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公开(公告)号：CN113865483A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111076240.6
申请日：2021-09-14
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请实施例提供了一种镀膜机中基片位置的监测方法、装置、系统及镀膜机。所述镀膜机中基片位置的监测方法包括：获取摄像装置采集到的场景图像；基于所述场景图像确定目标基片及所述目标基片的三维位置信息；在基于所述三维位置信息确定所述目标基片处于预设的目标区域内时，发出告警信息。本申请实施例用以解决现有技术存在镀膜过程中无法及时发现基片从伞架掉落的技术问题。
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公开(公告)号：CN113652647A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110941429.0
申请日：2021-08-16
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/22
摘要： 本申请涉及一种防护挡板更换设备及其更换方法、镀膜机防护挡板，设备包括移动底座，拆装机构，第一衬板托和第二衬板托；第一衬板托用于放置待更换的干净衬板，第二衬板托用于放置不干净衬板；移动底座用于运动至真空镀膜机腔门前指定位置，拆装机构用于将镀膜机腔体内的干净衬板拆卸下来放入第二衬板托，并从第一衬板托取出干净衬板安装到对应位置处；该技术方案降低了操作的复杂度，提升了更换效率。该防护挡板包括多块整板设计的衬板，衬板上方边缘设有若干个挂钩孔，在镀膜机的腔体内部周围空间的上，沿着腔体内壁布设有多个挂钩，用于勾住所述挂钩孔，将衬板吊挂在镀膜机的腔体内部周围；该防护挡板便于生产，便于安装拆卸，节省设备成本。
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公开(公告)号：CN112863981A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110041148.X
申请日：2021-01-13
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/305
摘要： 本申请涉及一种载物台移动结构、载物台装置以及真空设备，载物台移动结构包括：置于真空腔室内部的机械臂结构，所述机械臂结构的一端安装在密封设计的安装座上；所述安装座设于所述真空腔室的一个面板上，所述安装座通过外置的驱动装置驱动所述机械臂结构转动；所述载物台设于所述机械臂结构的另外一端上，通过所述机械臂结构控制在水平面上移动。该技术方案，采用机械臂结构，降低了载物台移动结构标准件的要求，减少了丝杆和导轨等复杂配件的使用，而且机械臂结构通过外置的驱动装置驱动，减少了驱动装置的条件要求，节省了设备成本。
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公开(公告)号：CN111933503A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010802515.9
申请日：2020-08-11
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源的电源控制方法、系统及离子源装置，所述方法包括：根据电源系统输出的总电流值确定各个霍尔离子源的分支电流值；在各个所述霍尔离子源和中空阴极运行中，分别检测各个所述霍尔离子源的电流传感器反馈的实际电流值；将各个所述霍尔离子源对应的实际电流值与其设定的分支电流值的进行比对并计算气体流量控制参数；依据所述气体流量控制参数调整输入霍尔离子源的气体流量，以控制相应霍尔离子源的实际电流值与其设定的分支电流值相匹配。本申请实现了对多霍尔离子源工作时电流控制，能够对各个霍尔离子源的电流进行精确分配，优化了电源控制效果，提升了各个霍尔离子源的工作效果。
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公开(公告)号：CN111785600A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202010681782.5
申请日：2020-07-15
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源供气结构及离子源装置，包括：设置在阳极部件周围的气流回路，以及设于所述阳极部件上且与所述气流回路连通的出气口；其中，所述出气口沿所述阳极部件的中部分布；所述气流回路接入外部的工艺气体，将所述工艺气体输送至各个所述出气口，并通过所述出气口从阳极部件中部导出。该技术方案，将工艺气体输送至各个所述出气口并从阳极部件中部导出，使得工艺气体在电离腔中能够得到更加充分的反应，提高了离子源的电离效率，而且避免了工艺气体沉积，减少对磁铁上部的保护器件的腐蚀。
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公开(公告)号：CN118726931A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202411023781.6
申请日：2024-07-29
