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    Inertial sensor and angular velocity detection method using the same
    2.
    发明授权
    Inertial sensor and angular velocity detection method using the same 有权
    惯性传感器和角速度检测方法使用相同

    公开(公告)号：US08789417B2

    公开(公告)日：2014-07-29

    申请号：US13303334

    申请日：2011-11-23

    申请人： Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park ,  Won Kyu Jeung

    发明人： Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park ,  Won Kyu Jeung

    IPC分类号： G01C19/56

    CPC分类号： G01P15/08 ,  G01C19/5747 ,  G01P15/18

    摘要： Disclosed herein is an inertial sensor including: a driving part displaceably supported by a support; a driving electrode vibrating the driving part; and a detecting electrode detecting a force acting on the driving part in a predetermined direction, wherein the driving part includes: a center driving mass positioned at the center of the inertial sensor; side driving masses connected to and interlocking with the center driving mass and positioned at four sides based on the center driving mass; and connection bridges connecting the center driving mass, the side driving masses, and the support to each other.

    摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器，包括：可移动地由支撑件支撑的驱动部分; 驱动电极使所述驱动部振动; 以及检测电极，其在预定方向上检测作用在所述驱动部件上的力，其中所述驱动部件包括：位于所述惯性传感器的中心的中心驱动质量块; 连接到中心驱动质量块并且与中心驱动质量块互锁的侧驱动质量块，并且基于中心驱动质量被定位在四侧; 以及将中心驱动质量块，侧驱动块和支撑件彼此连接的连接桥。

    Inertial sensor
    3.
    发明授权
    Inertial sensor 失效
    惯性传感器

    公开(公告)号：US08701489B2

    公开(公告)日：2014-04-22

    申请号：US13213948

    申请日：2011-08-19

    申请人： Jong Woon Kim ,  Jung Won Lee ,  Seung Hun Han ,  Won Kyu Jeung ,  Yun Sung Kang ,  Heung Woo Park

    发明人： Jong Woon Kim ,  Jung Won Lee ,  Seung Hun Han ,  Won Kyu Jeung ,  Yun Sung Kang ,  Heung Woo Park

    IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P1/02

    CPC分类号： G01C19/56

    摘要： Disclosed herein is an inertial sensor. An inertial sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention includes a plate-shaped membrane 110, a mass body 130 that is provided under a central portion 111 of the membrane 110 and includes an integrated circuit, and a post 140 that are provided under an edge 112 of the membrane 110 to surround the mass body 130, whereby the overall thickness and area of the inertial sensor can be reduced by including the integrated circuit in the mass body 130 to implement a thin and small inertial sensor 100.

    摘要翻译： 这里公开了惯性传感器。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100包括板状膜110，设置在膜110的中心部分111下方并包括集成电路的质量体130，以及设置有柱140 在膜110的边缘112下方围绕质量体130，从而可以通过将集成电路包括在质量体130中来实现惯性传感器的整体厚度和面积，以实现薄而小的惯性传感器100。

    Micro electro mechanical systems component
    4.
    发明授权
    Micro electro mechanical systems component 有权
    微机电系统组件

    公开(公告)号：US08607638B2

    公开(公告)日：2013-12-17

    申请号：US13324918

    申请日：2011-12-13

    申请人： Won Kyu Jeung ,  Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park

    发明人： Won Kyu Jeung ,  Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park

    IPC分类号： G01L9/16 ,  H01L29/84

    CPC分类号： G01C19/56 ,  G01L9/0047 ,  G01L9/0048 ,  G01P15/08 ,  G01P15/14 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871 ,  H03B5/30 ,  H03H9/2405

    摘要： Disclosed herein is a MEMS component. The MEMS component according to the exemplary embodiment of the present invention includes: a plate-shaped membrane 110; a post 130 disposed under an edge 115 of the membrane 110; a stopper 140 disposed under the membrane 110 and disposed more inwardly than the post 130 so as to form a space 143 between the stopper 140 and the post 130; and a cap 150 disposed under the post 130 so as to cover the post 130, whereby the influence of disturbance or noise occurring from external environments or interference from surrounding sensors can be interrupted by using a predetermined region 145 of the membrane 110 disposed above the space 143.

