-
公开(公告)号:WO2008029586A1
公开(公告)日:2008-03-13
申请号:PCT/JP2007/065365
申请日:2007-08-06
IPC分类号: C09J125/14 , C09J7/02 , C09J133/02 , C09J133/08 , C09J135/06
CPC分类号: C09J135/06 , C09J7/10 , C09J7/381 , C09J7/385 , C09J125/14 , C09J133/06 , C09J2205/114 , C09J2425/00 , C09J2433/00
摘要: 本発明に係る接着剤組成物は、スチレンと、環式構造を有する(メタ)アクリル酸エステルと、鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルとを含む単量体組成物を共重合してなるポリマーを主成分とする接着剤組成物である。そして、上記単量体組成物は、さらに、エチレン性二重結合を有するカルボン酸をさらに含むことで、耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性、高温プロセス後の剥離の容易性を向上させることができる。これにより、高い耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性を有し、さらに高温プロセス後の剥離が容易な、接着剤組成物を提供する。
摘要翻译: 公开了一种粘合剂组合物,其主要由通过共聚含苯乙烯的单体组合物,具有环状结构的(甲基)丙烯酸酯和具有链结构的(甲基)丙烯酸烷基酯)而得到的聚合物组成。 单体组合物可以另外含有具有烯属双键的羧酸,从而提高耐热性,在高温条件下的粘合强度,耐碱性,以及高温加工后的易剥离性。 因此,可以获得耐热性高,在高温条件下的粘合强度,耐碱性,以及高温加工后的易剥离性的粘合剂组合物。
-
公开(公告)号:WO2007148606A1
公开(公告)日:2007-12-27
申请号:PCT/JP2007/062044
申请日:2007-06-14
申请人: 東京応化工業株式会社 , 山之内 篤史 , 三隅 浩一 , 先崎 尊博 , 斎藤 宏二
CPC分类号: B32B37/0023 , B29C65/02 , B29C65/14 , B29C65/18 , B29C65/7894 , B29C66/4722 , B29C66/474 , B29C66/71 , B29C66/723 , B29C66/8362 , B29C66/9141 , B29C66/91421 , B29C66/91645 , B29C66/919 , B29C66/9241 , B29C66/929 , B29C66/934 , B29C66/939 , B29L2016/00 , B29L2031/767 , B32B3/30 , B32B7/06 , B32B27/08 , B32B27/18 , B32B27/24 , B32B27/32 , B32B27/36 , B32B27/38 , B32B37/0046 , B32B2250/24 , B32B2307/308 , B32B2307/70 , B32B2307/734 , B32B2307/748 , Y10T156/10 , Y10T156/1043 , B29K2023/06 , B29K2023/12 , B29K2067/003
摘要: 一定の形状および体積を有する精密微細空間の形成方法および一定の形状および体積を有する精密微細空間を有する部材の製造方法等を提供すること。 精密微細凹部を有する基材上に、フィルムを布設する工程を有する精密微細空間の形成方法において、第一ステージ上に基材を載置し、第一ステージの外周を覆う第二ステージの最上面を第一ステージの最上面よりも高くなるように設定する工程と、基材上にフィルムを布設する工程とによって、一定の形状および体積を有する精密微細空間を形成する。
摘要翻译: 形成具有给定配置和体积的精密微孔的方法; 用于制造具有给定构造和体积的精密微空间的构件的方法; 提供了一种通过在具有精密微观凹陷部的基底上放置薄膜的步骤形成精密微孔的方法,包括以下步骤:将这种基底安装在第一阶段上,并设置覆盖外周的第二阶段 使得第二阶段的最上面的面高于第一阶段的最上面; 并在基底上铺上薄膜,从而获得具有给定配置和体积的精密微孔。
-
公开(公告)号:WO2007049566A1
公开(公告)日:2007-05-03
申请号:PCT/JP2006/321080
申请日:2006-10-23
申请人: 東京応化工業株式会社 , 三隅 浩一 , 宮城 賢 , 宮成 淳 , 稲尾 吉浩
IPC分类号: C09J133/06 , C09J7/02 , B24B37/04 , H01L21/301 , H01L21/304
