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    DYNAMIC ILLUMINATION IN OPTICAL INSPECTION SYSTEMS
    1.
    发明申请
    DYNAMIC ILLUMINATION IN OPTICAL INSPECTION SYSTEMS 审中-公开
    光学检测系统的动态照明

    公开(公告)号：WO2009156981A1

    公开(公告)日：2009-12-30

    申请号：PCT/IL2009/000572

    申请日：2009-06-09

    Applicant: APPLIED MATERIALS SOUTH EAST ASIA PTE. LTD. ,  SILBERSTEIN, Shai ,  AVNI, Tsafrir

    Inventor： SILBERSTEIN, Shai ,  AVNI, Tsafrir

    IPC: G01N21/95

    CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N21/95607 ,  G01N21/95623 ,  G01N2021/8825 ,  G01N2201/067 ,  G01N2201/0675 ,  G01N2201/0697 ,  G01N2201/1241

    Abstract: An optical inspection system or tool can be configured to inspect objects using dynamic illumination where one or more characteristics of the illumination is/are adjusted to meet the inspection needs of different areas. For example, the illumination intensity may be increased or decreased as the tool inspects areas of memory and periphery features in a wafer die. In some embodiments, the adjustment can be based on data obtained during a pre-inspection setup sequence in which images taken based on illumination with varying characteristics are evaluated for suitability in the remainder of the inspection process.

    Abstract translation: 光学检查系统或工具可以被配置为使用动态照明来检查物体，其中调整照明的一个或多个特征以满足不同区域的检查需要。 例如，当工具检查晶片管芯中的存储器区域和外围特征时，可以增加或减小照明强度。 在一些实施例中，调整可以基于在预检查设置顺序期间获得的数据，其中基于具有变化特性的照明拍摄的图像被评估为在检查过程的其余部分中的适用性。

    INSPECTION SYSTEMS AND METHODS FOR EXTENDING THE DETECTION RANGE OF AN INSPECTION SYSTEM BY FORCING THE PHOTODETECTOR INTO THE NON-LINEAR RANGE
    2.
    发明申请
    INSPECTION SYSTEMS AND METHODS FOR EXTENDING THE DETECTION RANGE OF AN INSPECTION SYSTEM BY FORCING THE PHOTODETECTOR INTO THE NON-LINEAR RANGE 审中-公开
    检查系统和方法，用于通过将光电转换成非线性范围来扩展检测系统的检测范围

    公开(公告)号：WO2008144318A1

    公开(公告)日：2008-11-27

    申请号：PCT/US2008/063541

    申请日：2008-05-13

    Applicant: KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION ,  CAI, Zhongping ,  SLOBODOV, Alexander ,  ROMANOVSKY, Anatoly ,  WOLTERS, Christian, H.

    Inventor： CAI, Zhongping ,  SLOBODOV, Alexander ,  ROMANOVSKY, Anatoly ,  WOLTERS, Christian, H.

    IPC: G01N21/95 ,  H01J43/18

    CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8851 ,  G01N2201/1241 ,  G01N2201/12769 ,  H01J43/18 ,  H01J43/30

    Abstract: An inspection system and method is provided herein for increasing the detection range of the inspection system. According to one embodiment, the inspection system may include a photodetector having a plurality of stages, which are adapted to convert light scattered from a specimen into an output signal, and a voltage divider network coupled for extending the detection range of the photodetector (and thus, the detection range of the inspection system) by saturating at least one of the stages. This forces the photodetector to operate in a non-linear manner. However, measurement inaccuracies are avoided by calibrating the photodetector output to remove any non-linear effects that may be created by intentionally saturating the at least one of the stages. In one example, a table of values may be generated during a calibration phase to convert the photodetector output into an actual amount of scattered light.

