公开(公告)号：US20060231029A1

公开(公告)日：2006-10-19

申请号：US11425679

申请日：2006-06-21

申请人： Wendell Blonigan ,  Ernst Keller ,  Carl Sorensen

发明人： Wendell Blonigan ,  Ernst Keller ,  Carl Sorensen

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： H01J37/32082 ,  H01J37/32577

摘要： An apparatus for providing a return current path for RF current between a chamber wall and a substrate support is provided comprising a low impedance flexible curtain having a first end and a second end, the first end adapted to be electrically connected to the chamber wall and the second end adapted to be connected to the substrate support, wherein the curtain further comprises at least one fold in the curtain material, located an axial distance between the first end and the second end, and at least one perforation cut into the curtain proximate the second end.

摘要翻译： 提供一种用于在室壁和衬底支撑件之间提供用于RF电流的返回电流路径的装置，其包括具有第一端和第二端的低阻抗柔性帘幕，所述第一端适于电连接到室壁和 第二端适于连接到基板支撑件，其中帘幕还包括帘幕材料中的至少一个折叠部，位于第一端部和第二端部之间的轴向距离处，并且至少一个穿孔切入靠近第二端部的帘幕 结束。

公开(公告)号：US07083702B2

公开(公告)日：2006-08-01

申请号：US10460916

申请日：2003-06-12

申请人： Wendell Blonigan ,  Ernst Keller ,  Carl Sorensen

发明人： Wendell Blonigan ,  Ernst Keller ,  Carl Sorensen

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01J37/32082 ,  H01J37/32577

摘要： An apparatus for providing a return current path for RF current between a chamber wall and a substrate support is provided comprising a low impedance flexible curtain having a first end and a second end, the first end adapted to be electrically connected to the chamber wall and the second end adapted to be connected to the substrate support, wherein the curtain further comprises at least one fold in the curtain material, located an axial distance between the first end and the second end, and at least one perforation cut into the curtain proximate the second end.

摘要翻译： 提供一种用于在室壁和衬底支撑件之间提供用于RF电流的返回电流路径的装置，其包括具有第一端和第二端的低阻抗柔性帘幕，所述第一端适于电连接到室壁和 第二端适于连接到基板支撑件，其中帘幕还包括帘幕材料中的至少一个折叠部，位于第一端部和第二端部之间的轴向距离处，并且至少一个穿孔切入靠近第二端部的帘幕 结束。

公开(公告)号：US08062717B2

公开(公告)日：2011-11-22

申请号：US11425679

申请日：2006-06-21

申请人： Wendell Blonigan ,  Ernst Keller ,  Carl Sorensen

发明人： Wendell Blonigan ,  Ernst Keller ,  Carl Sorensen

IPC分类号： H05H1/24

CPC分类号： H01J37/32082 ,  H01J37/32577

摘要： An apparatus for providing a return current path for RF current between a chamber wall and a substrate support is provided comprising a low impedance flexible curtain having a first end and a second end, the first end adapted to be electrically connected to the chamber wall and the second end adapted to be connected to the substrate support, wherein the curtain further comprises at least one fold in the curtain material, located an axial distance between the first end and the second end, and at least one perforation cut into the curtain proximate the second end.

摘要翻译： 提供一种用于在室壁和衬底支撑件之间提供用于RF电流的返回电流路径的装置，其包括具有第一端和第二端的低阻抗柔性帘幕，所述第一端适于电连接到室壁和 第二端适于连接到基板支撑件，其中帘幕还包括帘幕材料中的至少一个折叠部，位于第一端部和第二端部之间的轴向距离处，并且至少一个穿孔切入靠近第二端部的帘幕 结束。

公开(公告)号：US07776178B2

公开(公告)日：2010-08-17

申请号：US11552648

申请日：2006-10-25

申请人： Ernst Keller

发明人： Ernst Keller

IPC分类号： H01L21/306 ,  C23F1/00 ,  C23C16/00

CPC分类号： C23C16/45565 ,  H01J37/3244

摘要： Stress within a suspension wall for suspending a showerhead in a process chamber is ameliorated by one or more of: (1) Openings in the suspension wall that reduce exposure of the suspension wall to process gas or ambient atmosphere when the chamber lid is opened. (2) A substantially vertical arrangement of one or more rifts in the suspension wall which facilitate horizontal buckling or flexing of the suspension wall. (3) A plurality of suspension walls whose respective central portions are coplanar. (4) A gas sealing skirt that helps protect the suspension wall from direct contact with process gas. The gas sealing skirt is connected to either the chamber wall or the showerhead but is not connected to both.

