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    複合荷電粒子線装置
    1.
    发明申请
    複合荷電粒子線装置 审中-公开
    复合充电颗粒光束装置

    公开(公告)号：WO2016125844A1

    公开(公告)日：2016-08-11

    申请号：PCT/JP2016/053305

    申请日：2016-02-04

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 今井　悠太 ,  森下　英郎 ,  揚村　寿英

    IPC: H01J37/317 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/145 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/244 ,  H01J2237/2801

    Abstract: 複合荷電粒子線装置は、第１の荷電粒子ビームカラム（６）と、減速光学系を備え、カラム内に検出器（３）を備える第２の荷電粒子ビームカラム（１）と、試料（９）を搭載する試料台（１０）と、前記第１の荷電粒子ビームカラムの先端部の周辺に設けられた電界補正電極（１３）とを備え、前記電界補正電極は、前記試料の近傍に形成される電界分布を補正する電極であり、前記電界補正電極は、前記試料と前記第１の荷電粒子ビームカラムとの間で、かつ、前記第１の荷電粒子ビームカラムの光軸に対して前記第二の荷電粒子ビームカラムの反対側に位置する。

    Abstract translation: 该复合带电粒子束装置包括第一带电粒子束柱（6），装备有减速系统的第二带电粒子束（1），并且在柱内装有检测器（3），试件 设置有试验片（9）的载物台（10），以及设置在第一带电粒子束柱的前端的电场校正电极（13），其中，电场校正电极是校正 电场分布形成在测试片附近，电场校正电极位于测试片和第一带电粒子束柱之间，并且与第二带电粒子束相对于光轴的相对侧 的第一带电粒子束柱。

    スピン回転装置
    2.
    发明申请
    スピン回転装置 审中-公开
    旋转装置

    公开(公告)号：WO2012173007A1

    公开(公告)日：2012-12-20

    申请号：PCT/JP2012/064362

    申请日：2012-06-04

    Applicant: サンユー電子株式会社 ,  安江 常夫 ,  越川 孝範 ,  津野 勝重

    Inventor： 安江　常夫 ,  越川　孝範 ,  津野　勝重

    IPC: H01J37/05 ,  H01J37/153

    CPC classification number: H01J1/50 ,  H01J3/22 ,  H01J37/145 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/041 ,  H01J2237/1505

    Abstract: 　本発明は、電子銃あるいは試料から放出あるいは反射されたスピン偏極した電子線を任意の方向に回転させるスピン偏極装置に関し、簡略な構造にして照射系全体をコンパクトにすることを目的とする。　電子銃から放出、あるいは試料から放出または反射されたスピン偏極した電子線をフォーカスさせる第１のコンデンサレンズと、第１のコンデンサレンズで電子線がフォーカスされた点がレンズ中心であって、かつ電場および磁場を発生可能な多極子を有するスピン回転器と、スピン回転器を構成する多極子に、指定された角度だけ電子線のスピンを回転させかつ電子線を直進させるウィーン条件を満たす電圧および電流を印加するウィーン条件発生手段と、スピン回転器でスピンの回転された電子線をフォーカスする第２のコンデンサレンズとを備える。

    Abstract translation: 本发明涉及一种自旋极化装置，其使得已经从电子枪发射或已经从材料发射或反射的自旋极化电子束在任何方向上旋转，目的是提供简单的结构，并且 使整个辐射系统变得紧凑。 自旋旋转装置配备有：第一聚光透镜，其聚焦已经从电子枪发射或已经从材料发射或反射的自旋极化电子束; 旋转旋转器，电子束被第一聚光透镜聚焦的点是透镜的中心，并且具有能够产生电场和磁场的多极; Wien条件产生装置适用于形成旋转旋转器的多极，其电压和电流满足Wien条件，由此电子束的旋转精确旋转指定角度并且电子束直接向前移动; 以及第二聚光透镜，其聚焦其旋转已被旋转旋转器旋转的电子束。

    荷電粒子顕微鏡
    3.
    发明申请
    荷電粒子顕微鏡 审中-公开
    充电颗粒显微镜

    公开(公告)号：WO2011016182A1

    公开(公告)日：2011-02-10

    申请号：PCT/JP2010/004532

    申请日：2010-07-13

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  高橋範次 ,  福田宗行 ,  矢野学 ,  木附洋彦 ,  浅尾一成 ,  猩々智康

