公开(公告)号：WO02060643A3

公开(公告)日：2002-10-03

申请号：PCT/US0151079

申请日：2001-10-23

Applicant: STRASBAUGH

Inventor： HALLEY DAVID G

IPC: B24B9/06 ,  B24B37/04 ,  B24B41/04 ,  B24B47/10 ,  B24B49/02 ,  B24B49/12 ,  B24B53/007 ,  B24B57/02 ,  H01L21/304 ,  H01L21/687 ,  B24B7/22 ,  B24B1/00

CPC classification number: B24B9/065 ,  B24B37/013 ,  B24B37/04 ,  B24B37/042 ,  B24B37/30 ,  B24B41/04 ,  B24B47/10 ,  B24B49/02 ,  B24B49/12 ,  B24B53/017 ,  B24B57/02 ,  H01L21/68728

Abstract: The present invention provides an improved planarization or polishing apparatus for chemical mechanical planarization and other types of polishing such as metal polishing and optical polishing. In an exemplary embodiment, an apparatus for polishing an object (115) comprises a pad (117) having a polishing surface to be placed on the target surface of the object (115) to be polished. A pad drive member (116) is connected to the pad to move the pad relative to the object to chenge a position of the polishing surface of the pad on the target surface of the object. A drive support (251) is movably coupled with the pad drive member (116) to support the pad drive member (116) for rotation relative to the drive support around a pivot point (252) which is disposed substantially on the target surface of the object (115) during polishing.

Abstract translation: 本发明提供了用于化学机械平坦化和其他类型的抛光如金属抛光和光学抛光的改进的平坦化或抛光装置。 在示例性实施例中，用于抛光物体（115）的设备包括具有抛光表面的抛光垫（117），抛光表面将被放置在待抛光的物体（115）的目标表面上。 衬垫驱动构件（116）连接到衬垫以相对于物体移动衬垫，以平整衬垫的抛光表面在物体的目标表面上的位置。 驱动器支撑件（251）与垫驱动构件（116）可移动地联接以支撑垫驱动构件（116）以相对于驱动器支撑件围绕枢轴点（252）旋转，该枢轴点基本上设置在 物体（115）在抛光期间。

公开(公告)号：WO0032353A3

公开(公告)日：2000-08-10

申请号：PCT/GB9904014

申请日：1999-12-01

Applicant: OPTICAL GENERICS LTD ,  BINGHAM RICHARD ,  RILEY DAVID CHARLES

Inventor： BINGHAM RICHARD ,  RILEY DAVID CHARLES

IPC: G02B3/00 ,  B24B1/00 ,  B24B7/22 ,  B24B7/24 ,  B24B13/00 ,  B24B13/01 ,  B24B13/015 ,  B24B13/02 ,  B24B17/10 ,  B24B29/00 ,  B24B37/04 ,  B24B41/00 ,  B24B41/04 ,  B24B47/12 ,  B24B51/00 ,  B24D3/06 ,  B24D3/28 ,  B24D3/34 ,  B24D9/04 ,  B24D11/00 ,  B24D13/14 ,  B24D13/20 ,  B24D18/00

CPC classification number: B24B13/00 ,  B24B1/00 ,  B24B7/228 ,  B24B7/24 ,  B24B7/241 ,  B24B13/01 ,  B24B13/015 ,  B24B13/02 ,  B24B17/10 ,  B24B29/00 ,  B24B41/002 ,  B24B41/04 ,  B24B47/12 ,  B24B51/00 ,  B24D3/06 ,  B24D3/28 ,  B24D3/342 ,  B24D9/04 ,  B24D11/001 ,  B24D13/14 ,  B24D13/147 ,  B24D13/20 ,  B24D18/0009 ,  Y10S451/90

Abstract: A machine for abrading or polishing a workpiece (5) comprises a holding surface holding the workpiece, a head member (7) arranged along a rotation axis to rotate about the rotation axis, a working member (8) having a surface for abrading or polishing the workpiece (5) arranged on the head member on the rotational axis (h) for rotation about the rotation axis with the head member, a first driving arrangement for driving a head member and the working member mounted thereon to rotate about the rotation axis, a head mounting arrangement for mounting the head member, a second driving arrangement (700) for driving the head mounting arrangement to incline the rotation axis of the head member relative to a precession axis intersecting the rotation axis, and for moving the head member to inclined positions with the rotation axis precessed about the precession axis, and a third driving arrangement (800) for relatively moving the head mounting arrangement across the holding surface.

