公开(公告)号：US20070059533A1

公开(公告)日：2007-03-15

申请号：US11498866

申请日：2006-08-03

申请人： Steven Burdette ,  Polly Chu ,  James Fagan ,  Thomas Hobbs ,  Sumalee Likitvanichkul ,  Daniel Sempolinski ,  Terry Taft ,  Michael Walters

发明人： Steven Burdette ,  Polly Chu ,  James Fagan ,  Thomas Hobbs ,  Sumalee Likitvanichkul ,  Daniel Sempolinski ,  Terry Taft ,  Michael Walters

IPC分类号： B32B17/06 ,  C03B23/00 ,  C03B33/00 ,  C03B31/00

CPC分类号： C03B23/04 ,  C03B23/0496 ,  C03B23/051

摘要： Disclosed are synthetic silica glass body with a birefringence pattern having low fast axis direction randomness factor and glass reflow process. The glass reflow process comprises steps of: providing a glass tube having a notch; and thermally reflowing the glass tube to form a glass plate. The process can be advantageously used to produce fused silica glass plate without observable striae when viewed in the direction of optical axis. Also disclosed are optical members comprising the fused silica glass body and a process for reflowing glass cylinders.

摘要翻译： 公开了具有低快轴方向随机因子和玻璃回流工艺的双折射图案的合成二氧化硅玻璃体。 玻璃回流工艺包括以下步骤：提供具有凹口的玻璃管; 并且热回流玻璃管以形成玻璃板。 当从光轴方向观察时，该方法可以有利地用于生产熔融石英玻璃板，而没有可观察到的条纹。 还公开了包括熔融石英玻璃体的光学构件和用于回流玻璃圆筒的工艺。

公开(公告)号：US20050229640A1

公开(公告)日：2005-10-20

申请号：US11142591

申请日：2005-06-01

申请人： Hoa Dempsey ,  James Fagan ,  William Miller ,  Stephen Ormbsy ,  Terry Taft

发明人： Hoa Dempsey ,  James Fagan ,  William Miller ,  Stephen Ormbsy ,  Terry Taft

IPC分类号： C03B23/045 ,  C03B23/047 ,  C03B23/07 ,  G02B6/255 ,  C03B37/07 ,  C03B37/15

CPC分类号： G02B6/2551 ,  C03B23/045 ,  C03B23/047 ,  C03B23/07

摘要： A method of making a capillary splice includes applying pressure to a bore in a tube, applying heat to a portion of the tube to soften the portion of the tube, and forming a bubble within the bore in the heated portion under the influence of the pressure and heat. While forming the bubble, a diameter of the bore at the heated portion is measured to determine when the bubble has enlarged to a target size. When the bubble has enlarged to the target size, a force is applied along an axial axis of the tube to shape the bubble to a desired size.

摘要翻译： 制造毛细管接头的方法包括向管中的孔施加压力，向管的一部分施加热量以软化管的该部分，并且在压力的影响下在加热部分的孔内形成气泡 和热量。 在形成气泡的同时，测量加热部分处的孔的直径以确定气泡何时扩大到目标尺寸。 当气泡扩大到目标尺寸时，沿着管的轴向施加力以将气泡成形为期望的尺寸。

公开(公告)号：US20060162382A1

公开(公告)日：2006-07-27

申请号：US11323948

申请日：2005-12-29

申请人： Kenneth Hrdina ,  Terry Taft ,  Michael Wasilewski

发明人： Kenneth Hrdina ,  Terry Taft ,  Michael Wasilewski

IPC分类号： C03B19/10

CPC分类号： C01B33/183 ,  C03B19/06 ,  C03B19/106 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/34

摘要： Disclosed are process and apparatus for making oxide soot particles where an atomizing burner is used as well as process for making densified silica-containing glass bodies by using soot particles having specific surface area of less than about 50 m2/g. Large glass bodies can be produced with less drying time and less binders by using such particles. The invention is particularly advantageous for the production of TiO2-doped silica glass.

摘要翻译： 公开了用于制造使用雾化燃烧器的氧化物烟灰颗粒的方法和装置，以及通过使用比表面积小于约50m 2的烟灰颗粒来制造致密的含二氧化硅的玻璃体的方法。 /G。 通过使用这样的颗粒，可以生产较少的干燥时间和较少粘合剂的大玻璃体。 本发明对于制备二氧化钛二氧化硅玻璃是特别有利的。

公开(公告)号：US20050257568A1

公开(公告)日：2005-11-24

申请号：US10851023

申请日：2004-05-21

申请人： Terry Taft ,  Gary Wise

发明人： Terry Taft ,  Gary Wise

IPC分类号： C03B19/02 ,  C03B23/00 ,  C04B35/14 ,  C04B35/653 ,  C04B41/50 ,  C04B41/87

CPC分类号： C04B35/14 ,  C03B19/02 ,  C04B35/653 ,  C04B41/009 ,  C04B41/5059 ,  C04B41/87 ,  C04B2235/602 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/94 ,  C04B41/4519 ,  C04B41/4539 ,  C04B41/455 ,  C04B41/4531 ,  C04B35/522

摘要： Disclosed are high temperature free-flow mold for the production of near net-shape silica articles and method for the production of near net-shape silica articles. The mold is preferably made of graphite, preferably coated with SiC on the surfaces of the mold cavity. The mold and the process use no or less refractory elastic materials than that disclosed in the prior art, and does not alter or contaminate the glass composition. The mold the process are particularly suitable for the production of high purity silica articles for use in VUV and EUV lithographic devices.

摘要翻译： 公开了用于生产近净状二氧化硅制品的高温自由流动模具和用于生产近净状二氧化硅制品的方法。 模具优选由石墨制成，优选在模腔表面上涂覆有SiC。 该模具和该方法与现有技术中所公开的材料相比，不使用或不存在耐火弹性材料，并且不会改变或污染玻璃组合物。 该方法的模具特别适用于生产用于VUV和EUV光刻设备的高纯度二氧化硅制品。