公开(公告)号：WO2010081678A1

公开(公告)日：2010-07-22

申请号：PCT/EP2010/000129

申请日：2010-01-13

Applicant: CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH ,  WINTEROT, Johannes ,  SPRENGER, Joerg ,  KNOBLICH, Johannes

Inventor： WINTEROT, Johannes ,  SPRENGER, Joerg ,  KNOBLICH, Johannes

IPC: G02B13/22 ,  G02B15/173 ,  G02B21/02 ,  G02B21/00

CPC classification number: G02B13/22 ,  G02B15/173 ,  G02B21/0088 ,  G02B21/025

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf ein telezentrisches Mikroskopsystem mit einem Objektiv, einem dem Objektiv nachgeordneten afokalen Vergrößerungssystem mit kontinuierlicher variabler Vergrößerung, dessen Eintrittspupille (EP) im bildseitigen Brennpunkt des Objektivs liegt, und einem dem Vergrößerungssystem nachgeordneten Tubussystem. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein afokales Vergrößerungssystem mit variabler Vergrößerung für telezentrische Mikroskopsysteme. Erfindungsgemäß ist das Vergrößerungssystem als afokales Vergrößerungssystem mit negativer Fernrohrvergrößerung ausgebildet, die Austrittspupille (AP) ist reell nach der letzten beweglichen Linsengruppe, und im Bereich zwischen der Eintrittspupille (EP) und der Austrittspupille (AP) ist ein Zwischenbild (ZB) ausgebildet, das bei Änderung der Vergrößerung seine Lage ändert.

Abstract translation: 本发明涉及的远心显微镜系统用透镜，具有连续可变放大率的物镜系统的下游的远焦倍率，入射光瞳（EP）位于透镜的像侧焦点，和下游管系统的放大系统。 本发明还涉及一种具有可变放大率远心显微镜系统的远焦倍率系统。 根据本发明的放大系统被设计为具有负的望远镜放大率远焦倍率系统中，出射光瞳（AP）是最后的可动透镜组后真实的，在入射光瞳（EP）和出射光瞳之间的区域（AP）是中间图像（ZB）形成，其在 变化放大倍数改变其位置。

公开(公告)号：WO2010012839A3

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：PCT/EP2009/059994

申请日：2009-08-03

Applicant: SIRONA DENTAL SYSTEMS GMBH ,  SCHMIDT, Volker

Inventor： SCHMIDT, Volker

IPC: G02B27/00 ,  A61B1/247 ,  G02B13/22 ,  G02B23/24 ,  G06T5/00

Abstract: Die Erfindung betrifft Objektiv (4) und ein Verfahren zur Planung dieses Objektivs (4) für eine Dentalkamera (1), wobei das Objektiv (4) mindestens zwei Linsen (9, 10, 20, 21) umfasst, wobei die Dentalkamera (1) eine Lichtquelle (3) und einen Bildsensor (7) umfasst, wobei ein von der Lichtquelle (3) ausgestrahlter Beleuchtungsstrahl (11) durch das Objektiv (4) fokussiert wird, auf einem zu vermessenden Messobjekt (8) abgebildet wird und als ein Beobachtungsstrahl (12) vom Messobjekt (8) zurückgestrahlt wird, wobei der Beobachtungsstrahl (12) das Objektiv (4) durchstrahlt und auf den Bildsensor (7) gelenkt wird, wobei der Beleuchtungsstrahl (11) teilweise von Oberflächen (9', 9', 9'', 10', 10", 20', 20", 21', 21") der Linsen (9, 10, 20, 21) als Reflektionsstrahlen (17.1 bis 17.8) reflektiert wird. Das Objektiv (4) weist Mittel (27) auf, um jede der Linsen (9, 10, 20, 21) zum Beleuchtungsstrahl (11) so zu verkippen, dass eine optische Achse (9'", 10'", 15.1, 15.2) jeder Linse (9, 10, 20, 21) zum Beleuchtungsstrahl (11) einen Verkippungswinkel (α) bildet, der so groß wählbar ist, dass die Reflektionsstrahlen (17.1 bis 17.8) in eine Richtung außerhalb einer Pupille des Beobachtungsstrahls (12) reflektierbar sind.

公开(公告)号：WO2010005491A1

公开(公告)日：2010-01-14

申请号：PCT/US2009/003795

申请日：2009-06-25

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  CORNELL, Jim, D. ,  MALACH, Joseph, D. ,  MICHALOSKI, Paul, F. ,  WEBB, James, E.

