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    SENSOR ZUM ERFASSEN EINER ELEKTROMAGNETISCHEN STRAHLUNG
    1.
    发明申请
    SENSOR ZUM ERFASSEN EINER ELEKTROMAGNETISCHEN STRAHLUNG 审中-公开
    传感器检测到电磁辐射

    公开(公告)号：WO2007054111A1

    公开(公告)日：2007-05-18

    申请号：PCT/EP2005/012056

    申请日：2005-11-10

    Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  VOGT, Holger

    Inventor： VOGT, Holger

    IPC: G01J5/20 ,  H01L51/42

    CPC classification number: H01L27/305 ,  G01J5/20

    Abstract: Ein Sensor zum Erfassen einer elektromagnetischen Strahlung weist eine Sensormembran (100) mit einer Halbleiterschicht (102) aus einem dotierten organischen Halbleitermaterial auf, wobei ein elektrischer Widerstand der Halbleiterschicht (102) abhängig von der einfallenden elektromagnetischen Strahlung (150) ist. Ferner weist der Sensor eine Einrichtung (110) zum Erfassen des Widerstands der Halbleiterschicht (102) auf.

    Abstract translation: 一种用于检测电磁辐射传感器具有掺杂的有机半导体材料，其中，所述半导体层（102）的电阻依赖于入射的电磁辐射（150）的半导体层（102）的传感器膜（100）。 此外，所述传感器包括用于检测所述半导体层（102）的电阻装置（110）。

    ELEKTRISCHE KONTAKTE MINIMALER KONTAKTFLÄCHE FÜR NICHT-FLÜCHTIGE SPEICHERZELLEN
    4.
    发明申请
    ELEKTRISCHE KONTAKTE MINIMALER KONTAKTFLÄCHE FÜR NICHT-FLÜCHTIGE SPEICHERZELLEN 审中-公开
    开关触点最低接口，非易失性存储单元

    公开(公告)号：WO2007093190A1

    公开(公告)日：2007-08-23

    申请号：PCT/EP2006/001415

    申请日：2006-02-16

    Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  VOGT, Holger

    Inventor： VOGT, Holger

    IPC: H01L45/00 ,  H01L21/768

    CPC classification number: H01L21/76885 ,  H01L27/2472 ,  H01L45/06 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/1273 ,  H01L45/144 ,  H01L45/16

    Abstract: Ein Kontaktbereich kann in einer Kontaktebene einer nicht-flüchtigen Speicherzelle mit äußerst geringer Fläche effi-zient und reproduzierbar erzeugt werden, wenn zunächst auf einer Basisschichtebene (252) eine Katalysatorinsel (254) aufgebracht wird und wenn darauffolgend ein Nanoröhrchen (110a, 110b; 256) an der Katalysatorinsel (254) aufgewach-sen wird, welches von der Basisschichtebene hervorsteht, so dass nach Aufbringen eines Schichtmaterials (260) auf die Basisschichtebene (252) das Nanoröhrchen (110a, 110b; 256) bis zur Kontaktebene reicht und dabei innerhalb der Kon-taktebene im Kontaktbereich endet, sodass bei weiterem Auf-bringen eines Speichermaterials (104) dieses im Kontaktbe-reich mit der Basisschichtebene kontaktierbar ist.

    Abstract translation: 当最初在基材层平面（252），催化剂岛（254）被施加，并且当随后的纳米管的接触面积，可以产生在一个非易失性存储单元的接触面更艾菲-古老而可再现地具有非常低的表面（110A，110B; 256） 在催化剂上的岛（254），其定位醒森从基底层平面突出，使得通过在基础层平面（252）的纳米管的涂敷材料（260）层（110A，110B; 256）到接触平面，而桅杆内延伸 -taktebene在接触区域结束，使得在进一步于将可在与基层水平的接触面积接触的存储材料（104）。

    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TESTEN ODER KALIBRIEREN EINES GEHÄUSTEN DRUCKSENSORS
    6.
    发明申请
    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TESTEN ODER KALIBRIEREN EINES GEHÄUSTEN DRUCKSENSORS 审中-公开
    方法和设备用于测试或校准封装的压力传感器

    公开(公告)号：WO2006128475A1

    公开(公告)日：2006-12-07

    申请号：PCT/EP2005/005729

    申请日：2005-05-27

    Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  ZIMMER, Günter ,  SLOTKOWSKI, Johann ,  VOGT, Holger

