公开(公告)号：US08222066B2

公开(公告)日：2012-07-17

申请号：US12061592

申请日：2008-04-02

申请人： Thanh Nghia Tu ,  Qi Luo ,  Chia Wei Yang ,  David Heald ,  Evgeni Gousev ,  Chih-Wei Chiang

发明人： Thanh Nghia Tu ,  Qi Luo ,  Chia Wei Yang ,  David Heald ,  Evgeni Gousev ,  Chih-Wei Chiang

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： B81C1/00476 ,  B81B2201/047

摘要： Methods of making a microelectromechanical system (MEMS) device are described. In some embodiments, the method includes forming a sacrificial layer over a substrate, treating at least a portion of the sacrificial layer to form a treated sacrificial portion, forming an overlying layer over at least a part of the treated sacrificial portion, and at least partially removing the treated sacrificial portion to form a cavity situated between the substrate and the overlying layer, the overlying layer being exposed to the cavity.

摘要翻译： 描述制造微机电系统（MEMS）装置的方法。 在一些实施例中，该方法包括在衬底上形成牺牲层，处理牺牲层的至少一部分以形成经处理的牺牲部分，在经处理的牺牲部分的至少一部分上形成覆盖层，并且至少部分地 去除经处理的牺牲部分以形成位于衬底和上覆层之间的空腔，上覆层暴露于空腔。

公开(公告)号：US20080311690A1

公开(公告)日：2008-12-18

申请号：US12061592

申请日：2008-04-02

申请人： Thanh Nghia Tu ,  Qi Luo ,  Chia Wei Yang ,  David Heald ,  Evgeni Gousev ,  Chih-Wei Chiang

发明人： Thanh Nghia Tu ,  Qi Luo ,  Chia Wei Yang ,  David Heald ,  Evgeni Gousev ,  Chih-Wei Chiang

IPC分类号： H01L21/52 ,  G02B26/00 ,  C23C16/00

CPC分类号： B81C1/00476 ,  B81B2201/047

摘要： Methods of making a microelectromechanical system (MEMS) device are described. In some embodiments, the method includes forming a sacrificial layer over a substrate, treating at least a portion of the sacrificial layer to form a treated sacrificial portion, forming an overlying layer over at least a part of the treated sacrificial portion, and at least partially removing the treated sacrificial portion to form a cavity situated between the substrate and the overlying layer, the overlying layer being exposed to the cavity.

摘要翻译： 描述制造微机电系统（MEMS）装置的方法。 在一些实施例中，该方法包括在衬底上形成牺牲层，处理牺牲层的至少一部分以形成经处理的牺牲部分，在经处理的牺牲部分的至少一部分上形成覆盖层，并且至少部分地 去除经处理的牺牲部分以形成位于衬底和上覆层之间的空腔，上覆层暴露于空腔。

公开(公告)号：US20120057216A1

公开(公告)日：2012-03-08

申请号：US12680550

申请日：2007-09-28

申请人： Lucio Flores ,  Lior Kogut ,  Xiaoming Yan ,  Thanh Tu ,  Qi Luo ,  Brian J. Gally ,  Dana Chase ,  Gang Xu ,  Sheng-Tzung Huang ,  Chia Wei Yang ,  Yi Fan Su

发明人： Lucio Flores ,  Lior Kogut ,  Xiaoming Yan ,  Thanh Tu ,  Qi Luo ,  Brian J. Gally ,  Dana Chase ,  Gang Xu ,  Sheng-Tzung Huang ,  Chia Wei Yang ,  Yi Fan Su

IPC分类号： G02B26/00 ,  C23F1/02

CPC分类号： B81C1/00476 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0142

摘要： A MEMS comprising a sacrificial structure, which comprises a faster etching portion and a slower etching portion, exhibits reduced damage to structural features when in forming a cavity in the MEMS by etching away the sacrificial structure. The differential etching rates mechanically decouple structural layers, thereby reducing stresses in the device during the etching process. Methods and systems are also provided.

摘要翻译： 包括较快蚀刻部分和较慢蚀刻部分的牺牲结构的MEMS在通过蚀刻掉牺牲结构而在MEMS中形成空腔时表现出对结构特征的减小的损害。 差分蚀刻速率机械地去耦合结构层，从而在蚀刻过程中减少器件中的应力。 还提供了方法和系统。

公开(公告)号：US20090257105A1

公开(公告)日：2009-10-15

申请号：US12101073

申请日：2008-04-10

申请人： Gang Xu ,  Chun-Ming Wang ,  Fan Zhong ,  Qi Luo

发明人： Gang Xu ,  Chun-Ming Wang ,  Fan Zhong ,  Qi Luo

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B5/003 ,  G02B5/201 ,  G02B26/001

摘要： A thin black mask is created using a single mask process. A dielectric layer is deposited over a substrate. An absorber layer is deposited over the dielectric layer and a reflector layer is deposited over the absorber layer. The absorber layer and the reflector layer are patterned using a single mask process.