摘要翻译： 用于将喷淋头悬挂在处理室中的悬浮壁内的应力通过以下中的一个或多个来改善：（1）当室盖打开时，悬挂壁中的开口减少悬浮壁的暴露以处理气体或环境大气。 （2）在悬挂壁中的一​​个或多个裂缝的基本竖直布置，其有利于悬挂壁的水平屈曲或弯曲。 （3）多个悬挂壁，其各自的中心部分是共面的。 （4）气体密封裙，有助于保护悬浮壁与工艺气体直接接触。 气体密封裙连接到室壁或喷头，但不连接到两个。

公开(公告)号：US07591160B2

公开(公告)日：2009-09-22

申请号：US10592227

申请日：2005-03-08

申请人： Ernst Keller

发明人： Ernst Keller

IPC分类号： E05B47/06

CPC分类号： E05B47/0642 ,  E05B9/045 ,  E05B47/0012 ,  E05B47/0615 ,  Y10T70/7062 ,  Y10T70/7079 ,  Y10T70/7102 ,  Y10T70/7107 ,  Y10T70/7678

摘要： The invention relates to an electromechanical lock cylinder, comprising a first cylinder half (2), arranged on the outside of the door, with a key passage (8) for a security key (44) and a second cylinder half (3), arranged on the inside of the door, with a rotating knob rotor (4). Tumblers in the first cylinder half (2) are arranged for rotational release by a security key (44). An electronic device (17) is arranged in the rotating knob (24) for control of a locking device (43). The rotating knob (24) forms a unit with the electronic device (17) arranged therein, detachably mounted on an extension (4a) of the rotating knob rotor (4), projecting past the housing (6). The rotating knob rotor (24) may be adjusted for length by means of an exchangeable adapter (18a to 18c).

摘要翻译： 本发明涉及一种机电锁缸，包括设置在门外侧的第一气缸半部（2），具有用于安全钥匙（44）的钥匙通道（8）和第二气缸半体（3） 在门的内部，具有旋转旋钮（4）。 第一气缸半部（2）中的滚筒布置成通过安全键（44）旋转释放。 一个电子设备（17）设置在旋转旋钮（24）中，用于控制锁定装置（43）。 旋转旋钮（24）与设置在其中的电子设备（17）形成一个单元，可拆卸地安装在旋转旋钮转子（4）的延伸部（4a）上，突出穿过壳体（6）。 旋转旋钮转子（24）可以通过可更换的适配器（18a至18c）来调节长度。

公开(公告)号：US06823589B2

公开(公告)日：2004-11-30

申请号：US10293544

申请日：2002-11-12

申请人： John M. White ,  Ernst Keller ,  Wendell T. Blonigan

发明人： John M. White ,  Ernst Keller ,  Wendell T. Blonigan

IPC分类号： B23P1500

CPC分类号： C23C16/45565 ,  C23C16/455 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/3244 ,  Y10T29/49428 ,  Y10T29/49826

摘要： A method of flexibly mounting a gas distribution plate to the back wall of a gas inlet manifold for a plasma chamber. A perforated gas distribution plate is suspended from the back wall by flexible side walls. The flexible suspension minimizes mechanical stress due to thermal expansion of the gas distribution plate.

摘要翻译： 一种将气体分配板柔性地安装到用于等离子体室的气体入口歧管的后壁的方法。 穿孔式气体分配板通过柔性侧壁从后壁悬挂。 柔性悬架使气体分配板的热膨胀的机械应力最小化。

公开(公告)号：US06477980B1

公开(公告)日：2002-11-12

申请号：US09488612

申请日：2000-01-20

申请人： John M. White ,  Ernst Keller ,  Wendell T. Blonigan

发明人： John M. White ,  Ernst Keller ,  Wendell T. Blonigan

IPC分类号： C23C1600

CPC分类号： C23C16/45565 ,  C23C16/455 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/3244 ,  Y10T29/49428 ,  Y10T29/49826

摘要： A gas inlet manifold for a plasma chamber having a perforated gas distribution plate suspended by flexible side walls. The flexible suspension minimizes mechanical stress due to thermal expansion of the gas distribution plate. In another aspect, the suspension provides thermal isolation between the gas distribution plate and other components of the chamber.

摘要翻译： 一种用于等离子体室的气体入口歧管，其具有由柔性侧壁悬挂的穿孔气体分配板。 柔性悬架使气体分配板的热膨胀的机械应力最小化。 在另一方面，悬架提供气体分配板和腔室的其它部件之间的热隔离。

公开(公告)号：US5966971A

公开(公告)日：1999-10-19

申请号：US95140

申请日：1998-06-10

申请人： Ernst Keller

发明人： Ernst Keller

IPC分类号： E05B27/00 ,  E05B27/04

CPC分类号： E05B27/0021 ,  Y10T70/7571 ,  Y10T70/7605 ,  Y10T70/7701 ,  Y10T70/7932

摘要： The lock bolt has a bolt tip (2) a bolt head (3) whose back wall (4) is intended to rest against a housing pin for sliding this pin into the rotary closure cylinder (24). The bolt tip (2) is supported on the bolt head (3) with a spring engaged between the bolt tip (2) and the bolt head (3) so that it can slide in a limited fashion between an inner and an outer position. The bolt head (3) has a longitudinal bore (5) in which the bolt tip (2) is supported so that it can slide. The lock bolt to a large extent prevents unlocking attempts in which vibrational movements are exerted on the tumblers.