    Inventor： ZIMMER, Günter ,  SLOTKOWSKI, Johann ,  VOGT, Holger

    IPC: G01L27/00

    CPC classification number: G01L27/005

    Abstract: Verfahren und Vorrichtung zum Testen oder Kalibrieren eines gehäusten Drucksensors Zusammenfassung Eine Vorrichtung zum Testen oder Kalibrieren eines gehäusten Drucksensors (22) mit einem druckempfindlichen Bereich und einem Ausgangssignalanschluss, die einen höheren Durchsatz ermöglicht, umfasst eine Teststation (24), einen Testkontakt, einen Greifer (20) zum Aufnehmen des gehäusten Drucksensors (22) und Setzen desselben auf die Teststation (24), derart, dass nach dem Setzen der Ausgangssignalanschluss mit dem Testkontakt elektrisch verbunden ist, wobei der Greifer (20) und die Teststation (24) derart ausgebildet sind, dass nach dem Setzen der Greifer (20) und die Teststation (24) einen Hohlraum (66) definieren, der zumindest an den druckempfindlichen Bereich des gehäusten Drucksensors (22) angrenzt, eine Druckerzeugungseinrichtung (14, 16) zum Erzeugen eines vorbestimmten Drucks in dem Hohlraum (66) und eine Verarbeitungseinrichtung (12), die mit dem Testkontakt elektrisch verbunden ist, zum Empfangen und Verarbeiten eines Sensorausgangssignals von dem gehäusten Drucksensor (22).

    Abstract translation: 用于测试或校准的封装压力传感器的概要测试的设备或校准具有压力敏感部分和输出信号端子，其使得更高的吞吐量，一个封装的压力传感器（22）的方法和装置包括测试台（24），测试接触，一个夹持器（ 20）（用于接收封装的压力传感器22），并将其设置到测试台（24），使得被设定的输出端子到测试接触后电连接，夹持器（20）和测试台（24）被形成为使得 该夹持器（20）和测试台（24）相邻的至少向封装的压力传感器（22）的压力敏感区域的设定之后限定的空腔（66），压力发生装置（14,16），用于产生在预定的压力 所述空腔（66）和处理装置（12）与测试触点电动词 为原因，用于从所述封装的压力传感器（22）接收和处理传感器的输出信号。

    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VORRICHTUNG MIT MIKRO- ODER NANOSTRUKTUREN
    8.
    发明申请
    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VORRICHTUNG MIT MIKRO- ODER NANOSTRUKTUREN 审中-公开
    装置和方法用于生产具有微米或纳米结构A DEVICE

    公开(公告)号：WO2016005464A1

    公开(公告)日：2016-01-14

    申请号：PCT/EP2015/065629

    申请日：2015-07-08

    Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

    Inventor： GOEHLICH, Andreas ,  JUPE, Andreas ,  VOGT, Holger

    IPC: H01L21/768 ,  H01L23/482 ,  H01L21/3205 ,  H01L23/525 ,  H01L23/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

    CPC classification number: B81C1/00619 ,  B81B7/0003 ,  B81B2201/0207 ,  B81B2201/0214 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/0019 ,  B81C2201/0187 ,  H01L23/4821 ,  H01L23/5256

    Abstract: Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit Bereitstellen eines Substrats mit einer Elektrode beschrieben, die an einer Hauptseite des Substrats freiliegt. Ferner umfasst das Verfahren das Bilden einer Mikro- oder Nanostruktur, die einen Abstandshalter aufweist, der auf der Elektrode fußt, wobei das Bilden folgende Schritte aufweist: Abscheiden einer Opferschicht auf der Hauptseite, wobei die Opferschicht amorphes Silizium (a-Si) oder Siliziumdioxid (SiO 2 ) enthält; Strukturieren eines Loches und/oder Grabens in die Opferschicht mittels eines DRiE-Prozesses; Beschichten der Opferschicht mittels ALD oder MOCVD, so dass sich Material der Nano- oder Mikrostruktur an dem Loch und/oder Graben bildet sowie Entfernen der Opferschicht.