    Abstract translation: 本文提供了一种用于增加检查系统的检测范围的检查系统和方法。 根据一个实施例，检查系统可以包括具有多个级的光电检测器，其适于将从样本散射的光转换成输出信号，以及耦合的用于扩展光电检测器的检测范围的分压器网络 ，检查系统的检测范围）通过饱和至少一个级。 这迫使光电探测器以非线性方式工作。 然而，通过校准光电检测器输出以消除可能通过故意饱和至少一个级而产生的任何非线性效应来避免测量不准确。 在一个示例中，可以在校准阶段期间生成值表，以将光电检测器输出转换成实际的散射光量。

    MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN
    3.
    发明申请
    MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN 审中-公开
    测量装置及测量方法

    公开(公告)号：WO2014170017A1

    公开(公告)日：2014-10-23

    申请号：PCT/EP2014/001010

    申请日：2014-04-15

    Applicant: DRÄGER SAFETY AG & CO. KGAA

    Inventor： HANSMANN, Hans-Ullrich ,  ROSTALSKI, Philipp ,  MOHRMANN, Andreas

    IPC: G01N21/78 ,  G01N21/27

    CPC classification number: G01N33/0073 ,  G01N21/272 ,  G01N21/783 ,  G01N33/0013 ,  G01N2201/1241

    Abstract: Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (10) und ein entsprechendes Messverfahren zur Messung einer Konzentration von gas- und/oder aerosolförmigen Komponenten eines Gasgemisches für einen Reaktionsträger (14) mit einem Strömungskanal (42), der eine Reaktionskammer (46) mit einem Reaktionsstoff (48) bildet, welcher ausgebildet ist, um mit zumindest einer zu messenden Komponente des Gasgemisches oder einem Reaktionsprodukt der zu messenden Komponente eine optisch detektierbare Reaktion einzugehen. Messvorrichtung (12) umfasst eine Detektionsbaugruppe (3) und eine Gasförderbaugruppe (2), wobei die Detektionsbaugruppe (3) eine Beleuchtungseinrichtung (37) zur Beleuchtung der Reaktionskammer (46) des Reaktionsträgers (14), einen optischen Sensor (38) zur Erfassung der optisch detektierbaren Reaktion, und eine Auswertungseinheit (4) zu Auswertung der vom optischen Sensor (38) erfassten Daten der optisch detektierbaren Reaktion und Bestimmung einer Konzentration der Komponente des Gasgemisches aufweist, und die Gasförderbaugruppe (2) eine Gasfördereinrichtung (28) zur Förderung des Gasgemisches durch den Gasabflusskanal (18) und eine Steuerungs-/Reglungseinheit (31) aufweist, welche ausgebildet ist, um einen Durchfluss des Gasgemischs durch den Strömungskanal (42) in Abhängigkeit zumindest eines Reaktionsgeschwindigkeitsparameters zu steuern oder zu regeln.

    Abstract translation: 本发明涉及一种测量装置（10）以及用于测量气体混合物的气体和/或气溶胶状成分的浓度为反应载体（14），其具有流路（42）（反应室（46）与反应物48中的相应的测量方法 ）的形式，其被设计成向至少一个部件响应该气体混合物的被测量或所述组分的反应产物将被测量到的光学可检测的反应。 用于检测照明反应载体的反应室（46）（14），光学传感器（38），测量装置（12）包括一个检测组件（3）和一个气体输送组件（2），其中所述检测组件（3）的照明装置（37） 光学可检测的反应，以及评估单元（4），用于（38）的光传感器的评价检测出的光学上可检测的反应的数据，和确定具有用于输送气体混合物中的气体混合物的组分和气体输送器组件（2）的气体输送装置（28）的浓度 通过气体流出通道（18），并且适于响应于控制通过所述流动通道（42）的气体混合物的流，以至少一个反应速率参数或控制的控制/调节单元（31）。

    DISPOSITIF ET PROCEDE DE MESURE ELECTRO OPTIQUE DESTINES A LA CLASSIFICATION ET AU COMPTAGE D'ELEMENTS MICROSCOPIQUES
    4.
    发明申请
    DISPOSITIF ET PROCEDE DE MESURE ELECTRO OPTIQUE DESTINES A LA CLASSIFICATION ET AU COMPTAGE D'ELEMENTS MICROSCOPIQUES 审中-公开
    电子测量装置和方法，用于分类和计数微结构元件