摘要翻译： 使用单个掩码进程创建一个细黑色掩模。 介电层沉积在衬底上。 在电介质层上沉积吸收层，在吸收层上沉积反射层。 使用单个掩模工艺对吸收层和反射层进行构图。

公开(公告)号：US20070249081A1

公开(公告)日：2007-10-25

申请号：US11406981

申请日：2006-04-19

申请人： Qi Luo ,  Sriram Akella ,  Lior Kogut

发明人： Qi Luo ,  Sriram Akella ,  Lior Kogut

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L29/84

CPC分类号： B81B3/0008 ,  G02B26/001

摘要： Methods of making MEMS devices including interferometric modulators involve depositing various layers, including stationary layers, movable layers and sacrificial layers, on a substrate. Voids are formed in one or more of the various layers so as to form a non-planar surface on the movable and/or the stationary layers. The voids are formed to extend through less than the entire thickness of the layer where they are being formed. Other layers may be formed over the formed voids. Removal of the sacrificial layer from between the resulting non-planar movable and/or stationary layers results in a released MEMS device having reduced contact area between the movable and stationary layers when the MEMS device is actuated. The reduced contact area results in lower adhesion forces and reduced stiction during actuation of the MEMS device. These methods may be used to manufacture released and unreleased interferometric modulators.

摘要翻译： 制造包括干涉式调制器的MEMS器件的方法包括在衬底上沉积包括固定层，可移动层和牺牲层的各种层。 在各层中的一个或多个中形成空隙，以在可移动和/或固定层上形成非平面表面。 空隙形成为延伸穿过小于形成它们的层的整个厚度。 可以在所形成的空隙上形成其它层。 从所得到的非平面可移动和/或固定层之间去除牺牲层导致当MEMS器件致动时，可释放的MEMS器件具有减小的可移动层和固定层之间的接触面积。 减小的接触面积导致MEMS器件的致动期间较低的粘附力和降低的静摩擦力。 这些方法可用于制造释放和未释放的干涉式调制器。

公开(公告)号：US20090323087A1

公开(公告)日：2009-12-31

申请号：US12165442

申请日：2008-06-30

申请人： Qi Luo

发明人： Qi Luo

IPC分类号： G06F15/00

CPC分类号： G06F17/2288 ,  G06F17/248 ,  G06F21/608 ,  G06F2221/2117 ,  G06F2221/2141 ,  H04L63/105 ,  H04L63/20

摘要： Systems and methods consistent with disclosed embodiments provide for a method for redacting documents comprising associating at least one redaction template with a document, wherein the redaction template includes information identifying at least one section of a document to be redacted. The document can be printed using the redaction template, wherein information in the redaction template is used to redact sections of the document prior to printing the document on a print medium. In some embodiments, the redaction template, and the document associated with the redaction template may be separate files. The method can be invoked using document processing software, and/or a printer driver, and user interfaces associated with document processing software may be used to create the redaction template, which can be stored as a document layer. Redactions stored in the template may also be associated with a security level.

摘要翻译： 与所公开的实施例一致的系统和方法提供了一种用于修改文档的方法，包括将至少一个编辑模板与文档相关联，其中所述编辑模板包括标识要编辑的文档的至少一个部分的信息。 可以使用编辑模板来打印文档，其中在打印介质上打印文档之前，使用编辑模板中的信息来修正文档的部分。 在一些实施例中，编辑模板和与编辑模板相关联的文档可以是单独的文件。 可以使用文档处理软件来调用该方法，和/或打印机驱动程序，以及与文档处理软件相关联的用户界面可以用于创建可作为文档层存储的编辑模板。 存储在模板中的反馈也可以与安全级别相关联。

公开(公告)号：US20090212935A1

公开(公告)日：2009-08-27

申请号：US12036260

申请日：2008-02-24

申请人： Qi Luo

发明人： Qi Luo

IPC分类号： B60Q1/44

CPC分类号： B60Q1/525 ,  B60Q1/444 ,  B60Q9/008 ,  B60Q2900/30 ,  B60T7/22 ,  G08G1/162

摘要： An anti-collision emergency braking system enables emergency information transferring from leading vehicle to trailing vehicle and enables emergency automatic braking. It comprises a central commanding element which takes input from a number of sensing elements and gives commands to other acting elements: a receiver which receives emergency signals from the leading vehicle, a transmitter which sends out emergency signals toward the trailing vehicle, an accelerometer which senses the acceleration extents of the present vehicle, an automatic braking element which applies certain amount of braking power after receiving the commands from the central commanding element, and one or more warning elements.

