公开(公告)号：WO2011069876A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：PCT/EP2010/068685

申请日：2010-12-02

Applicant: ALCATEL LUCENT ,  AKSYYUK, Vladimir ,  RYF, Roland ,  PARDO, Flavio

Inventor： AKSYYUK, Vladimir ,  RYF, Roland ,  PARDO, Flavio

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  H04N1/04

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  G02B26/105

Abstract: A beam scanner comprising at least one array (20) of a plurality micromirrors (30) and a method of scanning beams. The array is installed on a substrate (21). At least some of the plurality of micromirrors in the array are configured to be moved away and rotated with respect to the substrate.

Abstract translation: 一种束扫描器，包括多个微镜（30）的至少一个阵列（20）和扫描光束的方法。 阵列安装在基板（21）上。 阵列中的多个微镜中的至少一些被配置为相对于衬底移开并旋转。

公开(公告)号：WO2011007628A1

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：PCT/JP2010/059580

申请日：2010-06-01

Applicant: 日本電気株式会社 ,  NEC東芝スペースシステム株式会社 ,  江藤 大輔 ,  青木 一彦 ,  新沢 久弥

Inventor： 江藤　大輔 ,  青木　一彦 ,  新沢　久弥

IPC: G02B26/10 ,  H04B7/185

CPC classification number: G02B7/1827 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101

Abstract: 　ｎ枚の平板バネ４０ａ～４０ｄと、ｍ個の駆動手段５０ａ～５０ｄとを有している。平板バネ４０ａ～４０ｄは、それぞれの板厚中心を通る断面がミラー２０の反射面と同一面上にあると共に中心Ｏ２０に関して回転対称となるように配置され、かつ、ミラーホルダ３０の周囲を略ｎ分周するように沿って延びる沿延区間を備えている。駆動手段５０ａ～５０ｄは、それぞれが発するトルクの中心を通る断面がミラー２０の反射面と同一面上にあると共に中心Ｏ２０に関して回転対称となるように配置されている。

Abstract translation: 小型镜面倾斜致动器具有n个板簧（40a至40d）和m个驱动装置（50a至50d）。 板簧（40a〜40d）的配置使得通过每个板簧的板厚中心的横截面与反射镜（20）的反射面在同一平面上，并围绕中心旋转对称 （O20）。 板簧（40a至40d）还具有沿着镜保持器（30）的圆周延伸的延伸部分，以将圆周基本上分成n个分割部。 驱动装置（50a至50d）被布置成使得通过每个驱动装置产生的扭矩的中心的横截面与反射镜（20）的反射表面在同一平面上并且围绕 中心（O20）。

公开(公告)号：WO2010091977A1

公开(公告)日：2010-08-19

申请号：PCT/EP2010/051238

申请日：2010-02-02

Applicant: Carl Zeiss SMT AG ,  WERBER, Armin ,  MUELBERGER, Norbert ,  CZAP, Almut ,  FISCHER, Juergen

Inventor： WERBER, Armin ,  MUELBERGER, Norbert ,  CZAP, Almut ,  FISCHER, Juergen

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/08 ,  H01F7/02

CPC classification number: G03F7/7095 ,  G02B26/085 ,  G02B27/0006 ,  G03F7/70 ,  G03F7/70291 ,  H01F7/0221 ,  H01F7/1623 ,  H01F7/1638

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen Aktuator für Projektionsbelichtungsanlagen mit mindestens einem Magneten (22), wobei der Magnet gekapselt und/oder in einer Magnethalteplatte (12) gelagert ist, die durch mikrotechnische Herstellungsverfahren derart hergestellt ist, dass die bewegliche Manipulatorfläche (23) über einstückige oder stoffschlüssige Verbindungen ohne zusätzlichen Verbindungsstoff in der Magnethalteplatte gehalten ist, so dass eine sichere Verbindung gegeben ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种致动器用于投射曝光系统的至少一个磁体（22），其中，所述磁性密封和/或在磁保持板（12）被安装，其通过微技术的制造工艺制作，使得在单件式的可动操纵器表面（23）或 接合连接在磁铁保持板保持没有附加连接材料，从而提供安全连接。

