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    Arrangement for identifying uncontrolled events at the process module level and methods thereof
    1.
    发明授权
    Arrangement for identifying uncontrolled events at the process module level and methods thereof 有权
    用于在过程模块级别识别不受控制的事件的安排及其方法

    公开(公告)号：US08983631B2

    公开(公告)日：2015-03-17

    申请号：US12555674

    申请日：2009-09-08

    申请人： Chung Ho Huang ,  Vijayakumar C. Venugopal ,  Connie Lam ,  Dragan Podlesnik

    发明人： Chung Ho Huang ,  Vijayakumar C. Venugopal ,  Connie Lam ,  Dragan Podlesnik

    IPC分类号： G05B11/01 ,  G06F19/00 ,  G06F9/50 ,  G05B19/418 ,  G06F11/20

    CPC分类号： G06F9/5027 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31202 ,  G05B2219/31293 ,  G05B2219/31318 ,  G05B2219/31481 ,  G05B2219/32209 ,  G05B2219/45031 ,  G06F11/2035 ,  G06F11/2043 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

    摘要： A process-level troubleshooting architecture (PLTA) configured to facilitate substrate processing in a plasma processing system is provided. The architecture includes a process module controller. The architecture also includes a plurality of sensors, wherein each sensor of the plurality of sensors communicates with the process module controller to collect sensed data about one or more process parameters. The architecture further includes a process-module-level analysis server, wherein the process-module-level analysis server communicates directly with the plurality of sensors and the process module controller. The process-module-level analysis server is configured for receiving data, wherein the data include at least one of the sensed data from the plurality of sensors and process module and chamber data from the process module controller. The process-module-level analysis server is also configured for analyzing the data and sending interdiction data directly to the process module controller when a problem is identified during the substrate processing.

    摘要翻译： 提供了一种配置为促进等离子体处理系统中的基板处理的过程级故障排除架构（PLTA）。 该架构包括一个进程模块控制器。 该架构还包括多个传感器，其中多个传感器中的每个传感器与过程模块控制器通信以收集关于一个或多个过程参数的感测数据。 该体系结构还包括一个过程模块级分析服务器，其中过程模块级分析服务器与多个传感器和过程模块控制器直接通信。 过程模块级分析服务器被配置为用于接收数据，其中数据包括来自多个传感器的感测数据中的至少一个以及来自处理模块控制器的处理模块和室数据。 过程模块级分析服务器还被配置为当在衬底处理期间识别出问题时，分析数据并将拦截数据直接发送到过程模块控制器。

    ARRANGEMENT FOR IDENTIFYING UNCONTROLLED EVENTS AT THE PROCESS MODULE LEVEL AND METHODS THEREOF
    4.
    发明申请
    ARRANGEMENT FOR IDENTIFYING UNCONTROLLED EVENTS AT THE PROCESS MODULE LEVEL AND METHODS THEREOF 有权
    在过程模块级别识别非受控事件的安排及其方法

    公开(公告)号：US20100332012A1

    公开(公告)日：2010-12-30

    申请号：US12555674

    申请日：2009-09-08

    申请人： Chung-Ho Huang ,  Vijayakumar C. Venugopal ,  Connie Lam ,  Dragan Podlesnik

    发明人： Chung-Ho Huang ,  Vijayakumar C. Venugopal ,  Connie Lam ,  Dragan Podlesnik

    IPC分类号： G05B9/02 ,  G06F9/50 ,  G06F11/20

    CPC分类号： G06F9/5027 ,  G05B19/4184 ,  G05B2219/31202 ,  G05B2219/31293 ,  G05B2219/31318 ,  G05B2219/31481 ,  G05B2219/32209 ,  G05B2219/45031 ,  G06F11/2035 ,  G06F11/2043 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/18

    摘要： A process-level troubleshooting architecture (PLTA) configured to facilitate substrate processing in a plasma processing system is provided. The architecture includes a process module controller. The architecture also includes a plurality of sensors, wherein each sensor of the plurality of sensors communicates with the process module controller to collect sensed data about one or more process parameters. The architecture further includes a process-module-level analysis server, wherein the process-module-level analysis server communicates directly with the plurality of sensors and the process module controller. The process-module-level analysis server is configured for receiving data, wherein the data include at least one of the sensed data from the plurality of sensors and process module and chamber data from the process module controller. The process-module-level analysis server is also configured for analyzing the data and sending interdiction data directly to the process module controller when a problem is identified during the substrate processing.

    摘要翻译： 提供了一种配置为促进等离子体处理系统中的基板处理的过程级故障排除架构（PLTA）。 该架构包括一个进程模块控制器。 该架构还包括多个传感器，其中多个传感器中的每个传感器与过程模块控制器通信以收集关于一个或多个过程参数的感测数据。 该体系结构还包括一个过程模块级分析服务器，其中过程模块级分析服务器与多个传感器和过程模块控制器直接通信。 过程模块级分析服务器被配置为用于接收数据，其中数据包括来自多个传感器的感测数据中的至少一个以及来自处理模块控制器的处理模块和室数据。 过程模块级分析服务器还被配置为当在衬底处理期间识别出问题时，分析数据并将拦截数据直接发送到过程模块控制器。

    System and method for automatically generating semiconductor equipment communication standard (SECS) message source in SECS communication
    5.
    发明授权
    System and method for automatically generating semiconductor equipment communication standard (SECS) message source in SECS communication 有权
    在SECS通信中自动生成半导体设备通信标准（SECS）消息源的系统和方法