CPC分类号: C09J133/06 , B24B37/30 , B24B37/34 , C09J7/385 , C09J133/08 , C09J133/10 , C09J2203/326 , H01L21/67132 , H01L21/6835 , H01L21/6836 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , Y10T428/2861 , Y10T428/2891 , Y10T428/31935
摘要: 加熱時に発生するガスが少なく(吸湿性が低く)、耐アルカリ性も高く、200°C以上の耐熱性があり、剥離液による剥離が容易な接着剤組成物および該接着剤組成物からなる接着フィルムを提供する。 (a)スチレン、(b)環式骨格含有(メタ)アクリル酸エステルモノマー、(c)(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマーとからなるアクリル系ポリマーを少なくとも主成分として接着剤組成物を調製する。また、この接着剤組成物から接着フィルムの接着剤組成物層を形成する。
摘要翻译: 在加热时气体产生减少(吸湿性低)的粘合剂组合物具有高耐碱性,耐热性为200℃以上,可以用剥离液容易地除去; 和由粘合剂组合物制成的粘合膜。 粘合剂组合物使用(a)苯乙烯,(b)含有环状骨架的(甲基)丙烯酸酯单体,(c)(甲基)丙烯酸烷基酯单体 。 粘合剂膜具有由该粘合剂组合物形成的粘合剂组合物层。
-
公开(公告)号:WO2012050111A1
公开(公告)日:2012-04-19
申请号:PCT/JP2011/073392
申请日:2011-10-12
申请人: 東京応化工業株式会社 , 宮本 英典 , 平川 忠彦 , 三隅 浩一
CPC分类号: H01L31/18 , B05D1/26 , B05D2252/02 , B05D2252/04 , H01L21/6715 , H01L21/67173 , H01L21/6776 , H01L31/0322 , Y02E10/541 , Y02E10/543 , Y02P70/521
摘要: 易酸化性の金属とヒドラジンとを含む液状体(Q)を先端部分(NZa)から吐出するノズル(NZ)を有する塗布部(CT)と、基板(S)と前記ノズル(NZ)とを相対移動させる相対駆動部(NA)とを備える塗布装置において、ノズル(NZ)のうち少なくとも先端部分(NZa)には、液状体(Q)との間の親和性が液状体(Q)同士の親和性よりも弱くなるように形成された親和性調整部(AF)を設けたものである。 当該構成により、基板上に液状体をムラなく塗布できる。
摘要翻译: 一种涂覆装置,其具有:具有从一端(NZa)排出含有容易氧化的金属和肼的液体(Q)的喷嘴(NZ)的涂层元件(CT) 以及相对移动基座(S)和喷嘴(NZ)的位置的相对驱动元件(NA)。 形成亲和力调节元件(AF),使得液体(Q)和喷嘴(NZ)之间的亲合力弱于液体(Q)的部分之间的亲合力,至少在一端(NZa) 喷嘴(NZ)。 涂布装置的结构使得当将液体施加到基底上时,不会使斑点不均匀地涂覆。
-
公开(公告)号:WO2008090769A1
公开(公告)日:2008-07-31
申请号:PCT/JP2008/050235
申请日:2008-01-11
申请人: 東京応化工業株式会社 , 先崎 尊博 , 三隅 浩一 , 山之内 篤史 , 斎藤 宏二
IPC分类号: G03F7/004 , G03F7/038 , H01L21/027
CPC分类号: G03F7/038 , G03F7/0045 , G03F7/0048 , G03F7/0385 , G03F7/40
摘要: 欠陥の発生を抑制でき、且つ良好な形状のレジストパターンを形成することができる感光性樹脂組成物、及びこれを用いたレジストパターンの形成方法を提供する。 (a)多官能エポキシ樹脂、及び(b)カチオン重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物であって、感光性樹脂組成物中の炭酸プロピレン濃度が10質量%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物によれば、欠陥の発生を抑制でき、且つ良好な形状のレジストパターンを形成できる。
摘要翻译: 公开了能够减少缺陷并形成具有良好图案形状的抗蚀剂图案的光敏树脂组合物。 还公开了通过使用感光性树脂组合物形成抗蚀剂图案的方法。 感光性树脂组合物包含(a)多官能环氧树脂和(b)阳离子聚合引发剂,其中碳酸亚丙酯的含量为10质量%以下。
-
公开(公告)号:WO2008072437A1
