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公开(公告)号：WO2009072368A1
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：PCT/JP2008/070107
申请日：2008-11-05
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 米沢 俊裕
Inventor： 米沢 俊裕
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/06727 , G01R1/06738
Abstract: 本発明のプローブは、支持部に片持ち支持された梁部と、梁部の自由端部から直角方向下方に延伸する接触子とを有している。梁部の固定端部側の接触子の側部には、外側切り込み部が形成され、梁部の自由端部側の接触子の側部には、内側切り込み部が形成され、外側切り込み部と内側切り込み部は、接触子が被検査体の電極に所定の接触圧力で接触する際、接触子が撓むように形成されている。本発明によれば、被検査体の電気的特性の検査において、プローブと被検査体との接触性を適切に維持しつつ、プローブの耐久性を向上させることができる。
Abstract translation: 探针设置有由支撑部分支撑在一侧的梁部分，以及从梁部分的自由端沿直角方向向下延伸的接触件。 在梁部的固定端侧的接触部的侧部形成有外切断部，并且在梁部的自由端侧的接触部的侧部形成内切断部。 外切割部分和内切割部分形成为当触点与规定的接触压力的待检查对象的电极接触时，触点翘曲。 因此，在保持探针与待检查对象之间的适当接触的同时，提高了探测器的耐久性，以检查待检查对象的电气特性。
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公开(公告)号：WO2006059457A1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：PCT/JP2005/020343
申请日：2005-11-07
CPC classification number: B23Q1/44 , H01L21/682
Abstract: 大型化しても、マシン高さを押さえ、かつＸＹθ方向にテーブルを円滑に移動できるようにする。 ２つの並進自由度案内部（１３）と、１つの回転自由度案内部（１２）と、前記並進自由度案内部（１３）の１つにはリニアモータとを備えた並進駆動・並進・回転自由度機構モジュール６と、機台部（７）と、指令部（８）と、２次元位置センサ（９）と、補正量算出部（１０）とを備え、少なくとも３つの前記並進駆動・並進・回転自由度機構モジュール６を、テーブル（４）に対して均等配置する。
Abstract translation: 一种对准装置，能够抑制机器高度，即使其尺寸增加并且能够平滑地移动XY中的工作台？ 方向。 对准装置包括平移驱动，平移和旋转自由度机构模块（6），其具有两个平移自由度导向部分（13），旋转自由度引导部分（12）和安装在平移 自由度导向部件（13），机架部件（7），指示部件（8），二维位置传感器（9）和校正量计算部件（10）。 平移驱动，平移和旋转自由度机构模块（6）中的至少三个均匀地设置在工作台（4）上。
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公开(公告)号：WO2004021556A1
公开(公告)日：2004-03-11
申请号：PCT/JP2003/010710
申请日：2003-08-25
IPC: H02P6/18
CPC classification number: H02P6/183 , H02P21/141 , H02P21/18 , H02P21/26 , H02P2203/11 , H02P2207/05
Abstract: 本発明の課題は、信号発生器が必要なく、ゼロ速度からの磁極位置検出が可能な同期電動機の制御装置を提供する。本発明は、同期電動機を電圧形PWMインバータで駆動し、電動機のトルクおよび速度を制御する同期電動機の制御装置において、PWMキャリア信号をUVWの三相においてUV、VW、WUのようなそれぞれの二相間で任意の位相差を持たせる手段(6-3)と、それによって発生する高周波電圧と高周波電流を検出電圧あるいは指令電圧と検出電流から抽出する手段(11)と、抽出された高周波電圧と高周波電流を用いて磁束位置あるいは磁極位置を推定する手段(12)を備えたものである。
Abstract translation: 一种用于同步电动机的控制器，不需要任何信号发生器，并且能够确定以从零开始的转速旋转的电动机的磁极的位置。 一种用于控制由电压PWM逆变器驱动的同步电动机的转矩和转速的控制器，包括用于使PWM载波信号的三相UVW的任何两相UV，VW，WU之间的差异的装置（6-3） ，用于通过检测电压或指令电压和检测电流提取由差产生的高频电压和高频电流的装置（11），以及用于估计磁通量或磁极的位置的装置（11） 通过提取的高频电压和高频电流。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2005085877A1
公开(公告)日：2005-09-15
申请号：PCT/JP2005/003609
申请日：2005-03-03
Applicant: 株式会社オクテック , 東京エレクトロン株式会社 , 奥村 勝弥 , 米沢 俊裕
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R1/06738 , G01R3/00 , Y10T29/5193
Abstract: 高速化に伴って配線構造の微細化、薄膜化が急激に進み、配線層が極めて薄くなってきているため、従来のようにプローブに接触荷重を掛けて検査を行うとプローブが酸化膜のみならず配線層をも貫通し、また、プローブからの集中応力によって配線層や絶縁層を損傷する。逆に接触荷重を低くするとプローブと電極パッドとの導通が不安定になる。 本発明は，低針圧で酸化膜を突き破って被検査体を確実且つ安定的に検査することを目的とする。 本発明は，被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記被検査体と電気的に接触するプローブであって、上記被検査体との接触部が形成されたプローブ本体と、このプローブ本体の接触部から突出する先端部を有する複数の導電性材料と，を備える。
Abstract translation: 由于布线结构的微小化和薄膜变薄由于速度的增加而迅速进行，所以布线层变得非常薄。 因此，如以往那样通过在探头上施加接触负荷而进行检查的情况下，探针不仅穿透氧化膜，而且穿透布线层，并且由于集中的应力而导致布线层和绝缘层受损 探针。 相反，当接触负载减小时，探针和电极焊盘之间的电连续性变得不稳定。 提供探针，通过以低针压穿透氧化膜来可靠且稳定地检查检查对象。 在对检查对象进行电气特性检查时，探针与检查对象电接触。 探针设置有探针主体，由此形成用于接触检查对象的接触部分，以及具有从探针主体的接触部分突出的前缘部分的多个导电材料。
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公开(公告)号：WO2009069440A1
公开(公告)日：2009-06-04
申请号：PCT/JP2008/070111
申请日：2008-11-05
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 米沢 俊裕 , 高瀬 慎一郎
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R31/2887