    Inventor： 高橋範次 ,  福田宗行 ,  矢野学 ,  木附洋彦 ,  浅尾一成 ,  猩々智康

    IPC: H01J37/04 ,  H01J37/145 ,  H01J37/21

    CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/10 ,  H01J37/145 ,  H01J37/21 ,  H01J2237/2817

    Abstract: 本発明の荷電粒子線装置は、アライナコイル（２９）の制御値が、電磁界重畳レンズである対物レンズ（３０、３１）の制御値でのコイル電流と電極印加電圧と、イメージシフトコイル（２７、２８）の制御値と、荷電粒子線の加速電圧とにより決定されることを特徴とする。これにより、帯電領域と非帯電領域の境界などで表示画像に発生する像障害を回避し、明るさむらのない鮮明な画像を取得する荷電粒子線装置を提供することが可能になった。

    Abstract translation: 带电粒子束装置的特征在于具有对准线圈（29）的控制值，该控制值通过以下方式确定：线圈电流和在物镜（30,31）的控制值处的电极施加电压，其为电磁 场叠加透镜; 图像转换线圈（27,28）的控制值; 和带电粒子束的加速电压。 通过这样做，可以避免在充电区域和非充电区域之间的边界处显示图像上出现的图像干扰，并且提供获得清晰图像而没有任何亮度不均匀的带电粒子束装置。

    CHARGED PARTICLE INSPECTION METHOD AND CHARGED PARTICLE SYSTEM
    4.
    发明申请
    CHARGED PARTICLE INSPECTION METHOD AND CHARGED PARTICLE SYSTEM 审中-公开
    充电颗粒检查方法和充电颗粒系统

    公开(公告)号：WO2007028596A1

    公开(公告)日：2007-03-15

    申请号：PCT/EP2006/008694

    申请日：2006-09-06

    Applicant: CARL ZEISS SMT AG ,  APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD. ,  KEMEN, Thomas ,  KNIPPELMEYER, Rainer ,  SCHUBERT, Stefan

    Inventor： KEMEN, Thomas ,  KNIPPELMEYER, Rainer ,  SCHUBERT, Stefan

    IPC: H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26

    CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/045 ,  H01J37/09 ,  H01J37/145 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/04922 ,  H01J2237/04924 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2561 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31774

    Abstract: The present invention relates to a charged particle system comprising: a charged particle source; a first multi aperture plate; a second multi aperture plate disposed downstream of the first multi aperture plate, a controller configured to selectively apply at least first and second voltage differences between the first and second multi aperture plates, wherein the charged particle source and the first and second multi aperture plates are arranged such that each of a plurality of charged particle beamlets traverses an aperture pair, said aperture pair comprising one aperture of the first multi aperture plate and one aperture of the second multi aperture plate, wherein plural aperture pairs are arranged such that a center of the aperture of the first multi aperture plate is, when seen in a direction of incidence of the charged particle beamlet traversing the aperture of the first multi aperture plate, displaced relative to a center of the aperture of the second multi aperture plate. The invention further pertains to a a particle-optical component configured to change a divergence of a set of charged particle beamlets and a charged particle inspection method comprising inspection of an object using different numbers of charged particle beamlets.

    Abstract translation: 带电粒子系统本发明涉及带电粒子系统，包括：带电粒子源; 第一个多孔板; 设置在第一多孔板的下游的第二多孔板，配置成选择性地施加第一和第二多孔板之间的至少第一和第二电压差的控制器，其中带电粒子源和第一和第二多孔板是 被布置为使得多个带电粒子子束中的每一个穿过孔径对，所述孔径对包括第一多孔板的一个孔和第二多孔板的一个孔，其中多个孔径对布置成使得 当从穿过第一多孔板的孔的带电粒子束的入射方向看时，第一多孔板的孔径相对于第二多孔板的孔的中心位移。 本发明还涉及一种构造成改变一组带电粒子子束的发散的粒子 - 光学部件和包括使用不同数量的带电粒子子束对物体进行检查的带电粒子检查方法。

    OBJECTIVE LENS ARRANGEMENT FOR USE IN A CHARGED PARTICLE BEAM COLUMN
    5.
    发明申请
    OBJECTIVE LENS ARRANGEMENT FOR USE IN A CHARGED PARTICLE BEAM COLUMN 审中-公开
    用于带电粒子束柱的目标透镜布置

