公开(公告)号：US20160351443A1

公开(公告)日：2016-12-01

申请号：US15168006

申请日：2016-05-28

申请人： Steven M. GEORGE ,  John D. FERGUSON ,  Alan W. WEIMER ,  Christopher A. WILSON

发明人： Steven M. GEORGE ,  John D. FERGUSON ,  Alan W. WEIMER ,  Christopher A. WILSON

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L21/02 ,  C01F7/30 ,  C08F110/02 ,  C08F110/06 ,  C23C16/34 ,  C08F112/08 ,  C08G64/00 ,  C08F130/08 ,  C08G73/10 ,  C23C16/455 ,  C23C16/06 ,  H01L23/532 ,  C08F120/10

CPC分类号： H01L21/76867 ,  B01J21/04 ,  B01J21/063 ,  B01J23/06 ,  B01J23/38 ,  B01J23/70 ,  B01J31/069 ,  B01J35/004 ,  B01J37/086 ,  B01J2231/12 ,  B01J2231/70 ,  B32B9/045 ,  B32B15/08 ,  B32B15/20 ,  B32B27/28 ,  B32B27/281 ,  B32B27/285 ,  B32B27/286 ,  B32B27/288 ,  B32B27/302 ,  B32B27/304 ,  B32B27/308 ,  B32B27/32 ,  B32B27/34 ,  B32B27/36 ,  B32B27/365 ,  B32B27/38 ,  B32B27/42 ,  B32B2255/10 ,  B32B2255/20 ,  B32B2255/205 ,  B32B2264/02 ,  B32B2307/3065 ,  B32B2307/558 ,  B32B2307/71 ,  B32B2307/714 ,  B32B2307/7242 ,  B32B2307/7246 ,  B32B2307/732 ,  B32B2439/00 ,  B82Y30/00 ,  C01F7/304 ,  C08F110/02 ,  C08F110/06 ,  C08F112/08 ,  C08F120/10 ,  C08F130/08 ,  C08G64/00 ,  C08G73/10 ,  C08J7/045 ,  C08J7/06 ,  C08J9/365 ,  C08J2201/038 ,  C09D1/00 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/06 ,  C23C16/14 ,  C23C16/34 ,  C23C16/403 ,  C23C16/4417 ,  C23C16/442 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45555 ,  H01L21/0228 ,  H01L23/5329 ,  H01L51/5253

摘要： The present invention relates to a method and a composition comprising a polymer substrate having free volume and/or a porous surface; and an inorganic film layer comprising a metal oxide or nitride at least partially covering the polymer substrate.

摘要翻译： 本发明涉及包含具有自由体积和/或多孔表面的聚合物基材的方法和组合物; 以及包含至少部分覆盖聚合物基材的金属氧化物或氮化物的无机膜层。