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    荷電粒子線装置
    1.
    发明申请
    荷電粒子線装置 审中-公开

    公开(公告)号：WO2021044553A1

    公开(公告)日：2021-03-11

    申请号：PCT/JP2019/034838

    申请日：2019-09-04

    Applicant: 株式会社日立ハイテク

    Inventor： 小松崎　諒 ,  千葉　寛幸 ,  陳　偉健 ,  佐藤　博文

    IPC: G01N23/2251 ,  H01J37/22 ,  H01J37/252

    Abstract: 荷電粒子線装置１００は、荷電粒子線を試料Ｓに対して照射する照射部１１０と、荷電粒子線の試料Ｓへの照射に起因する信号を出力する検出部１３０と、複数の条件セットのうちから１つの条件セットを選択するための条件選択インタフェースを出力する表示部１５４と、着目対象物に関する評価を実行する制御部１５１と、を備える。条件セットは、複数の学習済みモデルのうちから、１つの学習済みモデルを特定する情報と、照射条件および検出条件の少なくとも一方を含む複数の探索条件のうちから、１つの探索条件を特定する情報と、照射部１１０および検出部１３０の少なくとも一方の動作を規定する複数の解析条件のうちから、１つの解析条件を特定する情報と、を含む。荷電粒子線装置１００は、条件選択インタフェースを介して条件セットの選択を受け付け、特定された探索条件に基づき、試料Ｓの第１の領域に対して荷電粒子線を照射し、当該照射に起因する第１の信号を検出し、特定された学習済みモデルに、第１の信号に基づく情報を受け渡し、特定された学習済みモデルから、着目対象物の候補の位置を含む試料Ｓの第２の領域を表す情報を取得し、第２の領域は第１の領域の一部であって第１の領域より小さく、特定された解析条件に基づき、第２の領域に対して荷電粒子線を照射し、当該照射に起因する第２の信号を検出し、第２の信号に基づく情報を制御部１５１に入力する。

    走査電子顕微鏡、及びその制御方法
    2.
    发明申请
    走査電子顕微鏡、及びその制御方法 审中-公开
    扫描电子显微镜及其控制方法

    公开(公告)号：WO2015163266A1

    公开(公告)日：2015-10-29

    申请号：PCT/JP2015/061936

    申请日：2015-04-20

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 白幡　香織 ,  備前　大輔 ,  榊原　慎 ,  早田　康成 ,  川野　源 ,  数見　秀之

    IPC: H01J37/28 ,  G01N23/225 ,  H01J37/252 ,  H01J49/44

    CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/252 ,  H01J37/263 ,  H01J49/48 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/2806

    Abstract: リターディング電圧Vr を変化させても分光器への入射電子数やエネルギー分解能が変化しない電子分光系を有する走査電子顕微鏡を提供する。電子源（１０１）と、電子源から放出される一次電子線を偏向する第一の偏向器（１０３）と、第一の偏向器によって偏向された一次電子線を収束し、収束された一次電子線により生じた試料（１０６）からの二次電子（１０８）を光軸外に偏向する第二の偏向器（１０４）と、一次電子線を減速する負極性の電圧を試料に印加する電圧印加部（１０７）と、二次電子を分光するための分光器（１１０）と、分光器を通過した二次電子を検出する検出器（１１１）と、第二の偏向器と分光器との間に設けられた静電レンズ（１０９）と、静電レンズに印加する電圧を試料に印加する負極性の電圧に基づき制御する電圧制御部（１１３）を有し、静電レンズは、偏向作用と収束作用を重畳させる。

    Abstract translation: 提供一种具有电子分光系统的扫描电子显微镜，其中即使延迟电压Vr改变，入射在光谱仪上的能量分辨率或电子数也不改变。 本发明具有：电子源（101）; 用于偏转从电子源发射的一次电子束的第一偏转器（103） 第二偏转器（104），用于会聚由第一偏转器偏转的一次电子束，并且从会聚的一次电子束产生的样品（106）偏转远离光轴的二次电子（108）; 电压施加单元（107），其中用于延迟一次电子束的负极性电压被施加到样品; 用于分散二次电子的光谱仪（110）; 用于检测已经通过光谱仪的二次电子的检测器（111）; 设置在第二偏转器和光谱仪之间的静电透镜（109） 以及电压控制单元（113），由此基于施加到样本的负极性电压来控制施加到静电透镜的电压，静电透镜执行会聚和偏转动作。

    元素分析装置
    3.
    发明申请
    元素分析装置 审中-公开

    公开(公告)号：WO2014017544A1

    公开(公告)日：2014-01-30

    申请号：PCT/JP2013/070066

    申请日：2013-07-24

    Applicant: 国立大学法人京都大学

    Inventor： 今宿　晋 ,  冬野　直人 ,  河合　潤

    IPC: G01N23/225 ,  G01N21/62 ,  H01J37/252

    CPC classification number: G01N23/2252 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J2237/2445