    公开(公告)号：WO2004097890A2

    公开(公告)日：2004-11-11

    申请号：PCT/US2004/012468

    申请日：2004-04-22

    Applicant: APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. ,  APPLIED MATERIALS, INC. ,  PETROV, Igor

    Inventor： PETROV, Igor

    IPC: H01J37/00

    CPC classification number: H01J37/145 ,  H01J37/28

    Abstract: An objective lens arrangement is presented for mounting in a charged particle beam column adjacent to an anode tube that defines a beam drift space for a charged particle beam propagating towards a sample. The lens arrangement comprises a magnetic lens and an electrostatic lens, wherein the eletrostatic lens includes upper and lower electrodes arranged in a spaced-apart coaxial relationship along an optical axis of the lens arrangement.

    Abstract translation: 提出了一种用于安装在与阳极管相邻的带电粒子束柱中的物镜布置，该阳极管限定了朝向样本传播的带电粒子束的束漂移空间。 该透镜装置包括一个磁透镜和一个静电透镜，其中该静电透镜包括上下电极，该上电极和下电极沿着该透镜装置的光轴以间隔开的同轴关系布置。

    LINSENANORDNUNG MIT LATERAL VERSCHIEBBARER OPTISCHER ACHSE FÜR TEILCHENSTRAHLEN
    6.
    发明申请
    LINSENANORDNUNG MIT LATERAL VERSCHIEBBARER OPTISCHER ACHSE FÜR TEILCHENSTRAHLEN 审中-公开
    具有横向滑动粒子光轴方向的镜头组件

    公开(公告)号：WO2003052790A2

    公开(公告)日：2003-06-26

    申请号：PCT/DE2002/004327

    申请日：2002-11-26

    Applicant: CEOS CORRECTED ELECTRON OPTICAL SYSTEMS GMBH ,  LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH ,  UHLEMANN, Stephan ,  HAIDER, Maximilan ,  MÜLLER, Heiko

    Inventor： UHLEMANN, Stephan ,  HAIDER, Maximilan ,  MÜLLER, Heiko

    IPC: H01J37/145

    CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/145 ,  H01J2237/3175

    Abstract: Beschrieben wird eine Linsenanordnung mit lateral verschiebbarer optischer Achse für Teilchenstrahlen, insbesondere zur Übertragung von Bereichen einer Gegenstandsebene in die Bildebene mittels Elektronen, mit einer kombinierten Linse, welche aus einer Zylinderlinse und einer Quadrupollinse besteht, die mit elektrischen und/oder magnetischen Feldern beaufschlagbare Schlitzblenden aufweisen. Dabei ist die optische Achse der Quadrupollinse parallel zur Achse der Zylinderlinse orientiert und definiert die optische Achse der Abbildung, wobei deren Position relativ zur Achse der Zylinderlinse änderbar ist. Die Fokussierung der Quadrupollinse erfolgt in dem Schnitt, in welchem die Zylinderlinse ohne Fokussierung ist, und die Defokussierung der Quadrupollinse in dem Schnitt, in welchem die Zylinderlinse fokussiert. Erfindungsgemäss ist vorgesehen, dass die kombinierte Linse als Immersionslinse zur Abbildung von Sekundärelektronen betreibbar ist, das Immersionsfeld in axialer Richtung aus wenigstens zwei aneinunder angrenzenden Feldern besteht, wobei das erste Feld zwischen Objekt und erster Schlitzblende, das zweite Feld zwischen erster und zweiter Schlitzblende anliegt und beide Felder unabhängig von einander einstellbar sind. Gemäss Vorschlag wird weiterhin die Potentialdifferenz zwischen Objekt und erster Blende relativ zu der zwischen erster und zweiter Blende vergleichsweise klein und der Potentialverlauf zwischen Objekt und erster Blende näherungsweise linear vorgegeben. Die fokussierende/defokussierende Wirkung der kombinierten Linse ergibt sich aus der Überlagerung des Immersionsfeldes, des Zylinderlinsenfeldes und des Quadrupolfeldes. Eine Variante der vorgeschlagenen Linsenanordnung ist zum Einsatz als Kathodenlinse für eine Photokathode mit mehreren gleichartigen, nebeneinanderliegenden Emissionsbereichen vorgesehen.

