公开(公告)号：WO2010086042A1

公开(公告)日：2010-08-05

申请号：PCT/EP2009/065511

申请日：2009-11-19

Applicant: APPLIED MATERIALS INC. ,  REPMANN, Tobias ,  STRAUB, Axel

Inventor： REPMANN, Tobias ,  STRAUB, Axel

IPC: H01L31/18 ,  B23K26/42

CPC classification number: B23K26/04 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K26/705 ,  B23K2203/50 ,  H01L31/046 ,  Y02E10/50

Abstract: A laser scribing device 20 is provided which comprises at least a laser light source 21. The laser light source 21 may generate a laser beam 22 for scribing cell lines 12a, 12b,...;13a, 13b,...; 14a, 14b,... to form a patterned solar cell module 10. Furthermore, the laser 21 may emit a light beam 23 for generating a light spot 24 on the surface of the solar cell module. The light beam 23 may be modulated compared with the light beam 22 used for the scribing process. By means of the light spot 24 a particular region of the active area 18 of the solar cell module may be illuminated, and the voltage V oc (L) may be measured at a voltage measurement device 25. The voltage measurement device 25 is connected between the negative contact area 15 and the positive contact area 16 of the solar cell module 10. The measured voltage V oc (L) depends on the location of the laser spot 24 on the solar cell module 10 and the intensity of the laser spot 24.

Abstract translation: 提供了至少包括激光光源21的激光划片装置20.激光光源21可以产生用于划线细胞线12a，12b，...，13a，13b，...的激光束22。 14a，14b，...以形成图案化的太阳能电池模块10.此外，激光器21可以发射用于在太阳能电池模块的表面上产生光点24的光束23。 与用于划线过程的光束22相比，光束23可以被调制。 通过光点24可以照射太阳能电池模块的有源区域18的特定区域，并且可以在电压测量装置25处测量电压Voc（L）。电压测量装置25连接在 负极接触区域15和太阳能电池模块10的正极接触区域16.测量电压Voc（L）取决于激光光斑24在太阳能电池模块10上的位置和激光点24的强度。

公开(公告)号：WO2009029164A2

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：PCT/US2008009501

申请日：2008-08-08

Applicant: COHERENT INC ,  MICHAUD RAYMOND ,  MUELLER ERIC R

Inventor： MICHAUD RAYMOND ,  MUELLER ERIC R

IPC: B23K26/03 ,  B23K26/04 ,  B23K26/067 ,  G02B6/24 ,  G02B6/255 ,  G02B6/36

CPC classification number: B23K26/067 ,  B23K26/0626 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/705 ,  G02B6/4296 ,  G02F1/113 ,  G02F1/33

Abstract: An output beam from a laser is directed into an acousto-optic cell. The acousto- optic cell is driven by RF voltages at four different frequencies. A portion of the laser output beam is diffracted by the acousto-optic cell at four different angles to the laser output beam. This provides four secondary beams. The magnitude of the RF voltages applied to the acousto-optic cell and the power in the laser output beam may be cooperatively varied to provide a predetermined power in each of the secondary beams. The four secondary beams are directed into four beam separating optical fibers connected to four transport optical fibers for transporting the secondary beams to a location remote from the laser. Power in the beams is monitored at the output ends of the four optical fibers for controlling the magnitude of the RF voltages. All four beams are focused into the beam-separating fibers by a single lens.

Abstract translation: 来自激光器的输出光束被引导到声光电池中。 声光单元由四个不同频率的RF电压驱动。 激光输出光束的一部分被声光单元以与激光输出光束四个不同角度衍射。 这提供了四个辅助光束。 施加到声光单元的RF电压的大小和激光输出光束中的功率可以协调地变化，以在每个次级光束中提供预定的功率。 四个次级光束被引导到连接到四个传输光纤的四个光束分离光纤中，用于将次光束传送到远离激光的位置。 在四根光纤的输出端监视光束的功率，用于控制RF电压的幅度。 所有四个光束通过单个透镜聚焦到光束分离光纤中。

公开(公告)号：WO2006128671A1

公开(公告)日：2006-12-07

申请号：PCT/EP2006/005147

申请日：2006-05-30

Applicant: TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH ,  WELLER, Roland ,  KAUPP, Peter ,  LEHLEUTER, Franz

