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公开(公告)号：CN1333178A
公开(公告)日：2002-01-30
申请号：CN01125497.1
申请日：2001-07-05
Applicant: JDS尤尼费斯公司
Inventor： 艾德华·A·黑尔 , 维贾亚库马·R·杜勒 , 阿伦·B·考登 , 拉马斯瓦米·马哈德万 , 罗伯特·L·伍德
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B2201/038 , B81B2203/0109 , B81B2203/056 , H01H1/0036 , H01H61/00 , H01H2061/006
Abstract: 在本发明的一个实施例中,微机电致动器包括:一个梁,它具有分别连接在衬底上的第一及第二端部及分布在第一及第二端部之间具有波状形状的主体。主体包括与致动对象连接并响应作用于梁的压缩力及张力中至少一种力在垂直于梁的方向上对致动对象施加力的工作部分。该波状形状可为正弦波,如为接近余弦曲线单个周期或正弦曲线单个周期。该梁可被热致动或由另外致动器驱动。在另一实施例中,旋转致动器包括第一及第二梁,其中每个梁具有连接在衬底上的第一及第二端部及分布在第一及第二端部之间的主体。每个主体包括第一及第二相反弯曲的部分。第一及第二梁的主体彼此相交在第一及第二梁的主体的第一及第二相反弯曲部分的会合点上。第一及第二梁的主体被操作及与致动对象连接,以响应作用于第一及第二梁的压缩力及张力中至少一种力使致动对象绕相交点转动。并描述了相应的方法。
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公开(公告)号：CN107934906A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711383154.3
申请日：2017-12-20
Applicant: 爱科赛智能科技(台州)有限公司
CPC classification number: B81B3/0027 , B81B7/02 , B81B2201/038 , B81C1/00158
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性薄膜的MEMS执行器，构成包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部设有铜线圈(2)，铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3)，透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7)，硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6)，磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。本发明具有优异的柔韧性和高断裂强度，大大增加了设备的稳定性和效能以及使用寿命。本发明还采用磁性复合材料来替代永磁铁的使用，可以同时保证薄膜的柔性和磁力的强度，提高了实用性和便利性。
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公开(公告)号：CN106604809A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201580040676.6
申请日：2015-07-14
Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
CPC classification number: B81C1/00373 , B29C64/135 , B33Y10/00 , B33Y80/00 , B81B7/0074 , B81B2201/038 , B81B2201/047 , B81B2203/0315 , B81B2203/0392 , B81C3/001 , B81C99/0095 , B81C2201/0188 , B81C2203/038
Abstract: 本发明涉及一种制造微机械组件(1)的方法，其中将能够通过辐射被硬化的液态原料(2)施加到基底上，所述原料通过使用第一辐射源进行局部辐射而在部分体积空间(21)中被硬化，以便生成至少一个三维结构，其中所述三维结构界定至少一个封闭的容腔(10)，在所述容腔(10)中封闭所述液态原料(2)中的至少一部分。本发明还涉及一种微机械组件，所述微机械组件包括部分通过辐射被硬化的液态原料(2)，并且所述微机械组件包括至少一个容腔(10)，在所述容腔(10)中封闭有所述液态原料(2)。
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公开(公告)号：CN103336360B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201310236708.2
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN103336362B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201310236895.4
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103336362A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310236895.4
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN103336360A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310236708.2
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN102015127A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980115089.3
申请日：2009-04-28
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 张建六
IPC: B06B1/02 , B81B3/00 , H01L21/306
CPC classification number: B06B1/0292 , B81B2201/038 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/04 , B81C1/00476 , B81C2201/0114
Abstract: 在电容型机电变换器的制造方法中，在基板(4)上形成第一电极(8)，在第一电极(8)上形成具有引向第一电极的开口(6)的绝缘层(9)，并且，在绝缘层上形成牺牲层。在牺牲层上形成具有第二电极(1)的膜片(3)，并且，在膜片中设置作为蚀刻剂入口的孔径。蚀刻牺牲层以形成空腔(10)，并且然后密封用作蚀刻剂入口的孔径。通过经由开口(6)和膜片的孔径使电流在第一电极(8)和外部设置的对电极之间流动的电解蚀刻，来执行蚀刻。
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公开(公告)号：CN1874955B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200480032195.2
申请日：2004-10-26
Applicant: 爱普科斯公司
Inventor： J·T·M·范比克 , M·J·E·乌勒奈尔斯
IPC: B81B3/00
CPC classification number: H01G5/18 , B81B3/0078 , B81B2201/016 , B81B2201/038 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2239/01
Abstract: 一种微机电系统(MEMS)器件的制造方法，包括在衬底(14)上提供基层(10)和机械层(12)，在基层(10)和机械层(12)之间提供牺牲层(16)，在牺牲层(16)和衬底(14)之间提供蚀刻停止层(18)，以及借助干法化学蚀刻去除牺牲层(16)，其中利用含氟的等离子体进行干法化学蚀刻，并且该蚀刻停止层(18)包括基本上不导电的、氟化学剂惰性材料，如HfO2、ZrO2、Al2O3或TiO2。
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公开(公告)号：CN100408336C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN01817746.8
申请日：2001-10-19
Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司
Inventor： 乔治·约翰·麦克沃依 , 卡·西尔弗布鲁克
CPC classification number: B81C99/006 , B41J2/14427 , B81B3/0024 , B81B3/0035 , B81B2201/038 , F03G7/06 , F05C2203/0813 , F05C2203/083 , F05C2251/04 , F05C2251/044 , F05C2251/046 , H01H1/0036 , H01H2061/006 , H01H2061/008
Abstract: 一种热弹性膨胀元件，其由从下列组中选出的材料制成：钛、钽、钼、锯、铬、钨、钒和锆的硼化物、硅化物、碳化物以及氮化物，其中，所述材料具有由下列公式限定的无量纲常量：见右下式，在此，E是所述材料的杨氏模量，γ是热膨胀系数，T是最高的工作温度值，ρ是密度，C是比热，并且εc/εr大于1.74，其中εr为硅的无量纲常量。
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