摘要翻译： 防碰撞紧急制动系统使紧急信息从前方车辆传递到后方车辆，并实现紧急自动制动。 它包括一个中央指令元件，它从多个传感元件接收输入，并向其他作用元件发出命令：从前方车辆接收紧急信号的接收器，向尾部车辆发出紧急信号的发射器，感测到 本车辆的加速范围，在从中央指挥元件接收到命令之后施加一定量的制动力的自动制动元件以及一个或多个警告元件。

公开(公告)号：US20090015847A1

公开(公告)日：2009-01-15

申请号：US11776541

申请日：2007-07-11

申请人： Qi Luo

发明人： Qi Luo

IPC分类号： G06F3/12

CPC分类号： G06F3/1204 ,  G06F3/121 ,  G06F3/1212 ,  G06F3/1271 ,  G06F3/1285

摘要： A printing method that allows a user to initiate printing of files on a host computer from the printer side with one or more button touches. The user initiates printing from the printer using one or more buttons, such as a dedicated easy print button. The printer sends a data request to the host computer. A printer monitoring program on the host computer receives and responds to printer requests. Upon receiving the data request from the printer, the host computer finds the most active application window (the window on top of all other windows), calls the application's default printing setting, generates a printing task for the most active opened file, and sends it to the printer. The printer prints the file received from the host computer. Other printing modes are also possible, such as printing all opened files in the most active application, etc.

摘要翻译： 一种允许用户通过一个或多个按钮触摸从打印机侧开始在主计算机上打印文件的打印方法。 用户使用一个或多个按钮（例如专用的简单打印按钮）从打印机发起打印。 打印机向主机发送数据请求。 主机上的打印机监视程序接收并响应打印机请求。 主机从接收到打印机的数据请求后，找到最活跃的应用程序窗口（窗口位于所有其他窗口顶部），调用应用程序的默认打印设置，为最活跃的打开文件生成打印任务，然后发送 到打印机。 打印机打印从主机接收的文件。 其他打印模式也是可能的，例如在最活跃的应用程序中打印所有打开的文件等。

公开(公告)号：US20080094690A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：US11539630

申请日：2006-10-18

申请人： Qi Luo ,  Qiuxian Tai

发明人： Qi Luo ,  Qiuxian Tai

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/001 ,  G02F1/136277 ,  G02F1/19 ,  G02F2203/12

摘要： An interferometric spatial light modulator comprises of two cavities. One is the optical resonant cavity having a partially reflective film and a movable reflective membrane as two walls, and the other is the electromechanical actuation cavity having the movable reflective membrane and a bottom metal layer as electrodes. The spatial light modulator is built on silicon substrate and is actively addressed. A microdisplay apparatus of such spatial light modulators and a projection display system using such microdisplay are also disclosed.

摘要翻译： 干涉式空间光调制器包括两个空腔。 一个是具有部分反射膜和可移动反射膜作为两个壁的光学谐振腔，另一个是具有可移动反射膜和底部金属层作为电极的机电致动腔。 空间光调制器构建在硅衬底上，并被积极寻址。 还公开了这种空间光调制器的微型显示装置和使用这种微显示器的投影显示系统。

公开(公告)号：US08191246B1

公开(公告)日：2012-06-05

申请号：US12943997

申请日：2010-11-11

申请人： Qi Luo

发明人： Qi Luo

IPC分类号： H01R9/00

CPC分类号： H01L21/4853 ,  G01R1/06716 ,  G01R3/00 ,  H01L23/49811 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T29/49147 ,  Y10T29/49149 ,  Y10T29/49204 ,  H01L2924/00

摘要： A method of manufacturing an array of miniaturized spring contacts is disclosed. The invention teaches a symmetric design of the spring contact with two anchoring traces at each side of the spring contact, and teaches a method of forming the spring contact with a continuous, zero-stress core member throughout the entire body of the spring contact; besides these, the invention enables easy manufacturing of integrated fine pitch spring contact arrays, allows fabrication of such spring contact arrays with extremely uniform spring height and good electrical and mechanical properties.

摘要翻译： 公开了一种制造小型化弹簧触点阵列的方法。 本发明教导了在弹簧触点的每一侧具有两个锚定迹线的弹簧触点的对称设计，并且教导了一种在弹簧触头的整个本体上与连续的零应力芯构件形成弹簧触点的方法; 除此之外，本发明能够容易地制造集成的细间距弹簧接触阵列，允许制造具有非常均匀的弹簧高度和良好的电气和机械性能的这种弹簧接触阵列。