杂质扩散用涂布液
    91.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103460346A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201280017009.2

    申请日:2012-05-18

    IPC分类号: H01L21/225

    CPC分类号: H01L21/2225 H01L21/228

    摘要: 一种杂质扩散用涂布液,其含有:聚乙烯醇系树脂(A)、杂质(B)以及沸点为100℃以上的多元醇(C),该多元醇(C)的含量为涂布液中的70重量%以上。因此,适合于丝网印刷,可实现长时间的连续印刷、间隔了空闲期后的印刷,即便将皮膜形成后的半导体基板以直立状态烧成,也能够得到电阻值的上下的差别小的半导体。

    掺杂物源及其制造方法
    96.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102668035A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201080052777.2

    申请日:2010-11-22

    IPC分类号: H01L21/223

    摘要: 本发明在于提供一种掺杂物源,其中,B2O3挥发量不易经时降低,长期具有良好的B2O3挥发能力。掺杂物源具有包括硼成分挥发层和耐热层的叠层体,其中,以摩尔%表示,硼成分挥发层含有30~60%的SiO2、10~30%的Al2O3、15~50%的B2O3和2~15%的RO,耐热层含有8~40%的SiO2、40~85%的Al2O3、5~30%的B2O3和0.5~7%的RO,其中,R是碱土金属。叠层体的至少一侧的最外层由硼成分挥发层构成。叠层体还在叠层体内部包括硼成分挥发层。构成叠层体的至少一侧的最外层的硼成分挥发层中的B2O3的含有率比叠层体内部的硼成分挥发层中的B2O3的含有率低。

    膜形成组合物
    97.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101479833B

    公开(公告)日:2012-06-06

    申请号:CN200780024402.3

    申请日:2007-07-02

    发明人: 森田敏郎

    摘要: 本发明提供一种膜形成组合物,其是用于涂布扩散法中的膜形成组合物,能够将更高浓度的杂质扩散到硅片中,而且能够同时形成二氧化硅类被膜。本发明涉及一种膜形成组合物,其是构成扩散膜的膜形成组合物,该扩散膜是形成在硅片上,用来使杂质元素扩散到该硅片中,该膜形成组合物含有(A)高分子硅化合物、(B)上述杂质元素的氧化物或含该杂质元素的盐、以及(C)成孔剂,其中(C)成分是聚烷撑二醇,相对于所述膜形成组合物总体质量,在膜形成组合物中的所述聚烷撑二醇的含量为3质量%~10质量%。