Inventor： WELLER, Roland ,  KAUPP, Peter ,  LEHLEUTER, Franz

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/42

CPC classification number: B23K26/032 ,  B23K26/046 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/705 ,  B23K26/707

Abstract: Eine Laserbearbeitungsmaschine (11) umfasst eine Einrichtung zur Erfassung von Veränderungen eines Laserstrahls (14) innerhalb einer Laserbearbeitungsmaschine zwischen einem Auskoppelspiegel (18) des Lasers (19) und einem Laserbearbeitungskopf (20), wobei ein Sensor (6; 16) zur Erfassung der Laserstrahlveränderungen vor dem Laserbearbeitungskopf (20) angeordnet ist, und eine Daten des Sensors (16) erfassende und auswertende sowie einen adaptiven Spiegel (12) ansteuernde Steuerung (17) vorgesehen ist. Der adaptive Spiegel (12) ist nahe am Auskoppelspiegel (18) angeordnet.

Abstract translation: 一种激光加工机（11）包括用于激光加工机内检测所述激光（19）和激光加工头（20）的输出镜（18）之间的激光束（14）的变化，装置，其中一个传感器（6; 16），用于检测所述激光束的变化 被布置在激光加工头（20），和检测和评估以及自适应镜（12）-addressing控制器（17）的传感器（16）的数据之前被提供。 自适应镜（12）被布置为靠近输出镜（18）。

公开(公告)号：WO2006128663A1

公开(公告)日：2006-12-07

申请号：PCT/EP2006/005120

申请日：2006-05-30

Applicant: TRUMPF WERKZEUGMASCHINEN GMBH + CO. KG ,  WEICK, Jürgen-Michael ,  HÄCKER, Michael

Inventor： WEICK, Jürgen-Michael ,  HÄCKER, Michael

IPC: B23K26/04 ,  B23K26/38 ,  B23K26/10 ,  B23K26/14

CPC classification number: B23K26/0876 ,  B23K26/032 ,  B23K26/042 ,  B23K26/043 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/10 ,  B23K26/142 ,  B23K26/1494 ,  B23K26/705

Abstract: Eine Laserbearbeitungsmaschine umfasst eine Optik zur Strahlführung und Fokussierung eines Laserstrahls (5), eine Einrichtung zur Ausleuchtung der Düsenbohrung (10) einer Laserbearbeitungsdüse (10') des Laserbearbeitungskopfs, eine Einrichtung zur Bestimmung der Mitte der Düsenbohrung (10) mithilfe der Ausleuchtung und eine Einrichtung zur Bestimmung des Abstandes des Laserstrahlfokus zur Düsenmitte. Eine separate Lichtquelle (11) zur Ausleuchtung der Düsenbohrung (10) und ein optisches Element (13) der Strahlführung des Laserstrahls (5) zur Einkoppelung des Lichtstrahls (14) sind vorgesehen.

Abstract translation: 包括用于束引导光学系统和激光束（5）的聚焦的激光加工机的装置，用于照明所述激光加工头的激光加工喷嘴（10“）的喷嘴孔（10），用于通过使用所述照明和装置确定所述喷嘴孔（10）的中心 用于确定所述喷嘴中心的激光束聚焦的距离。 提供了用于照明的喷嘴孔（10）和所述喷射引导用于将光束（14）耦合（5）的激光束的光学元件（13）的单独的光源（11）。

公开(公告)号：WO2005094468A3

公开(公告)日：2006-11-02

申请号：PCT/US2005009540

申请日：2005-03-23

Applicant: VISX INC ,  CHERNYAK DIMITRI A ,  HOLLIDAY KEITH ,  CLOPP MATHEW

Inventor： CHERNYAK DIMITRI A ,  HOLLIDAY KEITH ,  CLOPP MATHEW

IPC: A61F9/008 ,  B23K26/03 ,  B23K26/06 ,  B23K26/42 ,  G01B11/14 ,  G01D18/00 ,  G01J1/42

CPC classification number: A61F9/008 ,  A61B18/20 ,  A61F9/00802 ,  A61F2009/00855 ,  A61F2009/00872 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/705 ,  G01J1/4257

Abstract: The present invention provides improved methods and systems for laser beam positioning, shape profile, size profile, drift, and/or deflection calibration using an image capture device (20), such as a microscope camera, for enhanced calibration accuracy and precision. The methods and systems are particularly suite for iris calibration and hysteresis measurement of a variable diameter aperture. One method for calibrating laser pulses form a laser eye surgery system using an image capture device (28) on the calibration surface (18). The laser eye surgery system is calibrated by comparing the image of the mark (28) on the calibration surface (18) to the image of the known object.

