公开(公告)号：US07350404B2

公开(公告)日：2008-04-01

申请号：US10569373

申请日：2004-08-27

申请人： Tooru Kurenuma ,  Hiroaki Yanagimoto ,  Hiroshi Kuroda ,  Yasushi Minomoto ,  Shigeru Miwa ,  Ken Murayama ,  Yukio Kenbou ,  Yuuichi Kunitomo ,  Takenori Hiroki ,  Yoshiyuki Nagano ,  Takafumi Morimoto

发明人： Tooru Kurenuma ,  Hiroaki Yanagimoto ,  Hiroshi Kuroda ,  Yasushi Minomoto ,  Shigeru Miwa ,  Ken Murayama ,  Yukio Kenbou ,  Yuuichi Kunitomo ,  Takenori Hiroki ,  Yoshiyuki Nagano ,  Takafumi Morimoto

IPC分类号： G21K7/00 ,  G01B5/18

CPC分类号： G01Q10/06 ,  G01Q30/06 ,  Y10T29/49828

摘要： The probe tip movement control method of the scanning probe microscope is used for a scanning probe microscope provided with a cantilever 21 having a probe tip 20 facing a sample 12. The atomic force occurring between the probe tip and sample is measured when the probe tip scans the surface of the sample. X-, Y-, and Z-fine movement mechanisms 23, 29, and 30 are used to relatively change the positions of the probe tip and sample. It is possible to maintain a high measurement accuracy and enable scan movement of a probe tip on a sample surface by simple control when measuring a part having a gradient in measurement of an uneven shape on a sample surface.

摘要翻译： 扫描探针显微镜的探针头移动控制方法用于具有面向样品12的探针尖端20的悬臂21的扫描探针显微镜。 当探针尖端扫描样品的表面时，测量探针尖端和样品之间发生的原子力。 X，Y和Z精细运动机构23,29和30用于相对改变探针尖端和样品的位置。 通过简单的控制，可以在测量样品表面上具有不均匀形状的测量梯度的部分时，保持高测量精度并且能够使探针尖端在样品表面上进行扫描运动。

公开(公告)号：US20060284083A1

公开(公告)日：2006-12-21

申请号：US10569373

申请日：2004-08-27

申请人： Tooru Kurenuma ,  Hiroaki Yanagimoto ,  Hiroshi Kuroda ,  Yasushi Minomoto ,  Shigeru Miwa ,  Ken Murayama ,  Yukio Kenbou ,  Yuuichi Yuuichi ,  Takenori Hiroki ,  Yoshiyuki Nagano ,  Takafumi Morimoto

发明人： Tooru Kurenuma ,  Hiroaki Yanagimoto ,  Hiroshi Kuroda ,  Yasushi Minomoto ,  Shigeru Miwa ,  Ken Murayama ,  Yukio Kenbou ,  Yuuichi Yuuichi ,  Takenori Hiroki ,  Yoshiyuki Nagano ,  Takafumi Morimoto

IPC分类号： G21K7/00

CPC分类号： G01Q10/06 ,  G01Q30/06 ,  Y10T29/49828

摘要： The probe tip movement control method of the scanning probe microscope is used for a scanning probe microscope provided with a cantilever 21 having a probe tip 20 facing a sample 12. The atomic force occurring between the probe tip and sample is measured when the probe tip scans the surface of the sample. X-, Y-, and Z-fine movement mechanisms 23, 29, and 30 are used to relatively change the positions of the probe tip and sample. It is possible to maintain a high measurement accuracy and enable scan movement of a probe tip on a sample surface by simple control when measuring a part having a gradient in measurement of an uneven shape on a sample surface.

摘要翻译： 扫描探针显微镜的探针头移动控制方法用于具有面向样品12的探针尖端20的悬臂21的扫描探针显微镜。 当探针尖端扫描样品的表面时，测量探针尖端和样品之间发生的原子力。 X，Y和Z精细运动机构23,29和30用于相对改变探针尖端和样品的位置。 通过简单的控制，可以在测量样品表面上具有不均匀形状的测量梯度的部分时，保持高测量精度并且能够使探针尖端在样品表面上进行扫描运动。

公开(公告)号：US5662822A

公开(公告)日：1997-09-02

申请号：US648026

申请日：1996-05-14

申请人： Nobuhiko Tada ,  Kojiro Ogata ,  Naoki Miyanagi ,  Yoshiaki Shimomura ,  Shigeyuki Sakurai ,  Yoshinari Nagano ,  Shinya Okumura ,  Yasushi Minomoto

发明人： Nobuhiko Tada ,  Kojiro Ogata ,  Naoki Miyanagi ,  Yoshiaki Shimomura ,  Shigeyuki Sakurai ,  Yoshinari Nagano ,  Shinya Okumura ,  Yasushi Minomoto

IPC分类号： B23K26/073 ,  B23K26/08 ,  B23K26/38 ,  H01L21/48 ,  H05K13/00 ,  B23K26/04 ,  B23K26/06

CPC分类号： B23K26/0736 ,  B23K26/083 ,  B23K26/38 ,  H01L21/4842 ,  H05K13/0092 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091

摘要： The array condition of leads (3) is detected by a photoelectric detector (41), the detection signal is subjected to signal processing to determine the timing to oscillate a pulsed laser beam, and a laser beam axis (13C) is relatively moved at a speed (v.sub.0) with a work table (21) while oscillating a pulsed laser beam (13A), thereby cutting a dam bar (5). At this time, the longitudinal size of a spot (13B) of the pulsed laser beam (13A) is adjusted to be twice or more the width of the dam bar (5) by a longitudinal beam transformer (11a), the transverse size of the spot 13B is adjusted to be not less than 1/2 but not more than 4/5 of the length of the dam bar (5) by a transverse beam transformer (11b), and a beam rotator (11c) is appropriately operated to make the longitudinal direction of the spot (13B) substantially aligned with the longitudinal direction of the lead (3) so that the spot (13B) lies across the width (W.sub.1) of the dam bar (5). As a result, the configuration after cutting the dam bar (5) becomes highly accurate and satisfactory.

摘要翻译： PCT No.PCT / JP95 / 02064 Sec。 371日期：1996年5月14日 102（e）日期1996年5月14日PCT提交1995年10月9日PCT公布。 公开号WO96 / 12300 PCT 日期：1996年04月25日光电检测器（41）检测引线（3）的阵列条件，检测信号进行信号处理，确定振荡脉冲激光束的时序，激光束轴（13C） 在振荡脉冲激光束（13A）的同时用工作台（21）以速度（v0）相对移动，从而切割堤坝（5）。 此时，通过纵向光束变换器（11a）将脉冲激光束（13A）的光点（13B）的纵向尺寸调整为阻挡条（5）的宽度的两倍或更多，横向尺寸 通过横梁变压器（11b）将点13B调节为不小于+ E，fra 1/2 + EE但不大于+ E，挡块（5）的长度的4/5 + EE。 ，并且适当地操作光束旋转器（11c），使得光斑（13B）的纵向方向基本上与引线（3）的纵向方向对齐，使得光斑（13B）横跨宽度（W1） 坝坝（5）。 结果，切断坝条（5）后的结构变得高精度和令人满意。