Abstract translation: 一种用于研磨或抛光工件（5）的机器包括保持工件的保持表面，沿着旋转轴线布置以围绕旋转轴线旋转的头部构件（7），具有用于研磨或抛光的表面的工作构件（8） 设置在头部构件上的工件（5），用于旋转轴线（h），用于围绕旋转轴线与头部构件一起旋转，用于驱动头部构件的第一驱动装置和安装在其上的工作构件围绕旋转轴线旋转， 用于安装头部构件的头部安装装置，用于驱动头部安装装置以相对于与旋转轴线相交的进动轴倾斜头部构件的旋转轴线的第二驱动装置（700），以及用于将头部构件移动到倾斜 围绕旋动轴线旋转的旋转轴线的位置以及用于相对移动头部安装装置横跨保持表面的第三驱动装置（800）。

公开(公告)号：WO00009290A1

公开(公告)日：2000-02-24

申请号：PCT/EP1999/005738

申请日：1999-08-09

IPC: B24B5/12 ,  B23B3/16 ,  B23B11/00 ,  B23P23/02 ,  B23Q39/02 ,  B24B5/01 ,  B24B27/00 ,  B24B41/04 ,  B24B5/00 ,  B23Q39/00

CPC classification number: B23Q39/024 ,  B23B3/167 ,  B23Q2039/008 ,  B24B5/01 ,  B24B27/0061 ,  B24B27/0076 ,  B24B41/04

Abstract: The invention relates to a grinding machine comprising at least one bed, feed slides and a grinding table with superstructures, which further presents a turning-tool holding fixture (6) for hard machining. The invention also relates to a method for machining a workpiece (1) in a grinding machine, according to which the workpiece (1) is hard-machined by turning in said grinding machine.

Abstract translation: 本发明提供了一种至少具有研磨床，研磨床和台式研磨台的研磨机，该研磨台具有用于硬车削的车刀架（6）。 此外，提出了一种在磨床中加工工件（1）的方法，其中在磨床中对工件（1）执行硬车削操作。

公开(公告)号：WO00005033A1

公开(公告)日：2000-02-03

申请号：PCT/EP1999/002524

申请日：1999-04-14

IPC: B23Q5/10 ,  B24B19/02 ,  B24B19/12 ,  B24B41/04 ,  B24B47/10 ,  B24B47/12 ,  F16H49/00

CPC classification number: B24B19/12 ,  B23Q5/10 ,  B24B41/04 ,  B24B47/12

Abstract: The invention concerns a drive for a grinding disc of a cam grinding machine, wherein an electrical motor with a drive wheel (3) is provided, said drive wheel (3) being fitted with evenly spaced annular recesses (30) and the annular recesses (30) being fitted with permanent magnets (22) on the radial surfaces. A grinding spindle rotor (4) with evenly spaced annular recesses (29) is provided, the radial surfaces of the annular recesses (29) being fitted with permanent magnets (23), wherein the annular recesses (30) that are fitted with permanent magnets (22) of the drive wheel (3) and the rotor (4) engage with each other.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于凸轮磨床的砂轮，其中电动马达设置有驱动轮（3）的驱动设置，驱动轮（3）与所述径向表面上均匀地间隔开的环形凹槽（30），所述环形槽（30） 配备有永久磁铁（22），一个磨削主轴转子（4）具有均匀间隔的环形凹槽（29）设置，所述环形槽（29）与永久磁铁（23）的径向表面嵌合并组装后，环形永久磁铁（22）穿刺 驱动轮（3）和（4）相互啮合的转子（30）是在接合。

公开(公告)号：WO99028081A1

公开(公告)日：1999-06-10

申请号：PCT/GB1998/003265

申请日：1998-11-02

IPC: B24B7/22 ,  B24B27/00 ,  B24B41/04 ,  B24B41/047 ,  B24B49/02 ,  B24B49/10 ,  B24B49/16 ,  B23Q17/22 ,  B23Q1/54 ,  B24B41/06 ,  B24B49/00

CPC classification number: B24B27/0084 ,  B24B7/228 ,  B24B27/0053 ,  B24B41/04 ,  B24B41/047 ,  B24B49/02 ,  B24B49/10 ,  B24B49/16

Abstract: A grinding machine, in particular a face grinder for grinding the faces of silicon wafers, has a grinding wheel spindle (20) and a work spindle (22) which are mounted so as to be pivotal about axes (A and B) respectively, each axis being perpendicular to the rotational axis of its respective spindle and being orthogonal to the rotation axis of the other spindle. Three sensors or probes (1 to 3) are provided to measure the position of one spindle relative to the other and to generate signals for controlling servo motors (26, 28) for adjusting the angular orientation of each spindle about its pivotal axis.

