公开(公告)号：CN108698884A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201680081978.2

申请日：2016-12-16

申请人： 贺利氏石英玻璃有限两合公司

发明人： M·欧特 ,  W·莱曼 ,  M·胡乃曼 ,  N·C·尼尔森 ,  N·R·惠比 ,  B·格罗曼 ,  A-G·柯佩巴尼 ,  T·凯瑟

IPC分类号： C03B20/00 ,  C03C12/00 ,  C03B19/10 ,  C03B37/012 ,  C03C3/06 ,  C03B19/06

CPC分类号： C03B20/00 ,  C01B33/12 ,  C01P2004/51 ,  C01P2004/61 ,  C01P2006/11 ,  C01P2006/12 ,  C01P2006/14 ,  C01P2006/82 ,  C03B17/04 ,  C03B19/066 ,  C03B19/106 ,  C03B19/108 ,  C03B19/1095 ,  C03B37/01222 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54 ,  G02B6/02042 ,  H01J9/247 ,  H01J61/302

摘要： 本发明涉及一种制备石英玻璃体的方法，其包含方法步骤i.)提供二氧化硅颗粒，ii.)从所述二氧化硅颗粒制造玻璃熔体，和iii.)从至少一部分所述玻璃熔体制造石英玻璃体，其中所述提供包含步骤I.提供由硅‑氯化合物制造的具有至少两个粒子的二氧化硅粉末，II.使所述二氧化硅粉末与蒸汽接触以获得经处理的二氧化硅粉末，和III.对所述经处理的二氧化硅粉末造粒以获得二氧化硅颗粒，且其中所述二氧化硅粉末的氯含量大于所述二氧化硅颗粒的氯含量。本发明进一步关于一种可通过此方法获得的石英玻璃体。本发明进一步关于一种提供二氧化硅颗粒的方法。本发明进一步关于一种光导、一种照明体和一种成型体，其中的每一者可通过进一步加工所述石英玻璃体获得。

公开(公告)号：CN104395248A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380034214.4

申请日：2013-06-27

申请人： 株式会社尼康

发明人： 吉成俊雄 ,  齐藤忠彦

IPC分类号： C03B8/04 ,  C03B11/00 ,  C03B20/00

CPC分类号： C03B19/1415 ,  C03B11/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B19/1476 ,  C03B19/1492 ,  C03B23/0013 ,  C03B23/0496 ,  C03B32/005 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52

摘要： SiO2－TiO2系玻璃的制造方法通过直接法在靶上制造SiO2－TiO2系玻璃，其包括：第一工序，预先加热靶；第二工序，使规定长度的SiO2－TiO2系玻璃坯料在被预先加热了的靶上成长；在第一工序中对靶加热，以使得在第二工序中玻璃坯料的成长面的温度维持在规定的下限温度以上。

公开(公告)号：CN101333069B

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN200810098675.9

申请日：2008-06-06

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 每田繁 ,  大塚久利

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03C3/078 ,  G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52

摘要： 本发明涉及用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在所述纳米压印光刻法中，该石英玻璃在0℃和250℃之间具有-300～300ppb/℃的CTE和25℃下最高为100ppb/℃的CTE分布，适合用作纳米压印模具。

公开(公告)号：CN101959820A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106555.1

申请日：2009-02-26

申请人： 旭硝子株式会社

发明人： 小池章夫 ,  斋藤健太 ,  邵龙 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC分类号： C03C4/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03B19/14

CPC分类号： C03B19/1453 ,  C03B19/1415 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/70 ,  C03B2207/81 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

摘要： 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用EUV光辐照时的范围内，其线性热膨胀系数基本为零，并具有极高的表面平滑度。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的TiO2含量为7.5至12质量％，线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，并且条纹应力水平的标准偏差(σ)在至少一个面内的30mm×30mm的区域内为0.03MPa以下。

公开(公告)号：CN101959817A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106333.X

申请日：2009-02-25

申请人： 旭硝子株式会社

发明人： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/14

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54

摘要： 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃，其在用作EUVL用曝光工具的光学部件时，当用高EUV能量光辐照时，所述玻璃的线性热膨胀系数基本上为零。本发明涉及含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1000℃以下，OH浓度为600ppm以上，线性温度系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，且在20至100℃温度范围内的平均线性热膨胀系数为50ppb/℃以下。

公开(公告)号：CN101959812A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106891.6

申请日：2009-02-27

申请人： 旭硝子株式会社

发明人： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也 ,  桔优子

IPC分类号： C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00

CPC分类号： C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958 ,  Y02P40/57

摘要： 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。

公开(公告)号：CN1642855B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN03806359.X

申请日：2003-03-06

申请人： 瓦克化学股份公司

发明人： 霍尔格·斯兹拉特 ,  弗里茨·施韦特费格 ,  贝恩德·哈克 ,  马库斯·舍费尔

IPC分类号： C01B33/18 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  B01J19/26 ,  B01J19/08

CPC分类号： B82Y30/00 ,  C01B33/183 ,  C01P2002/84 ,  C01P2004/32 ,  C01P2004/51 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62 ,  C01P2004/64 ,  C01P2006/12 ,  C01P2006/80 ,  C03B19/1025 ,  C03B2201/03 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/08 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/42 ,  C03B2207/46 ,  C03C3/06 ,  C03C12/00 ,  C03C2201/02 ,  C03C2203/44

摘要： 本发明涉及一种杂质的总量低于500ppb的硅石粉末。

公开(公告)号：CN1353823A

公开(公告)日：2002-06-12

申请号：CN00807274.4

申请日：2000-05-08

申请人： 康宁股份有限公司

发明人： A·J·埃利森 ,  K·罗斯季斯拉夫

IPC分类号： G02B6/00

CPC分类号： G02B6/02114 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/0183 ,  C03B2201/58 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/58 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/44 ,  G02B6/021 ,  G02B6/02138 ,  G02B6/0219

摘要： 本发明涉及用作光纤(1)的玻璃制品,其纤芯(4)掺杂了一种可以明显增加折射率的硫族元素。本发明的主题是新颖的、掺杂的二氧化硅纤芯成分,采用等离子体增强化学汽相沉积法(PECVD)将二氧化硅中一部分氧用硫、硒或碲来置换。设计这些组份,使具有高于二氧化硅的折射率、低膨胀系数、高透光性以及适当的粘度和软化点,从而使之成为用作光纤的理想候选品。