    Abstract translation: 本发明公开了具有透镜组件，用于粒子束一个可横向移动的光轴，特别是用于传输的物面的区域由电子装置到图像平面中，具有组合的透镜，它由一个柱面透镜和一个四极透镜的具有电和/或磁场可以在狭缝光阑被作用 ， 四极的光轴取向平行于柱面透镜的轴和限定所述图像的光轴，其位置是相对于所述柱面透镜的轴可变的。 该四极透镜的聚焦发生在其中气缸镜头未聚焦的部分的地方，并聚焦在四极杆的散焦部分中，其中所述柱面透镜。 根据本发明，提供的是所述组合透镜可操作为浸没透镜为二次电子的成像，浸渍箱是在从至少两个aneinunder相邻场，第一场中的对象和第一狭缝光阑，第一和第二狭缝光阑之间的第二场之间存在轴线方向存在，并且 这两个字段是相互独立可调的。 根据该提案，目的和第一相对于第一和第二相对较小，并且在物体和第一孔之间的电势分布之间的孔径光阑之间的电位差被进一步限定近似线性的。 将合并的透镜的聚焦/散焦效应是由浸渍箱，气缸透镜场和四极场的叠加给出。 所提出的透镜组件的一种变型的目的是用作阴极透镜，用于与多个类似的相邻发光区的光电阴极。

    電子レンズ
    8.
    发明申请
    電子レンズ 审中-公开
    电子镜头

    公开(公告)号：WO2007129376A1

    公开(公告)日：2007-11-15

    申请号：PCT/JP2006/308728

    申请日：2006-04-26

    Applicant: 株式会社トプコン ,  山田 恵三 ,  松澤 実

    Inventor： 山田 恵三 ,  松澤 実

    IPC: H01J37/153 ,  H01J37/12 ,  H01J37/143 ,  H01J37/145

    CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J37/143 ,  H01J37/145 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/121

    Abstract: Provided is a small-size electronic lens having a small aberration for use in a microscope and an evaluation device using an electronic beam. The electronic lens is characterized in that its characteristic can be modified in a short time without using a complicated correction device. In the electronic lens, a correction electrode (11) is arranged in the vicinity of objective lenses (12, 13) as electrostatic lenses for correcting the aberration. Alternatively, a correction mechanism formed by a magnet is arranged in the vicinity of the objective lenses as magnetic lenses for correcting the aberration.

    Abstract translation: 提供了一种用于显微镜的小像差小型电子透镜和使用电子束的评估装置。 电子透镜的特征在于，其特性可以在短时间内被修改而不使用复杂的校正装置。 在电子透镜中，作为校正像差的静电透镜，在物镜（12,13）附近配置有校正电极（11）。 或者，由磁体形成的校正机构设置在物镜附近，作为用于校正像差的磁性透镜。

    OBJECTIVE LENS ARRANGEMENT FOR USE IN A CHARGED PARTICLE BEAM COLUMN
    10.
    发明申请
    OBJECTIVE LENS ARRANGEMENT FOR USE IN A CHARGED PARTICLE BEAM COLUMN 审中-公开
    用于充电颗粒光束柱的目标镜头布置

    公开(公告)号：WO2004097890A3

    公开(公告)日：2004-12-29

    申请号：PCT/US2004012468

    申请日：2004-04-22

    Applicant: APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD ,  APPLIED MATERIALS INC ,  PETROV IGOR

    Inventor： PETROV IGOR

    IPC: G01Q30/02 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/145 ,  H01J37/28

    Abstract: An objective lens arrangement is presented for mounting in a charged particle beam column adjacent to an anode tube that defines a beam drift space for a charged particle beam propagating towards a sample (5). The lens (14) arrangement comprises a magnetic lens (14) and an electrostatic lens (16), wherein the eletrostatic lens includes upper (16C') and lower electrodes (16C) arranged in a spaced-apart coaxial relationship along an optical axis (OA) of the lens arrangement.

    Abstract translation: 呈现物镜布置用于安装在邻近阳极管的带电粒子束柱中，该阳极管限定了朝向样品（5）传播的带电粒子束的波束漂移空间。 透镜（14）装置包括一个磁性透镜（14）和一个静电透镜（16），其中该静电透镜包括沿光轴以间隔开的同轴关系布置的上部（16C'）和下部电极（16C） OA）。

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