公开(公告)日:2008-06-19
申请号:PCT/JP2007/071801
申请日:2007-11-09
IPC分类号: C09J11/06 , B32B27/00 , B32B27/30 , C09J7/02 , C09J125/14 , C09J133/08
CPC分类号: C09J9/02 , C09J2203/326
摘要: 本発明に係る接着剤組成物は、単量体組成物を重合してなる重合体を主成分とする接着剤組成物内にマイクロカプセルを含んでいることを特徴としている。上記マイクロカプセルは、接着剤組成物を被接着物から剥離するときに加えられる熱によって気化する芯物質と、芯物質を内包し、かつ上記接着剤組成物に対して不溶であり、刺激が加えられることによって破壊される皮膜とからなる。これにより、加熱することによって接着力が低減し、その結果、接着剤層を基板から容易に剥離することができる接着剤組成物を提供する。
摘要翻译: 公开了一种粘合剂组合物,其特征在于在主要由通过聚合单体组合物获得的聚合物组成的粘合剂组合物中含有微胶囊。 微胶囊由芯材组成,当粘合剂组合物与粘合剂的物体分离时,被加热粘合剂组合物的热蒸发,以及覆盖芯材的涂膜,该膜不溶于 粘合剂组合物并且当施加刺激时破裂。 因此,这种粘合剂组合物在加热时的粘合性降低,从而容易地将粘合剂层与基材分离。
-
公开(公告)号:WO2008018228A1
公开(公告)日:2008-02-14
申请号:PCT/JP2007/061433
申请日:2007-06-06
IPC分类号: C09J133/06 , C09J5/08 , C09J7/02 , C09J125/14
CPC分类号: C09J133/08 , C09J125/14 , C09J2203/326
摘要: 本発明に係る接着剤組成物は、スチレン、環式構造を有する(メタ)アクリル酸エステル、および鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルを共重合してなるポリマーを主成分としている。上記(メタ)アクリル酸エステルが熱の作用によりエステル結合から解離する官能基を備えているため、100°C程度では接着剤組成物の接着力は低減しないが、200°C以上に加熱すると接着剤組成物が発泡し、接着力が低減する。これによって、例えば、半導体ウエハからサポートプレートを剥離するときに、半導体ウエハから接着剤層を剥離するのに要する時間を短縮することができる。また、本発明に係る接着剤組成物は、100°C程度では接着力が低減せず、200°C以上に加熱することによって接着力が低減するため、接着剤層を基板から容易に剥離することができる。
摘要翻译: 主要由通过苯乙烯,具有环状结构的(甲基)丙烯酸酯和具有链状结构的(甲基)丙烯酸烷基酯)的共聚获得的聚合物组成的粘合剂组合物。 (甲基)丙烯酸酯具有通过热作用从酯键解离的官能团,因此尽管粘合剂组合物的粘合强度在约100℃下不会劣化,但是在200℃下加热时粘合剂组合物或 较高的会发泡,从而引起粘合强度的劣化。 因此,例如,在从半导体晶片分离支撑板时,可以缩短从半导体晶片剥离粘合剂层所需的时间。 此外,由于该粘合剂组合物的粘合强度在约100℃下不劣化,而当在200℃或更高温度下加热时,其粘合强度降低,所以可以容易地从基材上分离粘合剂层。
-
公开(公告)号:WO2008062603A1
公开(公告)日:2008-05-29
申请号:PCT/JP2007/068668
申请日:2007-09-26
IPC分类号: C09J153/00 , C08F290/04 , C09J7/02 , C09J155/00
CPC分类号: C09J153/00 , C08F212/08 , C08F220/06 , C08F220/18 , C08F290/046 , C08F2220/301 , C09J7/381 , C09J133/10 , C09J133/12 , C09J135/06 , C09J2205/114 , C09J2433/00 , C09J2453/00 , Y10T428/2852 , Y10T428/2891
摘要: 本発明に係る接着剤組成物は、スチレンと、環式構造を有する(メタ)アクリル酸エステルと、鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルとを含む単量体組成物を共重合してなるポリマーを主成分とする接着剤組成物である。そして、上記単量体組成物は、さらに、エチレン性二重結合を有するカルボン酸、二官能性モノマー、及び、スチレンマクロモノマーを含み、上記ポリマーが、スチレンブロックセグメントを有することで、耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性、高温プロセス後の剥離の容易性を向上させることができる。これにより、高い耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性を有し、さらに高温プロセス後の剥離が容易な、接着剤組成物を提供する。