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/50
摘要： 本申请涉及一种夹具盘、试验工件架、真空镀膜机及镀膜工艺试验方法；所述夹具盘包括：底盘，棘轮，上盖，产品安装盘以及曲柄；产品安装盘上以圆形分布方式设有多个放置测试产品的产品安装位；棘轮内置在底盘中，产品安装盘连接在底盘上；上盖设置于产品安装盘上方，且与棘轮连接；上盖上开设有至少一个镂空部位；其中上盖的非镂空区域用于遮挡非镀膜的产品，镂空部位用于露出需要镀膜的产品；曲柄连接在底盘上，曲柄驱动棘轮进行转动并带动所述上盖旋转，对需要镀膜的产品进行切换；该技术方案，可以在真空镀膜机进行镀膜工艺试验中，减少真空腔体的开门次数，提高镀膜工艺试验对比的准确性。
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公开(公告)号：CN112152582B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202010865511.5
申请日：2020-08-25
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种离子源驱动电源的滤波电路及其滤波参数检测方法和装置，所述离子源驱动电源的滤波电路为LC滤波电路，串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联的电感和并联的滤波电容；所述滤波电路用于对所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡进行抑制，滤除所述实时电流波形中的高频振荡干扰信号。本申请提供的上述技术方案，通过采用高频滤波元件的LC滤波电路，串联电感器和并联滤波电容，在离子源驱动电源输出电源时，滤波电路可以保证离子源驱动电源输出平滑的直流电压，滤除离子源负载中不稳定导致的高频干扰，避免损坏电源。
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公开(公告)号：CN117826230A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311851909.3
申请日：2023-12-29
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： G01T1/29
摘要： 本申请涉及一种离子束测量方法、装置、离子束束流测量系统及真空设备；所述方法包括：在对真空设备的离子源输出的离子束进行测量时，根据离子源的空间模型确定测量点序列及其位置参数，并计算将探测装置移动到相应测量点的控制参数，然后根据控制参数依次控制探测装置移动至各个测量点位置测量束流参数，再根据束流参数生成离子源的离子束束流分布图；该技术方案，采用移动式的探测装置对各个位置点进行测量束流参数，相对于法拉第筒阵列测量方式，可以提升测量数据一致性，能够获得准确的性能参数；而且可以根据需求设置测量点数量，可以在空间模型中任意位置选点来测量，适合不同应用场景下的测量需求。
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公开(公告)号：CN117758225A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202410046480.9
申请日：2024-01-11
申请人： 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/50 , C23C16/458
摘要： 本申请涉及一种工件架及真空设备，工件架第一转轴第二转轴以及安装结构；安装结构设计为U型结构形状，包括两个侧边支臂和底部平台，每个安装结构上设置有至少一个用于放置工件的工件盘安装在安装结构的底部平台上；在工作时，第一转轴和第二转轴绕旋转轴线转动，使得安装结构在真空设备的真空腔体内进行空间翻转，将工件盘置于不同空间位置在安装结构上设计了平衡装置，对安装结构进行配平使得安装结构在翻转中形成动平衡，从而使得安装结构在翻转中形成动态平衡该技术方案，实现了二维空间调整功能，提升了真空设备的工作效率，减少真空设备在镀膜/刻蚀过程中产生的振动，保持了真空设备工作稳定性。
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公开(公告)号：CN117749121A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311834429.6
申请日：2023-12-27
申请人： 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种射频网络匹配调节方法、装置及射频离子源系统，所述方法包括：依次对第一电容和第二电容进行快速调节，直至射频网络匹配器实时采集的第一阻抗值达到匹配范围值内；在匹配范围值内，以交叉调节方式并根据设定的步进值分别对第一电容和第二电容进行微调；在微调过程中，根据射频网络匹配器实时采集的第二阻抗值控制所述第一电容和第二电容的调节方向，以使得第二阻抗值向目标阻抗值靠近；当第二阻抗值达到目标阻抗值时，控制射频网络匹配器与负载端保持匹配平衡状态；该技术方案，提升了对射频网络匹配的调节速度，提升了射频功率源启动成功率，适应各种异常场景匹配，且匹配度高，可以确保输出的射频功率源更加稳定，效率更高。
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