Abstract: 接触子を支持する支持板と回路基板を備えたプローブカードの上面側には、補強部材が設けられている。補強部材の外周部には、長穴のガイド孔が複数形成されている。ガイド孔内には、保持部材に固定された固定部材と、固定部材の外周に設けられたカラーが設けられている。ガイド孔の長手方向の長さは、カラーの径よりも長く、ガイド孔は、その長手方向の中心線が補強部材の中心を通るように形成されている。ガイド孔によって、補強部材自体の水平方向の膨張が許容される。
Abstract translation: 在探针卡的上表面上设有加强件，该探针卡具有用于支撑触点的支撑板和电路板。 在加强部件的外周部形成有多个长导向孔。 在每个引导孔中，布置有固定在保持部件上的固定部件和布置在固定部件的外周上的套环。 导向孔的长度方向长度大于套环的直径。 引导孔形成为使得纵向的中心线穿过加强构件的中心。 引导孔允许加强构件本身沿水平方向膨胀。
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公开(公告)号：WO2007023851A1
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：PCT/JP2006/316488
申请日：2006-08-23
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 米沢 俊裕 , 塚田 秀一
CPC classification number: G01R31/2891
Abstract: Contact pressure between a wafer and a probe is maintained at an appropriate level. A probe card (2) has a contactor (11) for supporting a probe (10), a printed wiring board (13) electrically connected to the contactor (11), and a reinforcement member (14). On the upper surface side of the probe card (2) is provided a top plate (70) connected to the reinforcement member (14) by a connection member (80). A groove (90) is formed in the upper surface of the top plate (70), and a strain gauge (91) is attached at the groove (90). When a wafer (W) and the probe (10) are in contact with each other, an upward load acts on the probe card (2) by pressure caused by the contact, and the load causes strain in the top plate (70). The amount of the strain in the top plate (70) is measured, and contact pressure between the wafer (W) and the probe (10) is regulated and set based on the amount of the strain.
Abstract translation: 晶片和探头之间的接触压力保持在适当的水平。 探针卡（2）具有用于支撑探针（10）的接触器（11），与接触器（11）电连接的印刷电路板（13）和加强构件（14）。 在探针卡（2）的上表面侧设置有通过连接构件（80）与加强构件（14）连接的顶板（70）。 在顶板（70）的上表面形成有槽（90），在槽（90）上安装有应变片（91）。 当晶片（W）和探针（10）彼此接触时，由于接触引起的压力，向上的负载作用在探针卡（2）上，并且负载引起顶板（70）的应变。 测量顶板（70）中的应变量，并且基于应变量来调节和设定晶片（W）和探针（10）之间的接触压力。
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公开(公告)号：WO2006001476A1
公开(公告)日：2006-01-05
申请号：PCT/JP2005/011937
申请日：2005-06-29
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 雨宮 貴 , 保坂 久富 , 米沢 俊裕 , 塚田 秀一
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/07342 , G01R1/07357 , G01R1/07371
Abstract: 本発明は，プローブカードのコンタクタとプローブ装置内の被検査体との間の平行が崩れた場合であっても，両者を平行状態に調整して信頼性の高い検査を行うことを目的とする。 本発明は，保持体を介してプローブ装置に装着されるプローブカードであって，コンタクタと，このコンタクタと電気的に接続される回路基板と，この回路基板を補強する補強部材と，上記コンタクタと上記プローブ装置内に配置された被検査体との平行度を調整する平行調整機構と，を有する。
Abstract translation: 即使在探针卡的接触器与检测装置中的待检查物体之间的平行度破裂的探针卡也能够通过调整成并行状态进行高度可靠的检查。 一种通过保持器固定到探针装置的探针卡，包括接触器，与接触器电连接的电路板，用于加强电路板的构件，以及用于调节接触器和待检查物体之间的平行度的机构， 探针装置。
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公开(公告)号：WO2009069439A1
公开(公告)日：2009-06-04
申请号：PCT/JP2008/070110
申请日：2008-11-05
Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 米沢 俊裕 , 高瀬 慎一郎
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/44 , G01R1/07307 , G01R1/07378
Abstract: 本発明のプローブカードは、被検査体に接触するプローブを支持する支持板と、回路基板と、支持板の外周部下面を保持する保持部材と、支持板の外周部下面と保持部材との間に配置され、上方に突出して支持板の外周部下面と当接する当接部材とを有している。したがって支持板自体の水平方向への膨張は許容され、被検査体の電気的特性を検査する際に、支持板の温度が上昇して膨張する場合でも、膨張分を水平方向に膨張させることができ、それによって支持板の鉛直方向の歪みを抑制することができる。
Abstract translation: 探针卡设置有用于支撑与被检查对象接触的探针的支撑板; 电路板; 保持构件，用于保持支撑板的外周部的下表面; 并且配置在支撑板的外周部的下表面与保持部件之间的抵接部件向上方突出并与支撑基板的外周部的下表面抵接。 允许支撑板本身在水平方向上的扩展，并且在检查待检查对象的电气特性时，即使在支撑板膨胀的情况下，扩展部分也可以在水平方向上扩大 由于其温度升高，并且可以抑制支撑板在垂直方向上的变形。
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