    Abstract translation: 它是用一个电极，用于制造装置具有提供在所述基板的一个主面露出的衬底的方法进行说明。 此外，该方法包括形成微结构或纳米结构，其中有一个隔离件，它是基于在电极上，其中，所述形成步骤包括：在主侧上，其中所述牺牲层是无定形硅（a-Si）或氧化硅（沉积牺牲层 二氧化硅）包含; 图案化在使用DRIE工艺的牺牲层中的孔和/或沟槽; 涂覆使用ALD或MOCVD，以形成在孔和/或沟槽中的纳米或微米结构的材料的牺牲层以及去除牺牲层。

    BOLOMETER UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES BOLOMETERS
    9.
    发明申请
    BOLOMETER UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES BOLOMETERS 审中-公开
    测辐射热计和制造方法测辐射热计

    公开(公告)号：WO2008028512A1

    公开(公告)日：2008-03-13

    申请号：PCT/EP2006/008790

    申请日：2006-09-08

    Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  VOGT, Holger ,  RUSS, Marco

    Inventor： VOGT, Holger ,  RUSS, Marco

    IPC: G01J5/20 ,  H01L27/146

    CPC classification number: H01L27/14669 ,  G01J5/06 ,  G01J5/20

    Abstract: Ein Bolometer umfasst eine Membran, einen ersten Abstandshalter und einen zweiten Abstandshalter, wobei die Membran eine Widerstandsschicht und eine Kontaktschicht umfasst. Die Kontaktschicht weist an einer einem Untergrund zugewandten Seite einen ersten Kontaktbereich auf, an dem der erste Abstandshalter die Kontaktschicht elektrisch kontaktiert, und einen zweiten Kontaktbereich auf, an dem der zweite Abstandshalter die Kontaktschicht elektrisch kontaktiert. Dadurch wird die Membran in einem vorbestimmten Abstand zu dem Untergrund gehalten. Die Kontaktschicht ist lateral durch einen Spalt unterbrochen, so dass sich die Kontaktschicht zumindest in zwei Teile gliedert, von denen der erste Teil den ersten Kontaktbereich und der zweite Teil den zweiten Kontaktbereich aufweist und innerhalb der Kontaktschicht keine direkte Verbindung von dem ersten Kontaktbereich und dem zweiten Kontaktbereich existiert, und wobei sich die Widerstandsschicht in Kontakt zu dem ersten Teil der Kontaktschicht und zu dem zweiten Teil der Kontaktschicht befindet.

    Abstract translation: 辐射热测量计，其包括膜，第一间隔物和第二间隔物，其中所述膜包括电阻层和接触层。 所述接触层具有在面向衬底的第一接触区域，向其中所述第一间隔物的接触层电接触的一侧，和第二接触区域，在其上与接触层，第二间隔件接触电。 由此，将膜保持在到地面预定距离。 接触层被横向由间隙中断，使得接触层至少划分为两个部分，其中第一部分具有第一接触区域和第二接触区域的第二部分并且存在从所述第一接触区域中的接触层内没有直接的连接和第二 接触区域存在，并且其中，所述电阻层是在与接触层的第一部分接触，并在接触层的第二部分。

    B0L0METER MIT ORGANISCHER HALBLEITERSCHICHTANORDNUNG
    10.
    发明申请
    B0L0METER MIT ORGANISCHER HALBLEITERSCHICHTANORDNUNG 审中-公开
    与有机半导体层排列B0L0METER

    公开(公告)号：WO2007104328A1

    公开(公告)日：2007-09-20

    申请号：PCT/EP2006/002326

    申请日：2006-03-14

    Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  VOGT, Holger

    Inventor： VOGT, Holger

    IPC: G01J5/20 ,  H01L51/42

    CPC classification number: H01L27/305 ,  G01J5/20 ,  H01L51/002

    Abstract: Der Grundgedanke der vorliegenden Erfindung sind Bolometer, die eine organische Halbleiterdiodenschichtanordnung (180, 190) zur Messung der Temperatur benutzen. Diese Bolometer sind insbesondere sensitiv für den Infrarotwellenbereich, so dass sie als Infrarotsensor einsetzbar sind, und sich zu dimensionalen Sensorzeilen oder zu 2-dimensionalen Mikrobolometer-Arrays kombinieren lassen.

    Abstract translation: 本发明的基本思想是辐射热测量计包括有机半导体二极管层组件（180，190）的使用，以测量温度。 这些辐射热测量计是至红外波长范围内的特别敏感的，因此它们可被用作红外传感器，并且可以被组合以二维传感器线或二维微辐射阵列。

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