Abstract translation: 本发明提供了使用诸如显微镜相机的图像捕获装置（20）的用于激光束定位，形状轮廓，尺寸分布，漂移和/或偏转校准的改进的方法和系统，用于增强校准精度和精度。 该方法和系统特别适用于可变直径孔径的虹膜校准和滞后测量。 用于校准激光脉冲的一种方法是使用在校准表面（18）上的图像捕获装置（28）形成激光眼睛手术系统。 通过将校准表面（18）上的标记（28）的图像与已知对象的图像进行比较来校准激光眼睛手术系统。

公开(公告)号：WO2006060207A2

公开(公告)日：2006-06-08

申请号：PCT/US2005/042032

申请日：2005-11-14

Applicant: METAL IMPROVEMENT COMPANY LLC ,  DANE, C., Brent ,  HARRIS, Fritz, B. ,  TARANOWSKI, Joseph, T. ,  BROWN, Stewart, B.

Inventor： DANE, C., Brent ,  HARRIS, Fritz, B. ,  TARANOWSKI, Joseph, T. ,  BROWN, Stewart, B.

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/08

CPC classification number: B23K26/0884 ,  B23K26/032 ,  B23K26/034 ,  B23K26/042 ,  B23K26/043 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/705 ,  C21D10/005

Abstract: An active laser energy delivery system includes a relay imaging system. Input optics arranged to receive the laser energy, a transmitting mirror having adjustable angle of incidence relative to the input optics, and a robot mounted processing head including an optical assembly are configured to direct laser energy toward the movable target image plane. The laser energy follows an optical path including an essentially straight segment from the transmitting mirror to the receiving mirror, having a variable length and a variable angle relative to the input optics. Diagnostics on the processing head facilitate operation.

Abstract translation: 主动激光能量传递系统包括中继成像系统。 布置成接收激光能量的输入光学器件，具有相对于输入光学器件具有可调入射角的发射镜，以及包括光学组件的机器人安装的处理头被配置为将激光能量引向可移动目标像平面。 激光能量遵循包括从发射反射镜到接收反射镜的基本上直的部分的光路，其具有相对于输入光学器件的可变长度和可变角度。 处理头上的诊断便于操作。

公开(公告)号：WO2005054949A3

公开(公告)日：2005-12-15

申请号：PCT/US2004037617

申请日：2004-11-12

Applicant: CYMER INC ,  PARTLO WILLIAM N ,  DAS PALASH P ,  HUDYMA RUSSELL ,  THOMAS MICHAEL

Inventor： PARTLO WILLIAM N ,  DAS PALASH P ,  HUDYMA RUSSELL ,  THOMAS MICHAEL

IPC: B23K26/06 ,  G03F20060101 ,  H01L21/20 ,  H01S3/081 ,  H01S3/22 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/23

CPC classification number: H01S3/0818 ,  B23K26/042 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/705 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02675 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2255 ,  H01S3/2308 ,  H01S3/2366

Abstract: A gas discharge laser crystallization apparatus and method for performing a transformation of a crystal makeup or orientation in a film on a workpiece is disclosed, which may comprise a master oscillator power amplifier MOPA or power oscillator power amplifier configured XeF laser system producing a laser output light pulse beam at a high repetition rate and high power with a pulse to pulse dose control; an optical system producing an elongated thin pulsed working beam from the laser output light pulse beam. The apparatus may further comprise the laser system is configured as a POPA laser system and further comprising: relay optics operative to direct a first output laser light pulse beam from a first laser PO unit into a second laser PA unit; and, a timing and control module timing the creation of a gas discharge in the first and second laser units within plus or minus 3 ns, to produce the a second laser output light pulse beam as an amplification of the first laser output light pulse beam. The system may comprise divergence control in the oscillator laser unit. Divergence control may comprise an unstable resonator arrangement. The system may further comprise a beam pointing control mechanism intermediate the laser and the workpiece and a beam position control mechanism intermediate the laser and the workpiece. Beam parameter metrology may provide active feedback control to the beam pointing mechanism and active feedback control to the beam position control mechanism.

