粒状交联聚合物的制备方法

    公开(公告)号:CN1474839A

    公开(公告)日:2004-02-11

    申请号:CN01818858.3

    申请日:2001-09-14

    Abstract: 描述一种粒状交联聚合物的制备方法,包括:(a)制备可聚合的有机相;(b)形成所述有机相的液滴在液体悬浮介质中的悬浮体,所述有机相基本上不溶于所述液体悬浮介质;和(c)使所述有机相的液滴在所述液体悬浮介质中的悬浮体聚合,从而形成粒状交联聚合物。所述有机相包含:(1)第一组分,包含(i)具有至少两个异氰酸酯基的多异氰酸酯和具有至少两个环氧基的多环氧化物中的至少之一,和(ii)任选的具有至少两个封端异氰酸酯基的封端多异氰酸酯;和(2)包含具有至少两个可与所述第一组分的异氰酸酯基和环氧基反应的活性氢基的活性氢官能反应物的第二组分,所述活性氢官能反应物包括具有至少两个选自伯胺、仲胺及其组合的官能团的多胺。

    具有边缘表面处理的抛光垫片

    公开(公告)号:CN1802237A

    公开(公告)日:2006-07-12

    申请号:CN200480015767.6

    申请日:2004-07-29

    Abstract: 本发明涉及具有底层和抛光层的抛光垫片。底层的外周边的表面至少部分地处理,以减少抛光液经由外周边吸收或渗透入底层中。表面处理的应用至少减少在抛光过程中由抛光垫片的底层吸收的抛光液的量。本发明的抛光垫片可用于抛光微电子基材和尤其用于半导体片的化学机械平面化。

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