公开(公告)号：WO2009147654A1

公开(公告)日：2009-12-10

申请号：PCT/IL2008/000743

申请日：2008-06-02

Applicant: MARADIN TECHNOLOGIES LTD. ,  LUBIANIKER, Yoram ,  ERLICH, Raviv ,  NAFTALI, Matan ,  BARAM, Adi

Inventor： LUBIANIKER, Yoram ,  ERLICH, Raviv ,  NAFTALI, Matan ,  BARAM, Adi

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  H01F7/06 ,  H02K33/00 ,  H02N1/00

CPC classification number: G02B26/085 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/105 ,  H01F2007/068 ,  H02K33/16 ,  H02N1/008

Abstract: A Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) device for actuating a gimbaled element, the device comprising a symmetric electromagnetic actuator for actuating one degree of freedom (DOF) and a symmetric electrostatic actuator for actuating the second degree of freedom.

Abstract translation: 一种用于致动万向节元件的微机电系统（MEMS）装置，该装置包括用于致动一个自由度的对称电磁致动器（DOF）和用于致动第二自由度的对称静电致动器。

公开(公告)号：WO2009128473A1

公开(公告)日：2009-10-22

申请号：PCT/JP2009/057578

申请日：2009-04-15

Applicant: 住友精密工業株式会社 ,  山口 征隆

Inventor： 山口 征隆

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  H02K33/18

CPC classification number: G02B26/085 ,  H02K33/16 ,  H02K33/18

Abstract: 少なくとも一方向の寸法が小さいＭＥＭＳアクチュエータを提供すること。第１軸線Ｘ周りに揺動する第１可動部２１を支持する第１固定部２２、２３が積層された第２軸線Ｙ周りに揺動する第２可動部３１を支持する第２固定部３２、３３を、第２可動部３１の内側に配置、又は、第２可動部３１の幅狭部位３１２Ａと連結して配置することで、第１可動部２１の法線方向から見たときのＭＥＭＳアクチュエータ１の寸法を小さくすることを可能としている。

Abstract translation: 提供了至少在一个方向上具有小尺寸的MEMS致动器。 MEMS致动器（1）包括围绕第一轴线X摆动的第一可移动单元（21）和围绕第二轴线Y振荡的第二可移动单元（31）。MEMS致动器（1）还包括第一固定单元 ，23），其支撑所述第一可动单元（21）和支撑所述第二可动单元（31）的第二固定单元（32,33）。 第一固定单元（22,23）层叠在第二可动单元（31）上。 第二固定单元（32,33）设置在第二可动单元（31）的内部，或者与第二可动单元（31）的变窄部（312A）连动配置。 这可以减小从第一可移动单元（21）的法线方向观察的MEMS致动器（1）的尺寸。

公开(公告)号：WO2009044324A3

公开(公告)日：2009-05-28

申请号：PCT/IB2008053950

申请日：2008-09-29

Applicant: KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV ,  KRASTEV KRASSIMIR T ,  NELLISSEN ANTONIUS J M ,  VAN LIEROP HENDRIKUS W L A M ,  SOEMERS HERMANUS M J R ,  SANDERS RENATUS H M

Inventor： KRASTEV KRASSIMIR T ,  NELLISSEN ANTONIUS J M ,  VAN LIEROP HENDRIKUS W L A M ,  SOEMERS HERMANUS M J R ,  SANDERS RENATUS H M

IPC: G02B26/10

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0858

Abstract: A MEMS scanning micromirror manufacturing method with a method for manufacturing a MEMS scanning micromirror having a cantilever beam including providing a silicon on insulator (SOI) wafer 200 having a first silicon layer 202, a second silicon layer 206, and an insulating layer 204 between the first silicon layer 202 and the second silicon layer 206, the thickness of the first silicon layer 202 being a final thickness of the cantilever beam 72; and fashioning the cantilever beam 72 from the first silicon layer 202 while maintaining the final thickness of the cantilever beam.