    Abstract: 　本発明は、携帯性に優れると共に、ランタノイド系列の諸希土類元素についても個別に分離し、正しく同定及び定量することが可能な元素分析装置を提供することを課題とする。本発明に係る元素分析装置は、真空容器と、前記真空容器内に配置された焦電結晶と、前記真空容器内に、試料を載置する面が前記焦電結晶の一方の面に対向すると共に、該焦電結晶の他方の面と電気的に接続され、かつ、接地されるように配置された導電性の試料台と、前記焦電結晶を加熱又は冷却するペルチェ素子と、前記試料台に載置した試料から放出される特性Ｘ線のスペクトルを検出する特性Ｘ線スペクトル検出手段と、該試料から放出される蛍光のスペクトルを検出する蛍光スペクトル検出手段と、を有することを特徴とする。

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种便携式元件分析装置，其能够分离镧系元素的各种稀土元素，并且识别和量化每个元素。 本发明的元件分析装置包括：真空室; 布置在真空室内的热电晶体; 导电台，其具有面向所述热电晶体的一个表面的样​​品表面，同时还与所述热电晶体的另一表面电连接并接地; 用于加热或冷却热电晶体的珀尔帖元件; 特征X射线光谱检测装置，用于检测放置在载物台上的样品发射的特征X射线谱; 以及用于检测样品发出的荧光光谱的荧光光谱检测装置。

    荷電粒子線装置
    4.
    发明申请
    荷電粒子線装置 审中-公开
    充电颗粒光束装置

    公开(公告)号：WO2013018594A1

    公开(公告)日：2013-02-07

    申请号：PCT/JP2012/068754

    申请日：2012-07-25

    Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ ,  揚村 寿英

    Inventor： 揚村　寿英

    IPC: H01J37/252 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

    CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2445

    Abstract: 　本発明は、荷電粒子線装置において、一次荷電粒子線を放出する荷電粒子源（１）と、当該一次荷電粒子線を試料（５）上に集束する集束レンズ（２、４）と、当該試料上の照射点から放出された二次電子や後方散乱電子からなる二次荷電粒子（７）を検出する検出器（８０）と、前記検出器からの信号を波形処理して前記二次荷電粒子のエネルギー分布情報を作成する波形処理部（９）と、前記エネルギー分布情報の任意のエネルギー範囲の情報を選択して表示部に画像表示する制御部（１０）を備えることを特徴とする。　これにより、二次電子や後方散乱電子の角度とエネルギーを簡便に弁別し、観察対象試料の必要な情報を画像化できる荷電粒子線装置が実現された。

    Abstract translation: 该带电粒子束装置的特征在于具有：发射初级带电粒子束的带电粒子源（1）; 将初级带电粒子束收敛在样品（5）上的会聚透镜（2,4）; 以及检测器（80），其检测由从样品上的照射点发射的二次电子和反向散射电子构成的二次带电粒子（7） 波形处理单元（9），其对从所述检测器发送的信号进行波形处理，并产生所述二次带电粒子的能量分布信息; 以及控制单元（10），其从能量分布信息中选择可自由计算的能量范围内的信息，并在显示单元上显示图像。 因此，可以容易地将二次电子和背向散射电子的角度和能量彼此区分开并在图像中形成待观察的样本的必要信息的带电粒子束装置。

    THREE-DIMENSIONAL IMAGING OF THE CHEMICAL SURFACE COMPOSITIONS OF OBJECTS
    7.
    发明申请
    THREE-DIMENSIONAL IMAGING OF THE CHEMICAL SURFACE COMPOSITIONS OF OBJECTS 审中-公开
    物体的化学表面组成三维立体画

    公开(公告)号：WO2004079771A3

    公开(公告)日：2005-02-24

    申请号：PCT/DE2004000455

    申请日：2004-03-08

    Applicant: UNIV GIESSEN JUSTUS LIEBIG ,  SPENGLER BERNHARD ,  BOUSCHEN WERNER ,  HINZ KLAUS-PETER

    Inventor： SPENGLER BERNHARD ,  BOUSCHEN WERNER ,  HINZ KLAUS-PETER

    IPC: G01N23/225 ,  H01J37/252 ,  H01J49/14 ,  H01J37/256 ,  H01J49/40

    CPC classification number: H01J49/14 ,  G01N23/225 ,  H01J37/252 ,  H01J2237/2527

    Abstract: The invention relates to a device and method for measuring the chemical composition and three-dimensional structure of chemical and biological samples, evaluating the measuring data and for subsequently representing it graphically. Suprisingly, it was ascertained counter to prior art that it is possible with the aid of the inventive optimized zone source to achieve dependency of the flying time or kinetic energy of ions in direction z upon the place of origin, said dependency being greater than the dependency of the flying times or kinetic energy of the initial energy distributions. As a result, it is possible, for the first time, to determine all three spatial directions (cartesian coordinates x, y and z). The inventive evaluation method also makes it possible to convert said local information into graphic representations.