    公开(公告)号：WO2010004173A1

    公开(公告)日：2010-01-14

    申请号：PCT/FR2009/051216

    申请日：2009-06-25

    Applicant: HORIBA ABX SAS ,  MERCHEZ, Benoît ,  BRUNEL, Patrick ,  NERIN, Philippe

    Inventor： MERCHEZ, Benoît ,  BRUNEL, Patrick ,  NERIN, Philippe

    IPC: G01N15/14 ,  G01N15/12

    CPC classification number: G01N15/1434 ,  G01N2015/0073 ,  G01N2015/0076 ,  G01N2015/008 ,  G01N2015/0084 ,  G01N2015/1037 ,  G01N2201/1241

    Abstract: L'invention concerne un dispositif d'analyse biologique (100) par mesure de photoluminescence dans un fluide présent dans une cuve de mesure (111). Ce dispositif (100) comprend au moins deux sources lumineuses (121,131) aptes à émettre dans des zones spectrales différentes convenant pour la réalisation de mesures, respectivement, d'absorption et de fluorescence, et un dispositif de détection (140), comprenant un détecteur (141), un système optique (142) et des moyens de filtrages (144), ces trois derniers éléments étant mutualisés, selon l'invention, pour permettre la mesure des signaux d'absorption et/ou de fluorescence. Selon l'invention, le détecteur (141) est en outre configurable en gain interne afin de permettre de réaliser les mesures de fluorescence et les mesures d'absorption de manière séquentielle.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量存在于测量单元（111）中的流体中的光致发光的生物分析装置（100）。 该装置（100）包括能够分别适于进行吸收和荧光测量的能够在不同光谱范围内发射的至少两个光源（121,131），以及检测装置（140），包括检测器（141），光学 系统（142）和过滤装置（144），根据本发明，这三个后续组件被相互设计，以允许测量吸收和/或荧光信号。 根据本发明，检测器（141）也可以处于内部增益配置，以便顺序执行荧光测量和吸收测量。

    MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN
    5.
    发明申请
    MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN 审中-公开
    测量装置及测量方法

    公开(公告)号：WO2014170016A1

    公开(公告)日：2014-10-23

    申请号：PCT/EP2014/001009

    申请日：2014-04-15

    Applicant: DRÄGER SAFETY AG & CO. KGAA

    Inventor： ROSTALSKI, Philipp ,  HANSMANN, Hans-Ullrich ,  MOHRMANN, Andreas ,  TRÖLLSCH, Arne ,  HILTAWSKY, Karsten

    IPC: G01N21/78 ,  G01N21/27

    CPC classification number: G01N21/783 ,  G01N21/272 ,  G01N31/223 ,  G01N33/0013 ,  G01N33/0031 ,  G01N33/0073 ,  G01N2201/1241 ,  G01N2201/1242 ,  G01N2201/1248

    Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf eine Messvorrichtung (10) sowie ein entsprechendes Messverfahren zur Messung einer Konzentration von gas- und/oder aerosolförmigen Komponenten eines Gasgemisches für einen Reaktionsträger (14), mit einem Strömungskanal (42), der eine Reaktionskammer (46) mit einem Reaktionsstoff (48) bildet, welcher ausgebildet ist, um mit zumindest einer zu messenden Komponente des Gasgemisches oder einem Reaktionsprodukt der zu messenden Komponente eine optisch detektierbare Reaktion einzugehen. Die Messvorrichtung (12) umfasst eine Gasförderbaugruppe (2) mit einer Gasfördereinrichtung (28) zur Förderung des Gasgemisches durch den Gasabflusskanal (18), und eine Detektionsbaugruppe (3) mit einer Beleuchtungseinrichtung (37) zur Beleuchtung der Reaktionskammer (46) des Reaktionsträgers (14), einem optischen Sensor (38) zur Erfassung der optisch detektierbaren Reaktion, und eine Auswertungseinheit (4) zu Auswertung der vom optischen Sensor erfassten Daten der optisch detektierbaren Reaktion und Bestimmung einer Konzentration der Komponente des Gasgemisches. Die Detektionsbaugruppe (3) ist ausgebildet, um eine Geschwindigkeit einer sich in Strömungsrichtung in der Reaktionskammer (46) ausbreitenden Reaktionsfront (6) zu erfassen und aus der Geschwindigkeit der Reaktionsfront (6) eine vorläufige Konzentration zu bestimmen.

