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公开(公告)号：CN110361562B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN201910654068.4
申请日：2015-03-03
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
发明人： D.梅因霍尔德
摘要： 本发明涉及加速度传感器。公开了各种加速度传感器。在一些情形中，惯性质量可以在后端线（BEOL）期间形成。在其它情形中，薄膜可以具有弯曲、波动或蜿蜒的形状。在又其它实施例中，惯性质量可以横跨两个或更多个压力感测结构。
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公开(公告)号：CN104897926B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201510093716.5
申请日：2015-03-03
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
发明人： D.梅因霍尔德
摘要： 本发明涉及加速度传感器。公开了各种加速度传感器。在一些情形中，惯性质量可以在后端线（BEOL）期间形成。在其它情形中，薄膜可以具有弯曲、波动或蜿蜒的形状。在又其它实施例中，惯性质量可以横跨两个或更多个压力感测结构。
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公开(公告)号：CN104037181B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201310619425.6
申请日：2013-11-29
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
IPC分类号： H01L27/146
CPC分类号： H01L31/035272 , G01S7/4914 , H01L27/14806
摘要： 本发明涉及光生电荷载流子的控制。描述并描绘了与光生电荷载流子的控制有关的实施例。一种制造设备的方法，所述方法包括：提供非均匀掺杂轮廓，以使得在光转换区域的至少部分中生成具有垂直场矢量分量的电场；在非均匀掺杂轮廓上方生成包括多个控制电极的控制电极结构用于引导光生电荷载流子。
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公开(公告)号：CN102751298B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201210115711.4
申请日：2012-04-19
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
IPC分类号： H01L27/146
CPC分类号： H01L27/14621 , H01L27/1443 , H01L27/14614 , H01L27/1463 , H01L27/14643 , H01L27/14685 , H01L31/02327
摘要： 提供了一种集成电路装置，其包括：晶体管，包括栅极区域；以及波长转换元件，其中波长转换元件可以包括与晶体管的栅极区域相同的一种或多种材料。
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公开(公告)号：CN103296007A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310065365.8
申请日：2013-03-01
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
IPC分类号： H01L23/532 , H01L21/768
CPC分类号： H01L23/564 , H01L21/7685 , H01L21/76852 , H01L23/53219 , H01L23/53228 , H01L23/53238 , H01L23/5329 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L2224/02166 , H01L2224/04042 , H01L2224/05624 , H01L2224/45015 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/45565 , H01L2224/45664 , H01L2224/48463 , H01L2224/48624 , H01L2224/48824 , H01L2224/4911 , H01L2924/01015 , H01L2924/10253 , H01L2924/12042 , H01L2924/1301 , H01L2924/181 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/20752
摘要： 本发明涉及用于传导垫的保护层及其形成方法。在一个实施例中，一种形成半导体器件的方法包括在衬底上方形成金属线以及在金属线的顶部表面上方沉积合金化材料层。该方法进一步包括通过将合金化材料层与金属线组合而形成保护层。
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