Abstract translation: 研磨机，特别是用于研磨硅晶片表面的研磨机具有分别围绕轴线（A和B）枢转安装的砂轮主轴（20）和工作轴（22），每个 轴垂直于其相应主轴的旋转轴线并且与另一主轴的旋转轴线正交。 提供三个传感器或探头（1至3）以测量一个主轴相对于另一个的位置，并产生用于控制伺服电动机（26,28）的信号，用于调节每个心轴围绕其枢转轴线的角度定向。

公开(公告)号：WO99024219A1

公开(公告)日：1999-05-20

申请号：PCT/JP1998/004953

申请日：1998-10-30

IPC: F16L27/093 ,  B24B41/04 ,  B24B55/02 ,  B24B37/04

CPC classification number: F16L27/087 ,  B24B37/04 ,  B24B41/04 ,  B24B55/02

Abstract: A rotary joint for a fluid capable of fluidizing under a seal state a polishing solution between relative rotary members and supplying power to a polishing surface detector, wherein a series of polishing solution passages (7) communicating with one another through seal spaces (50) sealed by a pair of seal devices equipped with seal rings (51, 52) rotating and sliding relatively to each other are defined between a joint main body (1) and a rotary body (2). A power distribution route reaching the polishing surface detector (110) comprises a rotary connector (4) for connecting a first connector (41) on the side of a casing (40) held by the rotary body and a second connector (42) on the side of the joint main body in such a manner as to be capable of rotating relative to each other, a cable (42a) extending from a power source (3) to the second connector and a cable (41a) extending from the first connector to the polishing surface detector through a cable insertion passage (24) formed in the rotary body.

Abstract translation: 一种用于能够在密封状态下流动相对旋转构件之间的抛光溶液并向抛光表面检测器供电的流体的旋转接头，其中一系列通过密封空间（50）彼此连通的抛光溶液通道（7）被密封 在连接主体（1）和旋转体（2）之间限定一对密封装置，该密封装置具有彼此相对旋转和滑动的密封环（51,52）。 到达抛光表面检测器（110）的配电线路包括旋转连接器（4），用于连接由旋转体保持的壳体（40）侧的第一连接器（41）和第二连接器 接合主体的侧面能够相对于彼此旋转的方式，从电源（3）延伸到第二连接器的电缆（42a）和从第一连接器延伸到第二连接器的电缆（41a） 所述抛光表面检测器通过形成在所述旋转体中的电缆插入通道（24）。

公开(公告)号：WO1995003917A1

公开(公告)日：1995-02-09

申请号：PCT/US1994008478

申请日：1994-07-29

Applicant: WESTERN ATLAS, INC.

Inventor： WESTERN ATLAS, INC. ,  PFLAGER, William, W. ,  HYKES, Timothy, W.

IPC: B24B05/00

CPC classification number: H02K5/1672 ,  B23Q1/70 ,  B24B41/04 ,  H02K9/19

Abstract: A grinding machine provided with a spindle (5) rotating under the influence of a cantilever mounted rare earth permanent magnet motor (40). Hydrostatic fluid film bearings (41, 42) are provided between the ends of the spindle (5) and a bronze bearing (64, 65) to support spindle (5) in such a manner so as to eliminate wear. A single oil reservoir (20) is used to supply oil to the hydrostatic bearings (41, 42), as well as to the cooling jacket labyrinth (17) of the motor (40).

Abstract translation: 一种磨床，其设置有在悬臂式稀土永磁电动机（40）的影响下旋转的主轴（5）。 在主轴（5）的端部和青铜轴承（64,65）之间设置静水流体膜轴承（41,42），以支撑主轴（5），以便消除磨损。 单个储油器（20）用于向静压轴承（41,42）以及电动机（40）的冷却套迷宫（17）供应油。