    摘要翻译： 这里公开了一种MEMS部件。 根据本发明的示例性实施例的MEMS部件包括：板状膜110; 设置在膜110的边缘115下方的柱130; 止挡件140，其设置在膜110的下方并且比柱130更靠内侧设置，以便在止动件140和柱130之间形成空间143; 以及设置在柱130下方以覆盖柱130的盖150，由此可以通过使用设置在空间上方的膜110的预定区域145来中断来自外部环境的发生的干扰或噪声的影响或来自周围的传感器的干扰的影响 143。

    INERTIAL SENSOR AND ANGULAR VELOCITY DETECTION METHOD USING THE SAME
    5.
    发明申请
    INERTIAL SENSOR AND ANGULAR VELOCITY DETECTION METHOD USING THE SAME 有权
    惯性传感器和使用其的角速度检测方法

    公开(公告)号：US20130019679A1

    公开(公告)日：2013-01-24

    申请号：US13303334

    申请日：2011-11-23

    申请人： Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park ,  Won Kyu Jeung

    发明人： Jong Woon Kim ,  Heung Woo Park ,  Won Kyu Jeung

    IPC分类号： G01C19/56

    CPC分类号： G01P15/08 ,  G01C19/5747 ,  G01P15/18

    摘要： Disclosed herein is an inertial sensor including: a driving part displaceably supported by a support; a driving electrode vibrating the driving part; and a detecting electrode detecting a force acting on the driving part in a predetermined direction, wherein the driving part includes: a center driving mass positioned at the center of the inertial sensor; side driving masses connected to and interlocking with the center driving mass and positioned at four sides based on the center driving mass; and connection bridges connecting the center driving mass, the side driving masses, and the support to each other.

    摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器，包括：可移动地由支撑件支撑的驱动部分; 驱动电极使所述驱动部振动; 以及检测电极，其在预定方向上检测作用在所述驱动部件上的力，其中所述驱动部件包括：位于所述惯性传感器的中心的中心驱动质量块; 连接到中心驱动质量块并且与中心驱动质量块互锁的侧驱动质量块，并且基于中心驱动质量被定位在四侧; 以及将中心驱动质量块，侧驱动块和支撑件彼此连接的连接桥。

    Inertial sensor and angular velocity detection method using the same
    8.
    发明授权
    Inertial sensor and angular velocity detection method using the same 有权
    惯性传感器和角速度检测方法使用相同

    公开(公告)号：US08789418B2

    公开(公告)日：2014-07-29

    申请号：US13591335

    申请日：2012-08-22

    申请人： Jong Woon Kim ,  Liwei Lin ,  Minyao Mao ,  Won Kyu Jeung

    发明人： Jong Woon Kim ,  Liwei Lin ,  Minyao Mao ,  Won Kyu Jeung

    IPC分类号： G01C19/56

    CPC分类号： G01C19/574

    摘要： Disclosed herein is an inertial sensor. The inertial sensor includes: a plurality of driving masses; support bodies connecting a connection bridge so as to support the driving masses; a connection bridge connecting the plurality of driving masses and connecting the plurality of driving masses with the support bodies; and an electrode pattern part including driving electrodes simultaneously driving the driving masses and sensing electrode detecting axial Coriolis force of each of the driving masses.