Abstract translation: 公开了一种气体放电激光结晶装置和方法，用于在工件上进行膜内晶体结构或取向的变换，其可包括主振荡器功率放大器MOPA或功率振荡器功率放大器配置的XeF激光系统，产生激光输出光 脉冲束以高重复率和高功率以及脉冲到脉冲剂量控制; 光学系统从激光输出光脉冲束产生细长的薄脉冲工作光束。 该设备可以进一步包括激光系统被配置为POPA激光系统并且还包括：中继光学器件，用于将来自第一激光PO单元的第一输出激光脉冲光束引导到第二激光PA单元中; 以及定时和控制模块，用于在第一和第二激光单元中产生正或负3ns内的气体放电，以产生作为第一激光输出光脉冲束的放大的第二激光输出光脉冲束。 该系统可以包括振荡器激光器单元中的发散控制。 发散控制可以包括不稳定的谐振器布置。 该系统还可以包括位于激光器和工件之间的光束指向控制机构以及位于激光器和工件之间的光束位置控制机构。 波束参数测量可以提供对波束指向机构的主动反馈控制和对波束位置控制机构的主动反馈控制。

公开(公告)号：WO2005054949A2

公开(公告)日：2005-06-16

申请号：PCT/US2004/037617

申请日：2004-11-12

Applicant: CYMER, INC. ,  PARTLO, William, N. ,  DAS, Palash, P. ,  HUDYMA, Russell ,  THOMAS, Michael

Inventor： PARTLO, William, N. ,  DAS, Palash, P. ,  HUDYMA, Russell ,  THOMAS, Michael

IPC: G03F

CPC classification number: H01S3/0818 ,  B23K26/042 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/705 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02675 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2255 ,  H01S3/2308 ,  H01S3/2366

Abstract: A gas discharge laser crystallization apparatus and method for performing a transformation of a crystal makeup or orientation in a film on a workpiece is disclosed, which may comprise a master oscillator power amplifier MOPA or power oscillator power amplifier configured XeF laser system producing a laser output light pulse beam at a high repetition rate and high power with a pulse to pulse dose control; an optical system producing an elongated thin pulsed working beam from the laser output light pulse beam. The apparatus may further comprise the laser system is configured as a POPA laser system and further comprising: relay optics operative to direct a first output laser light pulse beam from a first laser PO unit into a second laser PA unit; and, a timing and control module timing the creation of a gas discharge in the first and second laser units within plus or minus 3 ns, to produce the a second laser output light pulse beam as an amplification of the first laser output light pulse beam. The system may comprise divergence control in the oscillator laser unit. Divergence control may comprise an unstable resonator arrangement. The system may further comprise a beam pointing control mechanism intermediate the laser and the workpiece and a beam position control mechanism intermediate the laser and the workpiece. Beam parameter metrology may provide active feedback control to the beam pointing mechanism and active feedback control to the beam position control mechanism.

Abstract translation: 公开了一种气体放电激光结晶装置和方法，用于在工件上的膜中进行晶体补偿或取向的变换，其可以包括主振荡器功率放大器MOPA或功率振荡器功率放大器，配置XeF激光系统，产生激光输出光 脉冲束以高重复率和高功率脉冲到脉冲剂量控制; 从激光输出光脉冲光束产生细长脉冲工作光束的光学系统。 该装置还可以包括激光系统被配置为POPA激光系统，并且还包括：可操作地将来自第一激光PO单元的第一输出激光束脉冲光束引导到第二激光器PA单元中的中继光学器件; 并且定时和控制模块定时在正或负3ns内在第一和第二激光单元中产生气体放电，以产生第二激光输出光脉冲束作为第一激光输出光脉冲光束的放大。 该系统可以包括振荡器激光单元中的发散控制。 发散控制可以包括不稳定的谐振器装置。 该系统还可以包括在激光和工件之间的光束指向控制机构和在激光和工件之间的光束位置控制机构。 光束参数测量可以向光束指向机构提供主动反馈控制，并向光束位置控制机构提供主动反馈控制。