Inventor： CORNELL, Jim, D. ,  MALACH, Joseph, D. ,  MICHALOSKI, Paul, F. ,  WEBB, James, E.

IPC: G03F7/20 ,  G02B13/22 ,  G02B27/00

CPC classification number: G03F7/70191 ,  G02B13/22 ,  G02B27/0043 ,  G02B27/4222

Abstract: A telecentricity corrector is incorporated into a microlithographic projection system to achieve telecentricity targets at the output of the microlithographic projection system. The telecentricity corrector is located between an illuminator and a projection lens of the projection system, preferably just in advance of a reticle for controlling angular distributions of light illuminating the reticle.

Abstract translation: 将远心校正器结合到微光刻投影系统中以在微光刻投影系统的输出处实现远心度目标。 远心校正器位于投影系统的照明器和投影透镜之间，优选地恰好在用于控制照射光罩的光的角分布的掩模版之前。

公开(公告)号：WO2009139767A1

公开(公告)日：2009-11-19

申请号：PCT/US2008/063482

申请日：2008-05-12

Applicant: RAYTHEON COMPANY

Inventor： COOK, Lacy

IPC: G02B17/06 ,  G02B13/22 ,  G02B13/14

CPC classification number: G02B17/0642 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/14 ,  G02B13/14 ,  G02B17/0663 ,  G02B17/0694

Abstract: A catoptric, wide-angle optical system includes at least three mirrors. Only the last mirror on the beam path (22) has a positive optical power and all other mirrors have negative optical power. The sum of the optical powers of the mirrors is zero. An external posterior aperture stop (35) is located on the beam path (22) between the last mirror and the image plane (24). The back focal length of the optical system (20) is equal to or greater than an effective focal length of the optical system (20). The field of view is large, and typically at least 30-40 degrees in one plane.

Abstract translation: 反射式广角光学系统至少包括三个反射镜。 只有光束路径（22）上的最后一个反射镜具有正光焦度并且所有其它反射镜具有负光焦度。 反射镜的光功率之和为零。 外部后孔径光阑（35）位于最后一个反射镜和图像平面（24）之间的光束路径（22）上。 光学系统（20）的后焦距等于或大于光学系统（20）的有效焦距。 视野很大，一个平面通常至少有30-40度。

公开(公告)号：WO2009057085A2

公开(公告)日：2009-05-07

申请号：PCT/IL2008/001327

申请日：2008-10-07

Applicant: STRYKER GI Ltd. ,  LEVIN, Victor ,  KIRMA, Yaniv

Inventor： LEVIN, Victor ,  KIRMA, Yaniv

IPC: G02B23/24 ,  G02B9/64 ,  G02B13/22

CPC classification number: G02B23/243 ,  G02B9/64 ,  G02B13/22 ,  G02B27/0025

Abstract: An objective lens optical system for an endoscope is disclosed. The system comprises a front and a rear optical sub-system and an aperture stop therebetween. The rear optical sub-system comprises a compound achromatic component and a rear positive lens disposed between said component and the image plane of the system in close proximity to the image plane. The rear positive lens satisfies the following condition: f R ≥ 4f, where f is the composite focal length of the total system and f R is the focal length of the rear positive lens.

Abstract translation: 公开了一种用于内窥镜的物镜光学系统。 该系统包括前后光学子系统和其间的孔径光阑。 后部光学子系统包括复合消色差分量和设置在所述部件和系统的图像平面之间的靠后的正透镜。 后正透镜满足以下条件：fR = 4f，其中f是总系统的复合焦距，fR是后正透镜的焦距。

