塗布装置及び塗布方法
    4.
    发明申请
    塗布装置及び塗布方法 审中-公开
    涂层设备和涂层方法

    公开(公告)号:WO2012050111A1

    公开(公告)日:2012-04-19

    申请号:PCT/JP2011/073392

    申请日:2011-10-12

    IPC分类号: B05C5/02 B05D1/26 H01L31/04

    摘要:  易酸化性の金属とヒドラジンとを含む液状体(Q)を先端部分(NZa)から吐出するノズル(NZ)を有する塗布部(CT)と、基板(S)と前記ノズル(NZ)とを相対移動させる相対駆動部(NA)とを備える塗布装置において、ノズル(NZ)のうち少なくとも先端部分(NZa)には、液状体(Q)との間の親和性が液状体(Q)同士の親和性よりも弱くなるように形成された親和性調整部(AF)を設けたものである。 当該構成により、基板上に液状体をムラなく塗布できる。

    摘要翻译: 一种涂覆装置,其具有:具有从一端(NZa)排出含有容易氧化的金属和肼的液体(Q)的喷嘴(NZ)的涂层元件(CT) 以及相对移动基座(S)和喷嘴(NZ)的位置的相对驱动元件(NA)。 形成亲和力调节元件(AF),使得液体(Q)和喷嘴(NZ)之间的亲合力弱于液体(Q)的部分之间的亲合力,至少在一端(NZa) 喷嘴(NZ)。 涂布装置的结构使得当将液体施加到基底上时,不会使斑点不均匀地涂覆。

    接着剤組成物、接着フィルムおよび剥離方法
    6.
    发明申请
    接着剤組成物、接着フィルムおよび剥離方法 审中-公开
    胶粘组合物,粘合膜和分离方法

    公开(公告)号:WO2008072437A1

    公开(公告)日:2008-06-19

    申请号:PCT/JP2007/071801

    申请日:2007-11-09

    CPC分类号: C09J9/02 C09J2203/326

    摘要:  本発明に係る接着剤組成物は、単量体組成物を重合してなる重合体を主成分とする接着剤組成物内にマイクロカプセルを含んでいることを特徴としている。上記マイクロカプセルは、接着剤組成物を被接着物から剥離するときに加えられる熱によって気化する芯物質と、芯物質を内包し、かつ上記接着剤組成物に対して不溶であり、刺激が加えられることによって破壊される皮膜とからなる。これにより、加熱することによって接着力が低減し、その結果、接着剤層を基板から容易に剥離することができる接着剤組成物を提供する。

    摘要翻译: 公开了一种粘合剂组合物,其特征在于在主要由通过聚合单体组合物获得的聚合物组成的粘合剂组合物中含有微胶囊。 微胶囊由芯材组成,当粘合剂组合物与粘合剂的物体分离时,被加热粘合剂组合物的热蒸发,以及覆盖芯材的涂膜,该膜不溶于 粘合剂组合物并且当施加刺激时破裂。 因此,这种粘合剂组合物在加热时的粘合性降低,从而容易地将粘合剂层与基材分离。

    接着剤組成物、接着フィルムおよび剥離方法
    7.
    发明申请
    接着剤組成物、接着フィルムおよび剥離方法 审中-公开
    胶粘组合物,粘合膜和分离方法

    公开(公告)号:WO2008018228A1

    公开(公告)日:2008-02-14

    申请号:PCT/JP2007/061433

    申请日:2007-06-06

    摘要:  本発明に係る接着剤組成物は、スチレン、環式構造を有する(メタ)アクリル酸エステル、および鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルを共重合してなるポリマーを主成分としている。上記(メタ)アクリル酸エステルが熱の作用によりエステル結合から解離する官能基を備えているため、100°C程度では接着剤組成物の接着力は低減しないが、200°C以上に加熱すると接着剤組成物が発泡し、接着力が低減する。これによって、例えば、半導体ウエハからサポートプレートを剥離するときに、半導体ウエハから接着剤層を剥離するのに要する時間を短縮することができる。また、本発明に係る接着剤組成物は、100°C程度では接着力が低減せず、200°C以上に加熱することによって接着力が低減するため、接着剤層を基板から容易に剥離することができる。

    摘要翻译: 主要由通过苯乙烯,具有环状结构的(甲基)丙烯酸酯和具有链状结构的(甲基)丙烯酸烷基酯)的共聚获得的聚合物组成的粘合剂组合物。 (甲基)丙烯酸酯具有通过热作用从酯键解离的官能团,因此尽管粘合剂组合物的粘合强度在约100℃下不会劣化,但是在200℃下加热时粘合剂组合物或 较高的会发泡,从而引起粘合强度的劣化。 因此,例如,在从半导体晶片分离支撑板时,可以缩短从半导体晶片剥离粘合剂层所需的时间。 此外,由于该粘合剂组合物的粘合强度在约100℃下不劣化,而当在200℃或更高温度下加热时,其粘合强度降低,所以可以容易地从基材上分离粘合剂层。

    接着剤組成物、及び接着フィルム
    8.
    发明申请
    接着剤組成物、及び接着フィルム 审中-公开
    胶粘组合物和粘合膜

    公开(公告)号:WO2008062603A1

    公开(公告)日:2008-05-29

    申请号:PCT/JP2007/068668

    申请日:2007-09-26

    摘要:  本発明に係る接着剤組成物は、スチレンと、環式構造を有する(メタ)アクリル酸エステルと、鎖式構造からなる(メタ)アクリル酸アルキルエステルとを含む単量体組成物を共重合してなるポリマーを主成分とする接着剤組成物である。そして、上記単量体組成物は、さらに、エチレン性二重結合を有するカルボン酸、二官能性モノマー、及び、スチレンマクロモノマーを含み、上記ポリマーが、スチレンブロックセグメントを有することで、耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性、高温プロセス後の剥離の容易性を向上させることができる。これにより、高い耐熱性、高温環境下における接着強度、耐アルカリ性を有し、さらに高温プロセス後の剥離が容易な、接着剤組成物を提供する。

    摘要翻译: 公开了主要由聚合物组成的粘合剂组合物,该聚合物通过使含有苯乙烯的单体组合物,具有环状结构的(甲基)丙烯酸酯)和具有链结构的(甲基)丙烯酸烷基酯共聚得到。 由于单体组合物还含有具有烯属双键的羧酸,双官能单体和苯乙烯大分子单体,并且该聚合物具有苯乙烯嵌段链段,粘合剂组合物的耐热性,高温条件下的粘合强度,耐碱性 ,并且在高温处理后容易释放。 因此,可以提供耐热性高,在高温条件下具有充分的粘合强度和足够的耐碱性的粘合剂组合物,其可以在高温处理后容易地释放。