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公开(公告)号：CN102269589B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201110157677.2
申请日：2011-06-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及一种旋转速率传感器(101)，包括：一驱动装置(103，109)；至少一个科里奥利元件(113)；一具有至少两个检测元件(119)的检测装置，所述检测元件利用一耦联装置(121，121a，121b，123)相互耦联，其中，所述驱动装置(103，109)与所述科里奥利元件(113)连接用于驱动所述科里奥利元件(113)振动；以及一与所述检测装置和所述科里奥利元件(113)连接的另外的耦联装置(127)，用于将所述科里奥利元件(113)在振动平面中在与振动正交的方向上的偏转耦联到所述检测装置上。
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公开(公告)号：CN102183247B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201110008084.X
申请日：2011-01-12
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5747
Abstract: 本发明提出一种旋转速率传感器，包括一个具有主延伸平面的衬底以及平行于主延伸平面设置的第一和第二分结构，其中第一分结构具有第一驱动结构并且第二分结构具有第二驱动结构，第一和第二分结构通过驱动器件经由第一和第二驱动结构可被激励平行于与主延伸平面平行的第一轴振荡，其中第一分结构具有第一科里奥利元件，第二分结构具有第二科里奥利元件，其特征在于，第一和第二科里奥利元件通过科里奥利力可平行于与第一轴垂直的第二轴且平行于与第一和第二轴垂直的第三轴偏移，其中第二轴平行于主延伸平面延伸，第一科里奥利元件与第二科里奥利元件通过耦合元件连接。
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公开(公告)号：CN102387983B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN200980129796.8
申请日：2009-06-15
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构(1)，尤其是传感器或执行器，包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6，7，8，9)限制的工作间隙(4，5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定，该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6，7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8，9)进行调节来扩宽该工作间隙(4，5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103771334A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201310756912.7
申请日：2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81C1/00246 , B81C1/0023 , B81C2203/075 , B81C2203/0771 , H01L2224/48463
Abstract: 提出用于具有至少一个MEMS构件(10)并且具有至少一个由半导体材料制成的罩(20)的部件(100)的措施，通过所述措施能够使得所述罩(20)除其作为空腔的封闭和微机械结构的保护的机械功能之外，配备有电功能。这种部件(100)的MEMS构件(10)的微机械结构设置在载体(1)与所述罩(20)之间的空腔中，并且包括至少一个结构元件(11)，所述至少一个结构元件能够在空腔内从构件层面向外偏转。根据本发明，所述罩(20)应包括至少一个在所述罩(20)的整个厚度上延伸的区段(21，22)，所述至少一个区段与相邻的半导体材料电绝缘，使得其能够与所述罩(20)的其余区段无关地电接通。
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公开(公告)号：CN101821587B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN200880111181.8
申请日：2008-09-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5684 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5684 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及一种微机械装置，具有至少一个驱动框架(10，15，17)和至少一个振子(20，25，27)，其中，所述振子(20，25，27)设置在被所述驱动框架(10，15，17)包围的区域(50)内，其中，所述振子(20，25，27)与所述驱动框架(10，15，17)机械式耦联。本发明的核心在于，所述驱动框架(10，15，17)能被激励作弯曲振动(100)。
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公开(公告)号：CN101868692B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200880116117.9
申请日：2008-10-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5719
CPC classification number: G01C19/574 , F16F1/025 , G01C19/5747 , G01P3/44
Abstract: 本发明涉及一种偏航率传感器，具有衬底和多个可运动的部分结构，所述可运动的部分结构设置在所述衬底的表面上方，其中，所述可运动的部分结构与一个共同的、尤其是中央弹簧元件耦合，设有用于激励所述可运动的部分结构在与所述衬底的表面平行的平面中作耦合的振动的器件，所述可运动的部分结构具有科氏元件，设有用于验证所述科氏元件的由科氏力引起的偏移的器件，设有用于检测绕第一轴的偏航率的第一科氏元件，设有用于检测绕第二轴的偏航率的第二科氏元件，所述第二轴与所述第一轴垂直地定向。
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公开(公告)号：CN102353368A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110157671.5
申请日：2011-06-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5755
Abstract: 本发明涉及一种旋转速率传感器，包括：一驱动装置(103，109)；至少一个科里奥利元件(113)；一检测装置，其中，所述驱动装置与所述科里奥利元件(113)连接用于驱动所述科里奥利元件(113)振动，其特征在于，所述检测装置具有至少一个转子(119，119a)，以及一与所述检测装置和所述科里奥利元件(113)连接的耦联装置(121)被构成用于将所述科里奥利元件(113)在振动平面中在与振动正交的方向上的偏转耦联到所述检测装置上，使得在所述科里奥利元件(113)的相应偏转中一用于驱动所述至少一个转子(119，119a)的转矩从所述科里奥利元件(113)传递到所述至少一个转子(119，119a)上。
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公开(公告)号：CN102165283A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980137896.5
申请日：2009-08-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明涉及一种用于转动率传感器装置的耦合结构(40)，包括：至少一个第一振动质量(42a)，包围第一振动质量(42a)的第一框架，第一振动质量(42a)耦合到第一框架上；其中，第一框架包括四个角形元件(10a，10b，10c，10d)，这些角形元件(10a，10b，10c，10d)中的每个具有至少一个第一臂和至少一个第二臂并以第一臂和第二臂分别耦合到这四个角形元件(10a，10b，10c，10d)中的另一个相邻的角形元件(10a，10b，10c，10d)上。本发明还涉及另一种用于转动率传感器装置的耦合结构(40)、转动率传感器、用于转动率传感器装置的耦合结构(40)的制造方法以及用于转动率传感器装置的制造方法。
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