公开(公告)号：WO2008138687A1

公开(公告)日：2008-11-20

申请号：PCT/EP2008/054131

申请日：2008-04-07

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  FLEISCHER, Matthias

Inventor： FLEISCHER, Matthias

IPC: G02B5/00 ,  G02B13/22 ,  G01B11/12

CPC classification number: G02B13/22 ,  G02B5/005

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Objektivanordnung (1) für eine Bildverarbeitung, welche ein Objektiv (10) mit mindestens einer Linse zur Abbildung eines Objektes (20) aufweist, wobei im Abstand der Brennweite (11) des Objektives (10) bildseitig eine Aperturblende (30) angeordnet ist, wobei die Aperturblende (30) als Blendengruppe mit variabler Apertur ausgebildet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Reduzierung von Bildfehlern einer Objektivanordnung bei einer Bildverarbeitung, wobei die Objektivanordnung (1) ein Objektiv (10) mit mindestens einer Linse zur Abbildung eines Objektes (20) aufweist, wobei im Abstand der Brennweite (11) des Objektives (10) bildseitig eine Aperturblende (30) angeordnet ist, wobei die Apertur der Aperturblende (30) im Strahlengang verändert und eine Bildänderung detektiert wird. Die zuvor beschriebene Objektivanordnung (1) eignet sich insbesondere für Kameravermessungssysteme mit entsprechenden Bildverarbeitungssystemen. Mit der speziellen Anordnung und dem erfindungsgemäßen Verfahrensansatz kann erreicht werden, dass insbesondere ein Tiefenmessfehler, der bei einer Teilabschattung des Strahlengangs auftreten kann, kompensiert werden kann. Insbesondere ist dies bei der Vermessung von engen, tiefen Aussparungen, z.B. Bohrungen bzw. Öffnungen, vorteilhaft, bei denen diese Teilabschattungen auftreten können. Mit geeigneten Blenden kann das System zur direkten Abstandsmessung eingesetzt werden.

Abstract translation: 本发明涉及一种透镜组件（1）进行图像处理，其中有一个透镜（10）具有至少一个透镜，用于对对象成像的（20），其中，在所述图像侧上的透镜（10）的焦距（11）的距离，孔径光圈（30） 设置，所述孔（30）形成为具有可变孔径组的隔膜。 本发明还涉及一种方法，用于减少在图像处理，其中，所述目标装置（1）包括透镜（10）的透镜组件的图像误差具有至少一个透镜，用于对对象成像的（20），所述物镜的焦距（11），其中，所述距离 （10）被设置在图像侧，其中，所述孔径光阑（30）的开口中的光路被改变孔径光阑（30）和图像变化被检测。 上述（1）所述的透镜组件特别适合于测量的照相机系统与适当的图像处理系统。 与特殊组件与根据本发明的方法该方法可以被实现的，即在特定的深度的测量误差，其可在所述光束路径的部分遮蔽可以补偿发生。 特别地，这是在窄，深的凹部，例如在测量 孔或开口，优选地在此，可能会发生部分遮蔽。 用合适的孔径，该系统可用于直接距离测量。

公开(公告)号：WO2008005451A2

公开(公告)日：2008-01-10

申请号：PCT/US2007/015385

申请日：2007-07-02

Applicant: HELICOS BIOSCIENCES CORPORATION ,  KEPLER, John, H. ,  WEBER, Aaron ,  WELLMAN, Parris, S.

Inventor： KEPLER, John, H. ,  WEBER, Aaron ,  WELLMAN, Parris, S.

IPC: G02B13/22

CPC classification number: G02B27/0972 ,  C07C45/41 ,  C07C57/58 ,  C07C59/48 ,  C07C59/68 ,  C07C69/732 ,  C07C69/734 ,  C07C205/58 ,  C07D279/16 ,  G02B27/0994 ,  C07C47/277

Abstract: In one aspect, the invention relates to an optical apparatus for producing light of a predetermined intensity from light sources of less than the predetermined intensity. In one embodiment the apparatus includes a first light source; a second light source; a double dove anti-Gaussian generator in optical communication with the first light source; and a compensator in optical communication with the second light source. Light from the first light source passes through the double dove anti-Gaussian generator and light from the second light source passes through the compensator, and are combined to produce a flattened Gaussian intensity distribution. In another aspect, the invention relates to a method and apparatus for separating an image into subunits and reading the separate subimages out of the detectors in parallel.

Abstract translation: 一方面，本发明涉及一种用于从小于预定强度的光源产生预定强度的光的光学装置。 在一个实施例中，该装置包括第一光源; 第二光源; 双鸽抗反射高斯发生器与第一光源进行光通信; 以及与第二光源进行光通信的补偿器。 来自第一光源的光穿过双鸽反抗高斯发生器，并且来自第二光源的光穿过补偿器，并且被组合以产生平坦的高斯强度分布。 另一方面，本发明涉及一种用于将图像分离成子单元并且并行读取检测器中的单独子图像的方法和装置。

公开(公告)号：WO03008940A9

公开(公告)日：2004-06-24

申请号：PCT/US0222546

申请日：2002-07-16

Applicant: AUGUST TECHNOLOGY CORP

Inventor： WATKINS CORY ,  VAUGHNN DAVID ,  BLAIR ALAN

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G02B13/22 ,  G02B21/00 ,  G02B21/16 ,  G03B15/00 ,  H01L21/60 ,  H01L21/66 ,  H05K3/00 ,  G01N21/00 ,  G06K9/62 ,  H04N7/18

CPC classification number: G02B21/008 ,  G01N21/9501 ,  G02B13/22 ,  G02B21/0024 ,  G02B21/004 ,  G02B21/16

Abstract: A confocal three dimensional inspection system (120), and process for use thereof, allows for rapid inspecting of bumps and other three dimensional (3D) features on wafers (S), other semiconductor substrates (S) and other large format micro topographies. The sensor eliminates out of focus light using a confocal principal to create a narrow depth response in the micron range.

