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    Free-radical polymerization process producing aqueous polymer dispersion with low residual monomer content utilizing oil and water soluble initiators
    3.
    发明授权
    Free-radical polymerization process producing aqueous polymer dispersion with low residual monomer content utilizing oil and water soluble initiators 有权
    使用油和水溶性引发剂制备具有低残留单体含量的聚合物水分散体的自由基聚合方法

    公开(公告)号：US08034885B2

    公开(公告)日：2011-10-11

    申请号：US10566248

    申请日：2004-07-08

    申请人： Jun Gao ,  Xiang-Ming Kong ,  Klaus-Dieter Hungenberg ,  Juergen Schmidt-Thuemmes

    发明人： Jun Gao ,  Xiang-Ming Kong ,  Klaus-Dieter Hungenberg ,  Juergen Schmidt-Thuemmes

    IPC分类号： C08F2/00 ,  C08F2/16 ,  C08G85/00

    CPC分类号： C08F2/22

    摘要： The present invention provides a novel one-step process for preparing an aqueous polymer dispersion by the free radical aqueous emulsion polymerization comprising mixing at least water, a dispersant, and an oil-soluble initiator; raising a temperature from the starting to the end reaction temperature while metering at least ethylenically unsaturated monomers and a water-soluble initiator into a reaction vessel, conducting polymerization of the monomers in the presence of the water-soluble initiator at a temperature up to the end reaction temperature, and when the temperature has reached the end reaction temperature, conducting polymerization by the oil-soluble initiator. The oil-soluble initiator is inactive at the starting reaction temperature and becomes more active as a temperature approaches the end reaction temperature at which the oil-soluble initiator is fully active.

    摘要翻译： 本发明提供一种通过自由基水乳液聚合制备含水聚合物分散体的新型一步法，包括至少混合水，分散剂和油溶性引发剂; 从开始到结束的反应温度升高温度，同时至少将烯属不饱和单体和水溶性引发剂计量到反应容器中，在水溶性引发剂的存在下在最终达到最终温度下进行单体聚合 反应温度，当温度达到最终反应温度时，通过油溶性引发剂进行聚合。 油溶性引发剂在起始反应温度下无活性，随着温度接近油溶性引发剂完全活化的最终反应温度，其变得更有活性。

    Method for producing aqueous polymer dispersions
    4.
    发明申请
    Method for producing aqueous polymer dispersions 有权
    生产聚合物水分散体的方法

    公开(公告)号：US20070060702A1

    公开(公告)日：2007-03-15

    申请号：US10566248

    申请日：2004-07-08

    申请人： Jun Gao ,  Xiang-Ming Kong ,  Klaus-Dieter Hungenberg ,  Jurgen Schmidt-Thummes

    发明人： Jun Gao ,  Xiang-Ming Kong ,  Klaus-Dieter Hungenberg ,  Jurgen Schmidt-Thummes

    IPC分类号： C08G18/63

    CPC分类号： C08F2/22

    摘要： An aqueous polymer dispersion is prepared by free radical aqueous emulsion polymerization of at least one ethylenically unsaturated compound (monomer) in the presence of at least one dispersant and at least one water-soluble and one oil-soluble free radical initiator by a process in which the polymerization temperature increases from the starting reaction temperature TS to the end reaction temperature TE in the course of the polymerization reaction.

    摘要翻译： 在至少一种分散剂和至少一种水溶性和一种油溶性自由基引发剂的存在下，通过至少一种烯键式不饱和化合物（单体）的自由基水性乳液聚合制备聚合物水分散体，其中 在聚合反应过程中，聚合温度从起始反应温度T S S增加到最终反应温度T E E。

    Displacement measurements using phase changes
    6.
    发明授权
    Displacement measurements using phase changes 失效
    使用相位变化进行位移测量

    公开(公告)号：US07609858B2

    公开(公告)日：2009-10-27

    申请号：US10931414

    申请日：2004-08-31

    申请人： Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    发明人： Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    IPC分类号： G06K9/00

    CPC分类号： G01B11/002 ,  G06T7/262 ,  G06T7/37

    摘要： A measurement process or system transforms image data corresponding to images of an object to the frequency domain and analyzes the frequency domain data to determine a displacement of the object occurring between first and second images. Analysis in the frequency domain simplifies identification and handling of data expected to be noisy. In particular, frequencies corresponding to modes of vibration, lighting variation, or sensor error characteristic of a measurement system or frequencies corresponding to small magnitude frequency-domain data can be given little or no weighting in analysis that provides the displacement measurement. In one embodiment, Fourier transforms of shifted and unshifted images differ by a phase delay. A least square fit slope of the phase values associated with the phase delay can indicate displacements to accuracies less than 1% of a pixel width, thereby providing nanometer scale precision using imaging systems having a pixel width of about 1 μm.