    Abstract translation: 本发明描述的装置和用于测量的化学组成和化学和生物样品的三维结构，以评估所测得的数据，然后用图形表示的方法。 可以使用的飞行时间的函数，或从原点的动能;令人惊讶地，与在矛盾的现有技术与根据本发明的，优化的SIMS装置的助剂（5，6，8，22，24，25，20）已发现 以在z方向上，其比飞行时间和初始能量分布的动能的依赖性越大离子。 因此，现在有可能确定所有三个空间方向（笛卡尔坐标x，y和z）的离子的产地。 使用本发明它的评价方法也可以实现在图形表示该位置信息。

    APPARATUS AND METHOD FOR APPLYING FEEDBACK CONTROL TO A MAGNETIC LENS
    8.
    发明申请
    APPARATUS AND METHOD FOR APPLYING FEEDBACK CONTROL TO A MAGNETIC LENS 审中-公开
    将反馈控制应用于磁性镜头的装置和方法

    公开(公告)号：WO01096843A1

    公开(公告)日：2001-12-20

    申请号：PCT/US2001/019437

    申请日：2001-06-15

    IPC: H01J1/08 ,  H01J37/141 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  H01J37/34 ,  G01N23/00 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/256

    CPC classification number: B82Y15/00 ,  H01J37/141 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/2485 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/30405 ,  H01J2237/3175

    Abstract: An apparatus (96) configured to control a magnetic field strength of a magnetic lens (100) is provided. The apparatus may include a magnetic sensor configured to generate an output signal responsive to a first magnetic field strength of the magnetic lens (100). The apparatus (96) may also include a control circuit (102) coupled to the magnetic sensor (98) and the magnetic lens (100). The control circuit (102) may be configured to receive the output signal from the magnetic lens (100) and to receive an input signal responsive to a predetermined magnetic field strength. The control circuit (102) may be further configured to generate a control signal responsive to the output signal and the input signal. Additionally, the control circuit may be configured to apply a current to the magnetic lens (100) such that a second magnetic field strength may be generated within the magnetic lens (100) closer to the predetermined magnetic field strength than the first magnetic strength.

    Abstract translation: 提供了一种被配置为控制磁性透镜（100）的磁场强度的装置（96）。 该装置可以包括被配置为响应于磁性透镜（100）的第一磁场强度而产生输出信号的磁传感器。 装置（96）还可以包括耦合到磁传感器（98）和磁透镜（100）的控制电路（102）。 控制电路（102）可以被配置为从磁性透镜（100）接收输出信号并响应于预定的磁场强度来接收输入信号。 控制电路（102）还可以被配置为响应于输出信号和输入信号产生控制信号。 此外，控制电路可以被配置为向磁性透镜（100）施加电流，使得可以在磁性透镜（100）内产生比第一磁场强度更接近预定磁场强度的第二磁场强度。

    MULTI-ANODE TIME TO DIGITAL CONVERTER
    10.
    发明申请
    MULTI-ANODE TIME TO DIGITAL CONVERTER 审中-公开
    数字转换器的多阳极时间

    公开(公告)号：WO1998021742A1

    公开(公告)日：1998-05-22

    申请号：PCT/US1997020766

    申请日：1997-11-14

    Applicant: SENSAR CORPORATION ,  ROCKWOOD, Alan ,  DAVIS, Larry, J.

    Inventor： SENSAR CORPORATION

    IPC: H01J37/252

    CPC classification number: G04F10/005 ,  G04F10/00 ,  H01J49/025

    Abstract: An apparatus (82) for extending the dynamic range of a data acquisition. Multiple anode detectors (80) and microchannel plates (83) are used to increase the dynamic range of a time-to-digital converter (82). Multiple anodes (80) determine characteristics of a signal without distortion which normally occurs with large signals, or obscuring by noise which normally occurs with small signals. The data from the multi-anode detectors (80) can be summed during selectable time frames (100, 102) and made multiple bit words.

    Abstract translation: 一种用于扩展数据采集的动态范围的装置（82）。 多个阳极检测器（80）和微通道板（83）用于增加时间 - 数字转换器（82）的动态范围。 多个阳极（80）确定通常在大信号下发生失真的信号的特性，或通过小信号通常发生的噪声来模糊。 来自多阳极检测器（80）的数据可以在可选择的时间帧（100,102）期间相加并且产生多个位字。

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