膜基板包括基底基板和形成在基底基板上的金属氧化物薄膜。 金属氧化物薄膜具有形成在金属氧化物薄膜内部以使光散射的空隙。

公开(公告)号：US20130213465A1

公开(公告)日：2013-08-22

申请号：US13771607

申请日：2013-02-20

申请人： Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd.

发明人： SooHo Park ,  SeoHyun Kim ,  JeongWoo Park ,  Junehyoung Park ,  Taejung Park ,  Ilhee Baek ,  YoungZo Yoo ,  GunSang Yoon ,  Hyunhee Lee ,  Eun-Ho Choi

IPC分类号： H01L31/0236 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224 ,  H01L51/00

CPC分类号： H01L31/02366 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/03925 ,  H01L31/1884 ,  H01L51/0001 ,  H01L51/0096 ,  H01L51/442 ,  H01L51/447 ,  H01L51/5209 ,  H01L51/5268 ,  H01L2251/305 ,  Y02E10/541 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521 ,  Y10T428/24364

摘要： An oxide thin film substrate which has a high haze value, a method of manufacturing the same, and a photovoltaic cell and organic light-emitting device including the same. The oxide thin film substrate includes a base substrate having a first texture on the surface thereof and a transparent oxide thin film formed on the base substrate. The transparent oxide thin film has a second texture on the surface thereof.

摘要翻译： 具有高雾度值的氧化物薄膜基板，其制造方法以及包括该氧化物薄膜基板的光伏电池和有机发光装置。 氧化物薄膜基板包括其表面具有第一纹理的基底基板和形成在基底基板上的透明氧化物薄膜。 透明氧化物薄膜在其表面上具有第二组织。

公开(公告)号：US08932389B2

公开(公告)日：2015-01-13

申请号：US13681191

申请日：2012-11-19

申请人： Samsung Corning Precision Materials Co., Ltd.

发明人： Sooho Park ,  Seohyun Kim ,  Jeongwoo Park ,  Taejung Park ,  YoungZo Yoo ,  GunSang Yoon ,  Eun-Ho Choi ,  Myong Woon Kim ,  Bogyeong Kim ,  Hyung Soo Shin ,  Seung Ho Yoo ,  Sang Do Lee ,  Sang Ick Lee ,  Sang Jun Yim

IPC分类号： C03C17/27 ,  C07F3/06 ,  C23C16/00 ,  C07F17/00 ,  C23C16/40

CPC分类号： C07F3/06 ,  C07F17/00 ,  C23C16/407

摘要： A zinc oxide precursor for use in deposition of a zinc oxide-based thin film contains a zincocene having the following formula or a derivative thereof: where R1 and R2 are hydrogen or CnH2n+1. The n is a number selected from 1 to 3, and the R1 and R2 is one selected from the group consisting of hydrogen, a methyl group, an ethyl group and an i-propyl group. A method of depositing a zinc oxide-based thin film includes the following steps of: loading a substrate into a deposition chamber; and supplying the above-described zinc oxide precursor and an oxidizer into the deposition chamber and forming a zinc oxide-based thin film on the substrate via chemical vapor deposition. In an exemplary embodiment, the zinc oxide-based thin film may be formed on the substrate via atmospheric pressure chemical vapor deposition.

摘要翻译： 用于沉积氧化锌基薄膜的氧化锌前体含有具有下式的一种或多种其衍生物：其中R 1和R 2是氢或C n H 2n + 1。 n为选自1至3的数，R1和R2为选自氢，甲基，乙基和异丙基的一个。 沉积氧化锌基薄膜的方法包括以下步骤：将基底装载到沉积室中; 并将上述氧化锌前体和氧化剂供给到沉积室中，并通过化学气相沉积在衬底上形成氧化锌基薄膜。 在一个示例性实施例中，氧化锌基薄膜可以通过大气压化学气相沉积在基板上形成。