公开(公告)号：WO2019134101A1

公开(公告)日：2019-07-11

申请号：PCT/CN2018/071469

申请日：2018-01-04

Applicant: 上海惠而顺精密工具股份有限公司

Inventor： 王梦怡 ,  孙静 ,  刘怀兵 ,  刘磊 ,  杨彩云 ,  万年奇 ,  孙波 ,  王智胜 ,  陈宜陵 ,  丁晓兰

IPC: A61C3/00

CPC classification number: A61C3/00 ,  B24B19/00 ,  B24B41/04

Abstract: 本发明涉及口腔医疗设备，尤其涉及一种义齿打磨头。一体化义齿打磨头，包含柄部和刃部，柄部和刃部连接在一起，刃部包含连接在一起的大头工作部分和小头工作部分；大头工作部分的外形主要为弧形、圆柱形、锥形中的一种，小头工作部分的外形主要为倒梨型、锥形、锥形球头、圆柱形、圆柱形球头中的一种。本发明可以同时加工大的弧面以及小的缝隙如咬合面、牙龈乳尖等，不必换刀，节省时间和劳动力。

公开(公告)号：WO2018210181A1

公开(公告)日：2018-11-22

申请号：PCT/CN2018/086429

申请日：2018-05-11

Applicant: 金翰阳科技(大连)股份有限公司

Inventor： 姜作诚 ,  葛阳 ,  李承翰

IPC: B24B27/00 ,  B24B9/04 ,  B24B41/04 ,  B24B41/06

CPC classification number: B24B9/04 ,  B24B27/00 ,  B24B41/04 ,  B24B41/06

Abstract: 一种铸造类零件智能打磨设备，底座上安装沿Z方向设置的第一线性模组，第一线性模组的滑台上安装沿X方向设置的第二线性模组，第二线性模组的滑台上安装沿Y方向设置的立柱，立柱的一侧安装沿Y方向设置的第三线性模组，第三线性模组的滑台上安装连接板，连接板上设偏置摆头，偏置摆头的摆头体上安装打磨主轴，底座的X方向一侧设上下料组件。本发明与现有技术相比具有打磨效率高，打磨时间短，保证产品加工精度等优点。

公开(公告)号：WO2018055069A1

公开(公告)日：2018-03-29

申请号：PCT/EP2017/073982

申请日：2017-09-22

Applicant: ELB-SCHLIFF WERKZEUGMASCHINEN GMBH

Inventor： MAYR, Günther ,  STANIK, Markus

IPC: B23Q3/155 ,  B24B19/02 ,  B24B27/00 ,  B24B41/04 ,  B24B41/02 ,  B24B53/053 ,  B24B55/02

CPC classification number: B24B19/02 ,  B23Q3/15513 ,  B24B27/0076 ,  B24B27/0084 ,  B24B41/02 ,  B24B41/04 ,  B24B53/053 ,  B24B55/02 ,  Y10T483/174

Abstract: Bereitgestellt wird eine Werkstückbearbeitungsvorrichtung (1), insbesondere Schleifvorrichtung, mit zumindest einem Spindelmodul (10.1) und einem Werkzeugwechsler (30), wobei - das Spindelmodul angepasst ist, ein Werkzeug (13.1), insbesondere Schleifscheibe, zur Bearbeitung eines Werkstückes (40) aufzunehmen, - das Spindelmodul entlang einer vertikalen Translationsachse (Y3) verfahrbar an einem Spindelmodulhalter (5) angeordnet ist, - wobei das Spindelmodul (10.1) eine Spindel (11.1), insbesondere Schleifspindel, zur Aufnahme des Werkzeuges und einen Abrichter (12.1) aufweist, wobei der Abrichter und die Spindel unabhängig voneinander und relativ zueinander an dem Spindelmodul (10.1) verfahrbar sind, und - der Werkzeugwechsler (30) angepasst ist - zumindest ein Werkzeug aus einem Werkzeugmagazin (35) zu entnehmen und an einer Spindel (11.1,11.2) zu befestigen und - ein an einer Spindel befestigtes Werkzeug aufzunehmen und in dem Werkzeugmagazin abzulegen.

Abstract translation:

提供了一种工件导航用途ckbearbeitungsvorrichtung（1），特别是研磨装置，与至少一个心轴模块（10.1）和换刀（30），其中 - 所述主轴模块适于接收工具（13.1），尤其是砂轮 ，用于加工工件导航用途采取ckes（40）， - 沿垂直平移轴线（Y3）上的主轴模块支架可移动布置的主轴模块（5）， - 其中所述主轴模块（10.1）是主轴（11.1），尤其是研磨轴，用于接收 包括工具和一个修整工具（12.1），修整和主轴独立地BEAR分别彼此和相对于彼此在主轴模块上（10.1）可动，以及 - 适于将所述刀库（30） - 从刀具库的至少一个工具（35 ）并将其连接到主轴（11.1,11.2）上，并且 - 拾取连接到主轴上的刀具并将其放入刀库中。