Abstract translation: 共焦三维检查系统（120）及其使用方法允许快速检查晶片（S），其它半导体衬底（S）和其他大幅面微观形貌上的凸起和其它三维（3D）特征。 该传感器消除了使用共焦原理的聚焦光，以在微米范围内产生较窄的深度响应。

公开(公告)号：WO0145943A3

公开(公告)日：2002-02-14

申请号：PCT/GB0004716

申请日：2000-12-08

Applicant: GEOLA TECHNOLOGIES LTD ,  BROTHERTON RATCLIFFE DAVID ,  VERGNES FLORIAN MICHEL ROBERT ,  RODIN ALEXEY ,  GRICHINE MIKHAIL

Inventor： BROTHERTON-RATCLIFFE DAVID ,  VERGNES FLORIAN MICHEL ROBERT ,  RODIN ALEXEY ,  GRICHINE MIKHAIL

IPC: B41J2/44 ,  G02B13/00 ,  G02B13/22 ,  G03H1/12 ,  G03H1/16 ,  G03H1/24 ,  G03H1/26

CPC classification number: G03H1/24 ,  G03H1/0891 ,  G03H1/16 ,  G03H1/268 ,  G03H2001/0216 ,  G03H2001/0413 ,  G03H2001/0415 ,  G03H2001/0428 ,  G03H2001/0473 ,  G03H2001/2263 ,  G03H2001/2265 ,  G03H2001/2268 ,  G03H2001/2273 ,  G03H2001/2685 ,  G03H2001/269 ,  G03H2001/2695 ,  G03H2001/306 ,  G03H2210/22 ,  G03H2210/40 ,  G03H2210/42 ,  G03H2210/441 ,  G03H2210/454 ,  G03H2222/22 ,  G03H2222/33 ,  G03H2222/50 ,  G03H2223/19

Abstract: A single method and apparatus for producing many of the most common types of hologram from digital data is disclosed. The data are generated entirely by a computer as a 3-D (animated) model or from multiple 2-D camera images taken of a real 3-D(moving) object or scene from a plurality of different camera positions. The data are digitally processed and displayed on a small high resolution spatial light modulator (SLM). A compact low energy pulsed laser is used to record composite holograms. The present invention permits the creation of restricted or full parallax master transmission or reflection type composite holograms, known as H1 holograms, that can be copied using traditional methods. Alternatively the same invention and apparatus permits the direct writing of holograms without the need to pass through the intermediate stage of the H1 transmission hologram.

Abstract translation: 公开了用于从数字数据产生许多最常见类型的全息图的单一方法和装置。 数据由计算机完全由3D（动画）模型产生，或者由多个不同摄像机位置的真实3-D（移动）对象或场景拍摄的多个2-D摄像机图像生成。 数据被数字处理并显示在小型高分辨率空间光调制器（SLM）上。 使用紧凑型低能量脉冲激光来记录复合全息图。 本发明允许创建可以使用传统方法复制的被称为H1全息图的限制或全视差主传输或反射型复合全息图。 或者，相同的发明和装置允许全息图的直接写入，而不需要通过H1传输全息图的中间阶段。

公开(公告)号：WO01023933A1

公开(公告)日：2001-04-05

申请号：PCT/JP1999/005329

申请日：1999-09-29

IPC: G02B13/14 ,  G02B13/18 ,  G02B13/22 ,  G02B13/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70883 ,  G02B13/143 ,  G02B13/18 ,  G02B13/22 ,  G02B13/24 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70741 ,  G03F7/70958

Abstract: A refraction projection optical system preferable to a projection exposure apparatus used for lithography process in manufacturing a microdevice such as a semiconductor device. The projection optical system includes a positive front lens group (GF), an aperture stop (AS), and a positive rear lens group (GR), is a both side telecentric optical system, and satisfies the inequalities 0.075

Abstract translation: 一种折射投影光学系统，优选用于制造诸如半导体器件的微器件中的光刻工艺的投影曝光装置。 投影光学系统包括正前透镜组（GF），孔径光阑（AS）和正后透镜组（GR），是双侧远心光学系统，并且满足不等式0.075