Abstract translation: 具有用于制造具有悬臂梁的MEMS扫描微镜的方法的MEMS扫描微镜制造方法包括提供具有第一硅层202，第二硅层206和位于第一硅层202之间的绝缘层204的绝缘体上硅（SOI）晶片200。 第一硅层202和第二硅层206，第一硅层202的厚度是悬臂梁72的最终厚度; 以及在保持悬臂梁的最终厚度的同时从第一硅层202形成悬臂梁72。

公开(公告)号：WO2009005157A1

公开(公告)日：2009-01-08

申请号：PCT/JP2008/062241

申请日：2008-06-30

Applicant: CANON KABUSHIKI KAISHA ,  TORASHIMA, Kazutoshi ,  KATO, Takahisa

Inventor： TORASHIMA, Kazutoshi ,  KATO, Takahisa

IPC: G02B26/08 ,  B81B7/00 ,  H03H9/02

CPC classification number: G02B26/085 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/042 ,  Y10T29/49609 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T74/18856

Abstract: An oscillator device includes a supporting member, a movable member, an elastic supporting member configured to elastically support the supporting member and the movable member around an oscillation axis, and a driving member configured to drive the movable member, wherein the elastic supporting member includes a plurality of springs and at least one spring constant adjusting member configured to couple the plurality of springs with each other.

Abstract translation: 一种振荡器装置，包括支撑构件，可动构件，弹性支撑构件，其构造成围绕摆动轴线弹性地支撑支撑构件和可动构件;以及驱动构件，其构造成驱动可动构件，其中弹性支撑构件包括 多个弹簧和至少一个弹簧恒定调节构件，其构造成将多个弹簧彼此连接。

公开(公告)号：WO2008157238A1

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：PCT/US2008/066728

申请日：2008-06-12

Applicant: CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. ,  BERNSTEIN, Jonathan

Inventor： BERNSTEIN, Jonathan

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0833 ,  G02B26/085

Abstract: An actuatable platform system may include a platform assembly coupled to a support element through a ball-and-socket joint. The system may also include a sensor for determining a position of the platform assembly.

Abstract translation: 可致动平台系统可以包括通过球窝接头联接到支撑元件的平台组件。 该系统还可以包括用于确定平台组件的位置的传感器。

公开(公告)号：WO2007092327A3

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：PCT/US2007002928

申请日：2007-02-01

Applicant: IBM ,  DANG HIEN P ,  SRI-JAYANTHA SRI M

Inventor： DANG HIEN P ,  SRI-JAYANTHA SRI M

IPC: G05B19/33

CPC classification number: G02B26/085 ,  B82Y10/00 ,  G02B26/101 ,  G11B9/1454 ,  G11B9/1481

Abstract: A method of optimizing a servo controller power required in the operation of twodimensional flexure (Microelectronic Memory Storage) MEMS devices. Furthermore, provided is an arrangement for optimizing servo controller power in a two-dimensional flexure MEMS storage device through a utilization of the inventive method.

Abstract translation: 一种优化二维弯曲（微电子存储器）MEMS器件操作所需的伺服控制器功率的方法。 此外，提供了一种通过利用本发明的方法来优化二维挠曲MEMS存储装置中的伺服控制器功率的装置。

公开(公告)号：WO2007117793A2

公开(公告)日：2007-10-18

申请号：PCT/US2007/063331

申请日：2007-03-05

Applicant: STEREO DISPLAY, INC. ,  ANGSTROM, INC. ,  SEO, Cheong Soo ,  CHO, Gyoung Il

Inventor： SEO, Cheong Soo ,  CHO, Gyoung Il

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B7/08 ,  G02B7/1821 ,  G02B26/085

Abstract: A multi-motion programmable micromirror control method is provided with the multiple supports in a stepper plate to upholding the micromirror structure. The control system has advantages such that multiple motion can be applied to a micromirror and that the micromirror can be controlled in a low driving voltage and that simple motion control is applied by digital controlling and that the degrees of freedom in motion of the micromirror can be chosen by the number of the stepper plate and that only single voltage is needed for driving the micromirror motion. With many advantages, the multi-motion programmable micromirror control system provides a solution to overcome the difficulties in controlling micromirror motion.

Abstract translation: 多步运动可编程微镜控制方法具有多个支撑在步进板中以支撑微镜结构。 控制系统具有这样的优点，即可以将多个运动应用于微镜，并且微镜可以被控制在低驱动电压，并且通过数字控制来应用简单的运动控制，并且微反射镜的运动自由度可以是 由步进板的数量选择，并且仅需要单个电压来驱动微镜运动。 具有许多优点，多运动可编程微镜控制系统提供了解决控制微镜运动困难的解决方案。