公开(公告)号：WO2006129547A1

公开(公告)日：2006-12-07

申请号：PCT/JP2006/310446

申请日：2006-05-25

Applicant: 東レエンジニアリング株式会社 ,  新井 義之 ,  晴 孝志

Inventor： 新井 義之 ,  晴 孝志

IPC: H01L21/52

CPC classification number: H01L24/81 ,  H01L21/67144 ,  H01L23/544 ,  H01L24/75 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54473 ,  H01L2223/5448 ,  H01L2224/75 ,  H01L2224/757 ,  H01L2224/81121 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15747 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/00

Abstract: 　凹形状の枠体を逆転した枠体の下部開口に透明な吸着部を取り付けて構成したヘッドの側部開口から先端に２枚のミラーを備えた投影部を送り込む。そして、吸着部に吸着保持されたチップ部品の表面に形成されたアライメントマークとして機能するバンプ電極と、基板の表面に記されたアライメントマークとを投影部に備わった両ミラー映し込む。この両ミラーに映し込まれた両アライメントマークは、ヘッドと分離して側方側に配備されたＣＣＤカメラに投影される。

Abstract translation: 在前端具有两个反射镜的突出部从头部的侧面开口被送出，该头部通过将透明吸引部分附接到具有凹形的反转框架的下部开口而构成。 作为在由吸引部吸引并保持的芯片部件的表面上形成的对准标记的凸起电极和基板表面上的对准标记在设置在突出部上的两个反射镜上被反射。 两个对准标记被投影到布置在侧面上的与头部分离的CCD照相机上。

公开(公告)号：WO2003092053A1

公开(公告)日：2003-11-06

申请号：PCT/JP2003/005120

申请日：2003-04-22

Applicant: 東レエンジニアリング株式会社 ,  山内 朗 ,  寺田 勝美 ,  奈良場 聰 ,  晴 孝志

Inventor： 山内 朗 ,  寺田 勝美 ,  奈良場 聰 ,  晴 孝志

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L24/81 ,  H01L21/67092 ,  H01L24/75 ,  H01L2224/0554 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/056 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/75 ,  H01L2224/75743 ,  H01L2224/81203 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/07811 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/0555 ,  H01L2224/0556

Abstract: A mounting method and a mounting device, the method comprising the steps of, after positioning connected matters relative to each other, moving a movable wall positioned therearound until coming into contact with one connected matter holding means to form a local chamber having a local closed space, closing both connected matters in the chamber, depressurizing the inside of the chamber, moving the connected matter holding means in a direction for reducing the volume of the chamber and moving the movable wall according to the movement, and connecting both connected matters to each other by pressing, whereby, since the connected part and its periphery can be locally and efficiently enclosed separably from surroundings, and the local chamber capable of properly varying the shape of the enclosed space can be formed interlockingly with the connecting operation while maintaining the enclosed state even at the time of connection, a specified mounting can be easily performed by a small device.

Abstract translation: 一种安装方法和安装装置，所述方法包括以下步骤：在连接的物体相对于彼此定位之后，移动位于其周围的可移动壁，直到与一个连接物保持装置接触，以形成具有局部闭合空间 闭合室内的两个连接物体，使室内部减压，使连接物保持装置沿着减小室的体积的方向移动，并根据移动移动可移动壁，并将两个连接物彼此连接 通过按压，由此，由于连接部分及其周边可以与周围环境分离地局部且有效地封闭，并且能够适当地改变封闭空间的形状的局部室可以与连接操作互锁地形成，同时保持封闭状态 在连接时，可以通过小型装置容易地执行指定的安装。