摘要翻译： 锁定螺栓具有螺栓头部（2），螺栓头部（3），其后壁（4）旨在抵靠壳体销，以将该销滑入旋转闭合缸（24）。 螺栓头部（2）由螺栓头（2）和螺栓头（3）之间接合的弹簧支撑在螺栓头部（3）上，使得其能够以有限的方式在内部和外部位置之间滑动。 螺栓头（3）具有纵向孔（5），螺栓头（2）支撑在该孔中以使其能够滑动。 锁定螺栓在很大程度上防止了在滚筒上施加振动的解锁尝试。

公开(公告)号：US5931036A

公开(公告)日：1999-08-03

申请号：US913464

申请日：1997-09-18

申请人： Ernst Keller

发明人： Ernst Keller

IPC分类号： E05B27/00

CPC分类号： E05B27/00 ,  E05B27/0021 ,  Y10T70/7605 ,  Y10T70/7616

摘要： The rotary locking cylinder described has a stationary part (2) and a rotating part (3) plus several tumblers (8) each with a core pin (10) and a housing pin (9). Mounted in the rotating part (3) is at least one locking element (22) which can be displaced approximately at right angles to the core pin (10) of a tumbler (8) and in its position of rest engages in a recess (20) in the stationary part (2). The recess (20) in the stationary part (2) has a control surface (19) designed so that, when the unlocked stationary part (2) is rotated, the locking element (22) is moved towards the core pin (10). Machined in the surface (10b) of the core pin (10) is a groove (12) such that, with the core pin (10) inserted, after the rotating part (3) has rotated through a relatively small angle, the locking element (22) can be pushed far enough into the groove (12) for it to be lifted out of the recess (20) in the stationary part (2) and, with the core pin (10) not inserted, the locking element (22) essentially cannot be pushed out of its position of rest and rests against the surface (10b) of the core pin (10).

摘要翻译： PCT No.PCT / CH96 / 00089 Sec。 371日期：1997年9月18日 102（e）1997年9月18日PCT PCT 1996年3月8日PCT公布。 公开号WO96 / 29492 日期1996年9月26日描述的旋转锁定圆筒具有固定部分（2）和旋转部分（3）加上几个具有芯销（10）和壳体销（9）的翻转开关（8）。 安装在旋转部分（3）中的是至少一个锁定元件（22），其可以与制动栓（8）的芯销（10）大致垂直地移动，并且其止动位置接合在凹部（20）中 ）在固定部分（2）中。 固定部分（2）中的凹槽（20）具有控制表面（19），该控制表面设计成使得当解锁的静止部分（2）旋转时，锁定元件（22）朝向芯销（10）移动。 在芯销（10）的表面（10b）中加工的是凹槽（12），使得在芯销（10）插入之后，在旋转部件（3）旋转相对较小的角度后，锁定元件 （22）可以被推入足够大的凹槽（12）中，以便将其从固定部分（2）中的凹部（20）中提出，并且在芯销（10）未插入的情况下，锁定元件（22） ）基本上不能被推出其休止位置并且靠在芯销（10）的表面（10b）上。

公开(公告)号：US5437176A

公开(公告)日：1995-08-01

申请号：US955244

申请日：1992-10-01

申请人： Ernst Keller

发明人： Ernst Keller

IPC分类号： E05B27/00 ,  E05B27/10 ,  E05B35/00 ,  E05B27/06

CPC分类号： E05B35/003 ,  E05B27/00 ,  Y10T70/7565 ,  Y10T70/7605 ,  Y10T70/7701 ,  Y10T70/7819 ,  Y10T70/7881

摘要： An additional tumbler (10) is disposed in the rotary lock cylinder, which is aligned by means of a control element (19) disposed in the key (16). A blocking element (6) is provided in the stator (2) at a distance from this tumbler (10) which, in a set rotational position of the rotor (3), radially displaces the control element (19) with the core pin (13) of the additional tumbler (10) against a restoring force.

摘要翻译： 在旋转锁芯中布置另外的制动栓（10），其通过设置在钥匙（16）中的控制元件（19）对齐。 在所述定子（2）中与所述转子（10）相距一定距离处设置有阻挡元件（6），所述阻挡元件（6）在所述转子（3）的设定旋转位置中使所述控制元件（19）与所述芯销（ 附加的翻转开关（10）的反作用力（13）。