    公开(公告)号：US06721618B2

    公开(公告)日：2004-04-13

    申请号：US10178556

    申请日：2002-06-25

    申请人： Wonin Baek ,  Jaekwang Lee ,  Dongsik Min ,  Jaegwang Lee ,  Kyuheung Lee

    发明人： Wonin Baek ,  Jaekwang Lee ,  Dongsik Min ,  Jaegwang Lee ,  Kyuheung Lee

    IPC分类号： G06F1900

    CPC分类号： G06F8/71 ,  G05B2219/31202 ,  H04Q2213/13322

    摘要： A system and method for automatically generating software such that coding of a source program for use in controlling equipments may be automatically performed to the selection of data corresponding to a SECS message defining operations of the semiconductor fabricating equipments in the SECS message communications for a semiconductor fabricating or processing system. According to the present invention, it is possible to rapidly automate the equipment and perform ease maintenance and repair of the fabricating equipments and provide a more static environment for fabricating the semiconductor.

    摘要翻译： 一种用于自动生成软件的系统和方法，可以自动执行用于控制设备的源程序的编码以选择对应于SECS消息的数据，该SECS消息定义了用于半导体制造的SECS消息通信中的半导体制造设备的操作 或处理系统。 根据本发明，可以使设备快速自动化，并且对制造设备进行易维护和维修，并为制造半导体提供更静态的环境。

    Arrangement for identifying uncontrolled events at the process module level and methods thereof
    7.
    发明授权
    Arrangement for identifying uncontrolled events at the process module level and methods thereof 有权
    用于在过程模块级别识别不受控制的事件的安排及其方法

    公开(公告)号：US08618807B2

    公开(公告)日：2013-12-31

    申请号：US12826568

    申请日：2010-06-29

    申请人： Luc Albarede ,  Vijayakumar C Venugopal

    发明人： Luc Albarede ,  Vijayakumar C Venugopal

    IPC分类号： G01R31/00

    CPC分类号： H01J37/32935 ,  G05B2219/31202

    摘要： A method for detecting an in-situ fast transient event within a processing chamber during substrate processing is provided. The method includes a set of sensors comparing a data set to a set of criteria (in-situ fast transient events) to determine if the first data set includes a potential in-situ fast transient event. If the first data set includes the potential in-situ fast transient event, the method also includes saving an electrical signature that occurs in a time period during which the potential in-situ fast transient event occurs. The method further includes comparing the electrical signature against a set of stored arc signatures. If a match is determined, the method yet also includes classifying the electrical signature as a first in-situ fast transient event and determining a severity level for the first in-situ fast transient event based on a predefined set of threshold ranges.

    摘要翻译： 提供了一种用于在衬底处理期间检测处理室内的原位快速瞬变事件的方法。 该方法包括将数据集与一组标准（原位快速瞬变事件）进行比较的一组传感器，以确定第一数据集是否包括潜在的原位快速瞬变事件。 如果第一数据集包括潜在的原位快速瞬变事件，则该方法还包括保存在潜在的原位快速瞬变事件发生的时间段内发生的电特征。 该方法还包括将电特征与一组存储的电弧特征进行比较。 如果确定匹配，则该方法还包括将电特征分类为第一原位快速瞬时事件，并且基于预定义的一组阈值范围来确定第一原位快速瞬变事件的严重性级别。

    ARRANGEMENT FOR IDENTIFYING UNCONTROLLED EVENTS AT THE PROCESS MODULE LEVEL AND METHODS THEREOF
    10.
    发明申请
    ARRANGEMENT FOR IDENTIFYING UNCONTROLLED EVENTS AT THE PROCESS MODULE LEVEL AND METHODS THEREOF 有权
    在过程模块级别识别非受控事件的安排及其方法

    公开(公告)号：US20100332014A1

    公开(公告)日：2010-12-30

    申请号：US12826568

    申请日：2010-06-29

    申请人： Luc Albarede ,  Vijayakumar C. Venugopal

    发明人： Luc Albarede ,  Vijayakumar C. Venugopal

    IPC分类号： G06F19/00

    CPC分类号： H01J37/32935 ,  G05B2219/31202

    摘要： A method for detecting an in-situ fast transient event within a processing chamber during substrate processing is provided. The method includes a set of sensors comparing a data set to a set of criteria (in-situ fast transient events) to determine if the first data set includes a potential in-situ fast transient event. If the first data set includes the potential in-situ fast transient event, the method also includes saving an electrical signature that occurs in a time period during which the potential in-situ fast transient event occurs. The method further includes comparing the electrical signature against a set of stored arc signatures. If a match is determined, the method yet also includes classifying the electrical signature as a first in-situ fast transient event and determining a severity level for the first in-situ fast transient event based on a predefined set of threshold ranges.

    摘要翻译： 提供了一种用于在衬底处理期间检测处理室内的原位快速瞬变事件的方法。 该方法包括将数据集与一组标准（原位快速瞬变事件）进行比较的一组传感器，以确定第一数据集是否包括潜在的原位快速瞬变事件。 如果第一数据集包括潜在的原位快速瞬变事件，则该方法还包括保存在潜在的原位快速瞬变事件发生的时间段内发生的电特征。 该方法还包括将电特征与一组存储的电弧特征进行比较。 如果确定匹配，则该方法还包括将电特征分类为第一原位快速瞬时事件，并且基于预定义的一组阈值范围来确定第一原位快速瞬时事件的严重性级别。