公开(公告)号：WO03046494A2

公开(公告)日：2003-06-05

申请号：PCT/EP0213361

申请日：2002-11-27

Applicant: FH HILDESHEIM HOLZMINDEN GOE ,  VIOEL WOLFGANG

Inventor： VIOEL WOLFGANG

IPC: B23K26/70 ,  G01J1/42 ,  G01J

CPC classification number: G01J1/4257 ,  B23K26/705

Abstract: According to the invention, the analysis and monitoring of the light intensity distribution over the cross-section of a laser beam (1) may be achieved, whereby the laser beam (1) is recorded by means of interferometry using a laser mirror (2), based on the various light intensities incident on the laser mirror (2).

Abstract translation: 用于分析和/或监控在所述激光束（1）的激光束（1）的用激光反射镜的横截面的光强度分布（2）被偏转并本地激光镜（2）的热膨胀，由于激光反射镜（2）入射不同的光强度干涉 检测。

公开(公告)号：WO2003004212A1

公开(公告)日：2003-01-16

申请号：PCT/DE2002/001950

申请日：2002-05-27

Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

Inventor： KILTHAU, Alexander ,  KLETTI, André ,  MAYER, Hans, Jürgen ,  ROELANTS, Eddy

IPC: B23K26/04

CPC classification number: B23K26/04 ,  B23K26/02 ,  B23K26/705 ,  H05K3/0026

Abstract: Zur Kalibrierung des optischen Systems einer eine Laserquelle (1), eine Ablenkeinheit (4) und eine Abbildungseinheit (5) aufweisenden Lasermaschine wird zunächst eine erste Probeplatte in der Fokusebene (Z1) der Abbildungseinheit angeordnet, wobei vorgegebene Rasterpunkte durch den Laserstrahl (2) markiert werden. Danach werden die markierten Punkte über eine Kamera (6) vermessen, und ihre Positionswerte werden mit den vorgegebenen Positionswerten der Zielpunkte verglichen, um daraus erste Korrekturwerte abzuleiten und zu speichern. Danach wird eine zweite Probeplatte in einer von der Fokusebene beabstandeten zweiten Kalibrierebene (Z2) angeordnet und ebenfalls durch den Laserstrahl angesteuert und mit Markierungen versehen. Die zweite Probeplatte wird ebenfalls über die Kamera (6) vermessen, und die vermessenen Positionen der Markierungen werden mit den Positionen der Zielpunkte verglichen, um zweite Korrekturwerte abzuleiten und zu speichern. Aus den gespeicherten ersten und zweiten Korrekturwerten der beiden Ebenen können dann für beliebige Zielpunkte im räumlichen Bereich zwischen der Fokusebene (Z1) und der zweiten Kalibrierebene (Z2) durch Interpolation Korrekturwerte ermittelt und für die Ansteuerung der Ablenkeinheit (4) verwendet werden.

Abstract translation: 为了将激光源的光学系统校准（4）和成像单元（5）具有通过激光束的激光机中，首先，在焦平面（Z1），其布置在所述成像单元，第一样品板，所述预定栅格点（2）标记的（1），一偏转单元 是。 此后，照相机（6）上标记的点被测量，并且它们的位置值与目标点的设定位置的值进行比较以得到第一校正值和存储。 此后，在从所述第二校准平面的焦平面间隔开的位置处的第二样品板（Z2）被设置，并且同样地通过激光束驱动并设有标记。 第二测试面板也测量的照相机（6）上，并且标记的测量位置与所述目标点的位置来导出第二校正值和存储比较。 （Z1）和第二校准平面（Z2）可以通过插值来确定校正值和用于控制从所述两个平面的，则存储的第一和第二校正值的偏转单元（4），用于在聚焦平面之间的空间区域中的任何目标点。