摘要翻译: 公开了主要由聚合物组成的粘合剂组合物,该聚合物通过使含有苯乙烯的单体组合物,具有环状结构的(甲基)丙烯酸酯)和具有链结构的(甲基)丙烯酸烷基酯共聚得到。 由于单体组合物还含有具有烯属双键的羧酸,双官能单体和苯乙烯大分子单体,并且该聚合物具有苯乙烯嵌段链段,粘合剂组合物的耐热性,高温条件下的粘合强度,耐碱性 ,并且在高温处理后容易释放。 因此,可以提供耐热性高,在高温条件下具有充分的粘合强度和足够的耐碱性的粘合剂组合物,其可以在高温处理后容易地释放。
-
公开(公告)号:WO2008029584A1
公开(公告)日:2008-03-13
申请号:PCT/JP2007/065347
申请日:2007-08-06
IPC分类号: C09J125/14 , C09J7/02 , C09J133/08 , C09J147/00 , C09J153/00
CPC分类号: C08F293/00 , C08F290/00 , C08F290/044 , C08F290/06 , C08F293/005 , C08L53/00 , C08L2666/02 , C09J7/10 , C09J7/387 , C09J125/14 , C09J133/08 , C09J153/00 , C09J2453/00
摘要: 本発明に係る接着剤組成物は、スチレンと、環式構造を有する(メタ)アクリル酸エステルと、鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルとを含む単量体組成物を共重合してなるポリマーを主成分とする接着剤組成物である。そして、上記単量体組成物は、さらに、スチレンマクロモノマーを含むことで、耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性、高温プロセス後の剥離の容易性を向上させることができる。これにより、高い耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性を有し、さらに高温プロセス後の剥離が容易な、接着剤組成物を提供する。
摘要翻译: 公开了一种粘合剂组合物,其主要由通过共聚含苯乙烯的单体组合物,具有环状结构的(甲基)丙烯酸酯和具有链结构的(甲基)丙烯酸烷基酯)而得到的聚合物组成。 单体组合物还可以含有苯乙烯大分子单体,从而提高耐热性,高温条件下的粘合强度,耐碱性,高温加工后的脱模性。 因此,可以获得耐热性高,在高温条件下的粘合强度,耐碱性,以及高温加工后的易剥离性的粘合剂组合物。
-
公开(公告)号:WO2008029569A1
公开(公告)日:2008-03-13
申请号:PCT/JP2007/065060
申请日:2007-08-01
IPC分类号: C09J153/00 , C08F293/00 , C08L53/00 , C09J7/00
CPC分类号: C08L53/00 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08L2666/02 , C09J7/10 , C09J7/387 , C09J153/00 , C09J2453/00 , Y10T428/31721
摘要: 本発明に係る接着剤組成物は、スチレンと、環式構造を有する(メタ)アクリル酸エステルと、鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルとを含む単量体組成物を共重合してなるポリマーを主成分とする接着剤組成物である。そして、上記ポリマーがスチレンブロックセグメントを有することで耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性、高温プロセス後の剥離の容易性を向上させることができる。これにより、高い耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性を有し、さらに高温プロセス後の剥離が容易な、接着剤組成物を提供する。
摘要翻译: 一种粘合剂组合物,其包含通过使包含苯乙烯的单体组合物,具有环状结构的(甲基)丙烯酸酯)和具有链状结构的(甲基)丙烯酸烷基酯共聚而获得的聚合物作为主要成分。 聚合物含有苯乙烯嵌段,因此耐热性提高,高温条件下的粘合强度,耐碱性和高温加工后的剥离容易性。 因此,本发明提供一种粘合剂组合物,其在高温条件下具有高耐热性,高粘合强度,高耐碱性,并且在高温加工后容易剥离。
-
-
-
-
-
-
-
-
-