公开(公告)号：CN104820285B

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：CN201510049858.1

申请日：2015-01-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： R·卡尔米纳蒂 ,  S·康蒂

IPC: G02B26/08 ,  G03B21/14 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0062 ,  B81B3/0043 ,  B81B7/008 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841 ,  G03B21/142 ,  G03B21/2033 ,  G03B21/28

Abstract: 本发明涉及静电驱动的MEMS器件。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的悬置块。耦合到接合臂的静电驱动系统具有彼此耦合的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬置块并且具有承载相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。

公开(公告)号：CN104820285A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201510049858.1

申请日：2015-01-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： R·卡尔米纳蒂 ,  S·康蒂

IPC: G02B26/08 ,  G03B21/14 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0062 ,  B81B3/0043 ,  B81B7/008 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841 ,  G03B21/142 ,  G03B21/2033 ,  G03B21/28

Abstract: 本发明涉及静电驱动的MEMS器件。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的悬置块。耦合到接合臂的静电驱动系统具有彼此耦合的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬置块并且具有承载相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。

公开(公告)号：CN102841444A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201210211366.4

申请日：2012-06-21

Applicant: 株式会社日立显示器 ,  皮克斯特罗尼克斯公司

Inventor： 海东拓生 ,  栗谷川武 ,  坂田亮 ,  刈迂修 ,  T·J·布罗斯尼汉

IPC: G02B26/02 ,  G09G3/34

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/045 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/016

Abstract: 本发明提供一种显示装置和显示装置的制造方法，其不需要专用装置、不会使制造吞吐量降低而除去端子上的钝化膜。本发明的显示装置，包括在基板上以矩阵状配置的具有开关元件和用开关元件驱动的MEMS快门的多个像素，和在基板上配置的与外部端子连接的多个端子。MEMS快门包括：具有开口部的快门、与快门连接的第一弹簧、与第一弹簧连接的第一锚定部、第二弹簧、和与第二弹簧连接的第二锚定部，在快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的与基板的表面垂直的方向上的面具有绝缘膜，在多个端子的表面、以及快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的相对于基板的表面为平行方向且与基板相对的一侧的相反侧的面，不存在该绝缘膜。

公开(公告)号：CN102323666A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201110265548.5

申请日：2006-02-23

Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司

Inventor： N·W·哈古德 ,  J·L·斯泰恩

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G09G3/3433 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G2300/0809 ,  G09G2310/0262

Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。

公开(公告)号：CN100576015C

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200610087676.4

申请日：2006-05-31

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  国立大学法人东京大学

Inventor： 与田光宏 ,  谏本圭史 ,  年吉洋

IPC: G02B26/08

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。

公开(公告)号：CN100474029C

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：CN200710003929.X

申请日：2004-09-30

Applicant: 日本航空电子工业株式会社

Inventor： 加藤嘉睦 ,  吉田惠 ,  森惠一 ,  近藤健治 ,  滨田义彦 ,  伊卷理

IPC: G02B26/08 ,  G02B6/35 ,  B81C1/00

CPC classification number: G02B6/3584 ,  B81B3/0083 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00182 ,  G02B6/122 ,  G02B6/136 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3596 ,  G02B26/0841

Abstract: 本发明涉及微光学装置制造方法。该装置包括复杂结构和可移动反射镜，可在更短的时间内制造出该微光学装置。硅基底和单晶硅装置层以及置于其间的氧化硅中间层构成基底，其上掩模材料层得以形成且被构图，从而形成与如平面图所示的预期光学装置的结构具有相同图案的掩模。将构造为反射镜表面的表面选择为硅晶体的面。利用掩模，通过反应离子干刻蚀，垂直刻蚀装置层，直到露出中间层为止。随后利用KOH溶液在约十分钟的时间段内以大约0.1μm/min的刻蚀速率，执行对于晶向是各向异性的湿刻蚀，从而将反射镜4的侧壁表面转变为光滑的晶体学表面。随后，选择性地湿刻蚀中间层，从而仅在位于光学装置的可移动部件下面的区域中除去中间层。

公开(公告)号：CN100423178C

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN03818030.8

申请日：2003-05-14

Applicant: 硅光机器公司

Inventor： J·A·亨特

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/82 ,  H01L21/302

CPC classification number: G02B26/0808 ,  B81B2201/045 ,  B81B2207/015 ,  B81B2207/07 ,  B81C1/00246 ,  B81C2201/016 ,  B81C2203/0735 ,  B81C2203/0778 ,  H01L27/0611

Abstract: 一种集成器件包括：一个或多个器件驱动器和单片地耦合到所述一个或多个驱动器电路的衍射光调制器。所述一个或多个驱动器电路被配置成用于处理接收的控制信号和将处理的控制信号传送给所述衍射光调制器。一种制造所述集成器件的方法优选地包括制造多个晶体管的每一个的前端部分；绝缘所述多个晶体管的前端部分；制造一个衍射光调制器的一前端部分；绝缘所述衍射光调制器的所述前端部分；为所述多个晶体管制造内部连线；应用一敞口阵列掩模和湿式蚀刻以达到所述衍射光调制器；和制造所述衍射光调制器的一后端部分，从而单片地耦合所述衍射光调制器和所述多个晶体管。

公开(公告)号：CN1873464A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200610087676.4

申请日：2006-05-31

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  国立大学法人东京大学

Inventor： 与田光宏 ,  谏本圭史 ,  年吉洋

IPC: G02B26/08

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。

公开(公告)号：CN1268537C

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN02818130.1

申请日：2002-09-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 赤川圭一 ,  铃木纯儿 ,  石津谷徹 ,  铃木美彦

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B6/358 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/053 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3584 ,  G02B2006/12104

Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。

公开(公告)号：CN1230702C

公开(公告)日：2005-12-07

申请号：CN02108425.4

申请日：2002-03-29

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 洪允植 ,  姜埈锡 ,  尹湘基 ,  郑成天 ,  李浈铉 ,  李贤基

IPC: G02B26/00 ,  G02B6/35 ,  H04B10/12

CPC classification number: G02B6/358 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/053 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  H02N1/006

Abstract: 本发明中所涉及的MEMS光学开关包括：静电驱动器和底座，静电驱动器包括：往复块；对称位于所述往复块左右侧的一对第1旋转轴；连接于所述第1旋转轴并可旋转的第1旋转块；支撑所述第1旋转块的第1旋转弹簧；连接于所述第1旋转块，并与所述第1旋转弹簧一起支撑所述第1旋转块的线形弹簧；连接于所述线形弹簧的第2旋转块；在左右侧两端连接并支撑所述第2旋转块的第2旋转弹簧；连接于所述第2旋转块并可旋转的第2旋转轴；与所述第2旋转轴的为一体设置于驱动器、驱动电极一侧的固定器；超微镜片；对所述往复块和左右侧的旋转块具有两个结构稳定点的静电传动装置。其发明目的在于提供最大限度降低传动装置耗电量的光学开关。