    摘要翻译： 这里公开了惯性传感器。 惯性传感器包括：多个驱动质量块; 支撑体连接连接桥，以支撑驱动块; 连接所述多个驱动块并将所述多个驱动块与所述支撑体连接的连接桥; 以及电极图案部，其包括驱动电极，同时驱动驱动质量，感测电极检测每个驱动质量块的轴向科里奥利力。

    Inertial sensor and method of manufacturing the same
    9.
    发明授权
    Inertial sensor and method of manufacturing the same 有权
    惯性传感器及其制造方法

    公开(公告)号：US08887569B2

    公开(公告)日：2014-11-18

    申请号：US13177485

    申请日：2011-07-06

    申请人： Jong Woon Kim ,  Won Kyu Jeung

    发明人： Jong Woon Kim ,  Won Kyu Jeung

    IPC分类号： G01P15/02 ,  G01P15/09 ,  G01P15/18 ,  G01C19/56 ,  C23F1/02 ,  G01P15/08

    CPC分类号： B81C1/00158 ,  B81B3/0062 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/053 ,  B81C1/00484 ,  B81C1/00531 ,  B81C1/00539 ,  B81C1/00571 ,  B81C2201/01 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0133 ,  B81C2201/014 ,  C09K13/00 ,  C09K13/08 ,  G01C19/56 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0922 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871

    摘要： Disclosed herein an inertial sensor and a method of manufacturing the same. An inertial sensor 100 according to a preferred embodiment of the present invention is configured to include a plate-shaped membrane 110, a mass body 120 that includes an adhesive part 123 disposed under a central portion 113 of the membrane 110 and provided at the central portion thereof and a patterning part 125 provided at an outer side of the adhesive part 123 and patterned to vertically penetrate therethrough, and a first adhesive layer 130 that is formed between the membrane 110 and the adhesive part 123 and is provided at an inner side of the patterning part 125. An area of the first adhesive layer 130 is narrow by isotropic etching using the patterning part 125 as a mask, thereby making it possible to improve sensitivity of the inertial sensor 100.

    摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器及其制造方法。 根据本发明的优选实施例的惯性传感器100被配置为包括板状膜110，质量体120，其包括设置在膜110的中心部分113下方并设置在中心部分处的粘合部123 以及设置在粘合部123的外侧并被图案化以垂直贯穿其中的图案形成部分125，以及形成在膜110和粘合部123之间的第一粘合层130，并且设置在第一粘合层130的内侧 图形部分125.通过使用图案形成部分125作为掩模的各向同性蚀刻，第一粘合剂层130的区域变窄，从而可以提高惯性传感器100的灵敏度。

    INERTIAL SENSOR AND METHOD FOR MEASURING ACCELERATION USING THE SAME
    10.
    发明申请
    INERTIAL SENSOR AND METHOD FOR MEASURING ACCELERATION USING THE SAME 有权
    惯性传感器和使用该传感器测量加速度的方法

    公开(公告)号：US20130152687A1

    公开(公告)日：2013-06-20

    申请号：US13440809

    申请日：2012-04-05

    申请人： Seung Heon Han ,  Jung Eun Noh ,  Jong Woon Kim ,  Sang Jin Kim ,  Yun Sung Kang ,  Won Kyu Jeung

    发明人： Seung Heon Han ,  Jung Eun Noh ,  Jong Woon Kim ,  Sang Jin Kim ,  Yun Sung Kang ,  Won Kyu Jeung

    IPC分类号： G01P15/09

    CPC分类号： G01P15/0922 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084

    摘要： Disclosed herein is an inertial sensor, including: a membrane; a mass body disposed under the membrane; a sensing unit formed on the membrane and including a piezoelectric body; and a spring constant control unit formed to be spaced apart from the sensing unit and including a piezoelectric body. According to the preferred embodiment of the present invention, the DC acceleration (in particular, gravity acceleration) can be measured by using the change in the spring constant without changing the structure of the inertial sensor including the piezoelectric material of the prior art.

    摘要翻译： 本文公开了一种惯性传感器，包括：膜; 设置在膜下方的质量体; 感测单元，形成在膜上并包括压电体; 以及弹簧恒定控制单元，其形成为与感测单元间隔开并且包括压电体。 根据本发明的优选实施例，可以通过使用弹簧常数的变化来测量直流加速度（特别是重力加速度），而不改变包括现有技术的压电材料的惯性传感器的结构。