非对称型混合多栅半导体器件及其制作方法、芯片

    公开(公告)号:CN119545855A

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411404024.3

    申请日:2024-10-09

    Abstract: 本申请公开了一种非对称型混合多栅半导体器件及其制作方法、芯片,属于半导体技术领域。所述非对称型混合多栅半导体器件包括:衬底,包括第一高压阱区,第一高压阱区中设有沿目标方向依次连接的漏极区、第一漂移区和第二漂移区,第二漂移区的掺杂浓度大于第一漂移区的掺杂浓度;第二漂移区中的阱区中设有沿目标方向相间隔的第一源极区和第二源极区,第一源极区靠近第一漂移区一侧的阱区构成第一沟道区,第二源极区底部的阱区构成第二沟道区;第一栅极结构,覆盖第一沟道区;第二栅极结构,位于第一高压阱区内,且覆盖第二沟道区。本申请能够在提高器件的过电流能力的同时,维持了较小的器件面积,保证了器件集成度。

    延伸漏极MOS器件及制造方法、芯片

    公开(公告)号:CN119521738A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411532104.7

    申请日:2024-10-30

    Abstract: 本发明涉及半导体领域,提供一种延伸漏极MOS器件及制造方法、芯片。所述延伸漏极MOS器件包括:衬底、P型阱区、N型深阱区、浅槽隔离区、源区、漏区及栅极,浅槽隔离区包括第一浅槽隔离区、第二浅槽隔离区以及第三浅槽隔离区,第一浅槽隔离区位于栅极与漏区之间,第二浅槽隔离区位于漏区与衬底接口之间,第三浅槽隔离区位于源区与衬底接口之间;N型深阱区位于第一浅槽隔离区及漏区的下方,N型深阱区内设有第二P型阱区,第二P型阱区与第一浅槽隔离区纵向相接。本发明将内部有P型阱区的N型深阱区作为漂移区结构,提升了器件的击穿电压和安全工作区,该器件的制造方法与CMOS工艺完全兼容,降低了制造成本。

    电容结构制作方法、电容结构、芯片及电路

    公开(公告)号:CN119325335A

    公开(公告)日:2025-01-17

    申请号:CN202411317670.6

    申请日:2024-09-20

    Abstract: 本发明提供一种电容结构制作方法、电容结构、芯片及电路,涉及半导体技术领域。制作方法包括:提供衬底,并在衬底上表面依次形成第一电极层、初始介电层和具有对准窗口的刻蚀替位层;对准窗口的宽度等于电容结构的宽度;将刻蚀替位层作为阻挡层,利用对准窗口的自对准作用形成第二电极层;利用初始介电层形成中间介电层;中间介电层为具有上台阶和下台阶的凸字形构型,上台阶的宽度等于电容结构的宽度;形成介质层,并形成第一导电结构和第二导电结构。通过本发明,能够减小介电层的局部损耗,保证电容结构的性能和稳定性。

    沟道应力形成方法、半导体结构、芯片及电路

    公开(公告)号:CN119325260A

    公开(公告)日:2025-01-17

    申请号:CN202411317296.X

    申请日:2024-09-20

    Abstract: 本发明提供一种沟道应力形成方法、半导体结构、芯片及电路,涉及半导体技术领域。制作方法包括:在形成轻掺杂漏结构和多个栅极之后,分别在每一栅极两侧形成侧墙结构;侧墙结构包括至少一层层状侧墙,且侧墙结构的最外层为无定形碳侧墙;利用侧墙结构在衬底内形成源漏注入区;利用灰化工艺去除无定形碳侧墙;在栅极和衬底表面形成拉应力氧化硅层;在拉应力氧化硅层表面形成拉应力氮化硅层;对拉应力氮化硅层进行退火处理,以将拉应力传导并记忆至沟道。通过本发明,能够减小栅极两侧的侧墙厚度,从而增大相邻的栅极侧墙的间距,减小应力层与沟道的距离,使应力能更有效地传递到沟道区,提高器件性能。

    有源区分构式测试单元、多晶硅栅线宽粗糙度测试方法

    公开(公告)号:CN119170602A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202411308783.X

    申请日:2024-09-19

    Abstract: 本发明涉及半导体技术领域,提供一种有源区分构式测试单元、多晶硅栅线宽粗糙度测试方法。所述有源区分构式测试单元包括有源区以及多晶硅栅,有源区包括多个相互隔离的有源子区,多个相互隔离的有源子区沿所述多晶硅栅的长度方向排布;每个有源子区包括一个源区及一个漏区;多个有源子区的源区及漏区单独连接金属引线,与多个有源子区的源区及漏区连接的金属引线通过多层的金属互联层连接对应的测试键;每个有源子区的线宽均可调节,多晶硅栅的长度跟随多个有源子区的线宽的调节发生变化。本发明可以通过调节有源区的线宽使多晶硅栅的长度发生变化,从而使多晶硅栅的线宽粗糙度发生变化,获得多晶硅栅线宽粗糙度与电性参数之间的相关性。

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