    摘要翻译： 测量过程或系统将对应于对象的图像的图像数据变换到频域，并分析频域数据以确定在第一和第二图像之间发生的对象的位移。 频域分析简化了预计嘈杂的数据的识别和处理。 特别地，对应于测量系统的振动模式，照明变化或传感器误差特性的频率或与小幅度频域数据相对应的频率的频率，在提供位移测量的分析中可以很少或没有加权。 在一个实施例中，移位和未移位图像的傅里叶变换相位延迟。 与相位延迟相关的相位值的最小平方拟合斜率可以指示小于像素宽度的1％的精度位移，从而使用具有约1um的像素宽度的成像系统提供纳米级精度。

    Measuring sub-wavelength displacements
    7.
    发明授权
    Measuring sub-wavelength displacements 失效
    测量亚波长位移

    公开(公告)号：US07283677B2

    公开(公告)日：2007-10-16

    申请号：US10931647

    申请日：2004-08-31

    申请人： Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    发明人： Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    IPC分类号： G06K9/46

    CPC分类号： G01B11/002 ,  G01D5/26 ,  G01D5/34776 ,  G06T7/32 ,  Y10T428/256

    摘要： Measurement systems and methods extend the use of optical navigation to measure displacements smaller than a wavelength of the light used to capture images of an object measured. Nanometer-scale movements can thus be measured, for example, in equipment used for manufacture of integrated circuits or nanometer scale devices.

    摘要翻译： 测量系统和方法扩展了光学导航的使用，以测量小于用于捕获测量对象的图像的光的波长的位移。 因此，可以例如在用于制造集成电路或纳米级装置的设备中测量纳米级的运动。

    Sensing alignment of multiple layers
    8.
    发明授权
    Sensing alignment of multiple layers 失效
    感应多层的对齐

    公开(公告)号：US07226797B2

    公开(公告)日：2007-06-05

    申请号：US10995837

    申请日：2004-11-23

    申请人： William M. Tong ,  Wei Wu ,  Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    发明人： William M. Tong ,  Wei Wu ,  Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

    IPC分类号： H01L21/00

    CPC分类号： G06T7/0004

    摘要： Using an imaging system in relation to a plurality of material layers in an initial alignment state is provided, a first of the plurality of material layers at least partially obscuring a second of the plurality of material layers in the initial alignment state. The first material layer is moved from a first position corresponding to the initial alignment state to a second position out of a field of view of the imaging system, and a first image of the second material layer is stored. The first material layer is moved back the first position to restore the initial alignment state. A second image of the first material layer is acquired. The second image and the stored first image are processed to determine the initial alignment state.

    摘要翻译： 提供了在初始对准状态下相对于多个材料层使用成像系统，多个材料层中的第一个在初始对准状态下至少部分地遮蔽多个材料层中的第二个材料层。 第一材料层从对应于初始取向状态的第一位置移动到成像系统的视野外的第二位置，并且存储第二材料层的第一图像。 第一材料层被移回第一位置以恢复初始对准状态。 获取第一材料层的第二图像。 处理第二图像和存储的第一图像以确定初始对准状态。

    Positioning system and method using displacements
    9.
    发明申请
    Positioning system and method using displacements 审中-公开
    使用位移的定位系统和方法

    公开(公告)号：US20070046940A1

    公开(公告)日：2007-03-01

    申请号：US11209084

    申请日：2005-08-22

    申请人： Jun Gao ,  Carl Picciotto

    发明人： Jun Gao ,  Carl Picciotto

    IPC分类号： G01B11/00

    CPC分类号： G03F9/7019 ,  G03F9/7011 ,  G03F9/7046 ,  G03F9/7088 ,  G05B19/402 ,  G05B2219/45031

    摘要： A method comprising capturing a first image that includes a target on a substrate, adjusting a first relative position between the substrate and a fabrication unit, capturing a second image that includes the target subsequent to adjusting the first relative position, and determining whether a first displacement of the target in the second image relative to the target the first image indicates that a second relative position between the substrate and the fabrication unit has been achieved is provided.

    摘要翻译： 一种方法，包括：在基板上捕获包括目标的第一图像，调整所述基板和制造单元之间的第一相对位置，在调整所述第一相对位置之后，捕获包括所述目标的第二图像，以及确定第一位移 提供了相对于目标的第二图像中的目标的第一图像表示已经实现了基板和制造单元之间的第二相对位置。

    Displacement sensing by comparing matrices of pointwise measurements
    10.
    发明申请
    Displacement sensing by comparing matrices of pointwise measurements 失效
    通过比较点测量矩阵进行位移检测

    公开(公告)号：US20060106567A1

    公开(公告)日：2006-05-18

    申请号：US10994055

    申请日：2004-11-18

    申请人： Carl Picciotto ,  Jun Gao ,  Neal Meyer

    发明人： Carl Picciotto ,  Jun Gao ,  Neal Meyer

    IPC分类号： G06F15/00

    CPC分类号： G01D5/347 ,  G06T7/246 ,  G06T7/70

    摘要： Determining a displacement of a substantially rigid item relative to a frame of reference between a first time and a second time is described. At the first time, a first set of pointwise measurements of a physical property of the item taken at a plurality of fixed locations relative to the frame of reference is acquired. At the second time, a second set of pointwise measurements of the physical property taken at the plurality of fixed locations is acquired. A first matrix derived from the first set of pointwise measurements is compared to a second matrix derived from the second set of pointwise measurements to determine the displacement.

    摘要翻译： 描述在第一时间和第二时间之间确定基本上刚性的物品相对于参考系的位移。 在第一时间，获取在相对于参考帧在多个固定位置拍摄的物品的物理属性的第一组点测量。 在第二次，获取在多个固定位置处取得的物理属性的第二组点测量。 将来自第一组点测量的第一矩阵与从第二组点测量导出的第二矩阵进行比较，以确定位移。