    Abstract translation: 本发明涉及一种测量装置（10）和用于测量一个反应载体（14）的气体混合物的气体和/或气溶胶状成分的浓度，用具有反应室（46）的流动通道（42）的相应的测量方法具有 其被设计成向至少一个部件响应反应物（48）的气体混合物的被测量或所述组分的反应产物将被测量到的光学可检测的反应。 的测量装置（12）包括具有气体通过气体流出通道（18）输送所述气体混合物输送装置（28）用于照亮所述反应载体的反应室（46）的气体输送组件（2），并与照明装置（37）的检测组件（3）（ 14），用于检测所述光学可检测反应的光学传感器（38），以及评估单元从所述光学可检测的反应的光传感器数据的检测，并且确定所述气体混合物的成分的浓度的（4）的评价。 所述检测组件（3）被适配成检测的速度在反应室（46）传播的反应前的流动方向（6）和从反应前（6），一个初步浓度的速度来确定。

    SYSTEM AND METHODS FOR DYNAMIC RANGE EXTENSION USING VARIABLE LENGTH INTEGRATION TIME SAMPLING
    6.
    发明申请
    SYSTEM AND METHODS FOR DYNAMIC RANGE EXTENSION USING VARIABLE LENGTH INTEGRATION TIME SAMPLING 审中-公开
    使用可变长度积分时间采样的动态范围扩展的系统和方法

    公开(公告)号：WO2004036196A1

    公开(公告)日：2004-04-29

    申请号：PCT/US2003/032081

    申请日：2003-10-08

    Applicant: APPLERA CORPORATION

    Inventor： SAGATELYAN, Dmitry, M. ,  SLETTNES, Tor

    IPC: G01N21/64

    CPC classification number: G01N21/274 ,  G01J1/42 ,  G01N21/645 ,  G01N2201/1241 ,  H03F3/08 ,  H04N5/235 ,  H04N5/2353 ,  H04N5/2355 ,  H04N5/243 ,  H04N5/35581

    Abstract: A photo-detector 122 generated signal 125 is measured as a sample set 192 comprising a long signal and a short signal. The short signal is scaled to the value of the long signal if the long signal exceeds a dynamic range 131 associated with the photo detector 122. In one embodiment, the short signal is obtained during a short time interval that is at the approximate middle of a long time interval such that the short and long intervals share a common median time value 194. Given such symmetry, an approximately linear signal 190 yields a proportionality parameter between the long and short signals thereby allowing the short signal to be scaled. The proportionality parameter facilitates determination of an integration independent component of the photo detector signal that should be removed from the measured long and short signals before scaling. A plurality of sample sets 260 can also be processed such that each sample set overlaps with its neighboring sample set, thereby increasing the effective number of sample sets.

    Abstract translation: 光检测器122产生的信号125被测量为包括长信号和短信号的采样组192。 如果长信号超过与光电检测器122相关联的动态范围131，则短信号被缩放到长信号的值。在一个实施例中，在短时间间隔内获得短信号，该短信号在大约中间 长时间间隔使得短和长间隔共享公共中值时间值194.给定这样的对称性，近似线性信号190在长信号和短信号之间产生比例参数，从而允许缩短短信号。 比例参数有助于确定光电探测器信号的积分独立分量，该分量在缩放之前应从测量的长信号和短信号中去除。 还可以处理多个样本集合260，使得每个样本集合与其相邻样本集重叠，从而增加样本集合的有效数量。

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