公开(公告)号：CN101506839B

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN200780030442.9

申请日：2007-07-25

申请人： 于利奇研究中心有限公司

发明人： A·瑟斯特 ,  J·巴塞尔

IPC分类号： G06T5/00 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/222 ,  G06K9/03 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/2617 ,  H01J2237/2823

摘要： 本发明涉及一种用于测量二维图像相似性的方法，其中至少一个图像包含附加信号，其位置依赖性或者对称特征至少可以估计出来。本发明涉及所述图像被分割成相互等同的子图像，使得至少一个子图像在附加信号的梯度方向上的范围小于此子图像在与此垂直的方向上的范围。所述子图像被单独比较并且组合所有比较的结果以便形成相似性的测量结果。因而，这使所述方法对于附加信号的变化并不敏感。所述方法尤其适合于确定在电子显微镜图像中的散焦和散光。这取决于实验测量的图像与以散焦和散光的特定值产生的模拟图像的相似性比较。

公开(公告)号：CN102668014A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201080053246.5

申请日：2010-11-15

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 千野肇 ,  绵引胜 ,  岩谷彻

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/24

CPC分类号： H01J37/265 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26

摘要： 本发明的带电粒子显微镜系统的特征在于，将带电粒子显微镜的操作项目限定于显示在GUI画面(2)上的控制按钮中的项目。若用户在带电粒子显微镜的GUI画面(2)上仅操作了一次与希望的观察条件相对应的控制按钮(41、42、43)，则能够根据所述观察条件，设定保存在表中的电子光学条件，并进行测定。由此，能够提供直观且容易操作的带电粒子显微镜用的图形用户界面环境。

公开(公告)号：CN101057309B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200580038508.X

申请日：2005-09-12

申请人： 代夫特工业大学 ,  科学技术基金会

发明人： 扬·弗雷德里克·克里默 ,  亨德里克·威廉·桑德贝尔根 ,  帕斯夸利纳·玛丽亚·萨罗

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/206

摘要： 一种用在显微镜中的微反应器，包括第一和第二覆盖层(13)，这两个覆盖层对于电子显微镜的电子束(14)来说至少是部分透明的，并且彼此延伸一段共有距离，在该二者之间围成腔室(15)，并且其中，设置有用于穿过腔室馈送流体的入口(4)和出口(5)，并且其中，设置有加热装置(8)，用于加热腔室和/或其中提供的元件。

公开(公告)号：CN102539006A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110377983.7

申请日：2011-11-24

申请人： FEI公司

发明人： S.H.L.范登博姆 ,  P.多纳 ,  L.F.T.克瓦克曼 ,  U.吕肯 ,  H-W.雷米吉 ,  H.N.斯林格兰 ,  M.弗海杰恩 ,  G.J.范德瓦特

IPC分类号： G01K11/00

CPC分类号： G01K5/68 ,  G01K11/20 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/24585

摘要： 本发明涉及一种用于测量带电粒子光学装置中的样本载体的温度的方法，其特征在于该方法包括用带电粒子束观察样本载体，该观察给出关于样本载体的温度的信息。本发明基于带电粒子光学装置（诸如TEM、STEM、SEM或者FIB）可以用来观察样本载体的与温度有关的改变这样的领悟。改变可以是（例如双金属物质的）机械改变、（例如钙钛矿的）结晶改变和（强度或者衰减时间中的）的发光改变。在一个优选实施例中，样本载体表现出两个双金属物质（210a，210b），其表现出在相反方向上弯曲的具有不同热膨胀系数的金属（208，210）。使用两个双金属物质之间的距离作为温度计。

公开(公告)号：CN102384922A

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN201110246288.7

申请日：2011-08-25

申请人： FEI公司

发明人： U.吕肯 ,  F.J.P.舒尔曼斯 ,  C.S.库伊曼

IPC分类号： G01N23/08

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/05 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2817

摘要： 本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。

公开(公告)号：CN101461026B

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200780020701.X

申请日：2007-04-26

申请人： FEI公司

发明人： J·A·H·W·G·珀素恩 ,  A·T·恩格伦 ,  S·利克特尼格 ,  P·H·J·范多伦

IPC分类号： H01J37/28 ,  F16J15/50

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006

摘要： 本发明涉及与包含真空室(11)的装置一起使用的滑动轴承，该滑动轴承包括：一侧与真空室接触的基板，该基板设有与所述真空室(11)连通的第一通孔(21)；第二板(30)，该第二板的一侧与基板20接触，该第二板设有第二通孔(31)；基板与第二板彼此面对的表面非常光滑以形成一个没有弹性的真空密封；基板(20)与第二板(30)能够在第一通孔与第二通孔没有重叠的第一相对位置及第一通孔与第二通孔重叠的第二相对位置之间滑动。其特征是：第二板(30)是柔性板，柔性板上在基板对面的表面用来密封杯体(50)，该杯体用于容纳标本(1)，基板上的第一通孔(21)具有一个面向柔性板(30)的带有可控制弯曲度的边缘，这个边缘弯曲度的形成使基板与柔性板之间的真空密封形成一个明确轮廓，及赫兹接触压力小于一个预定义的最大接触压力，选择所述预定义的最大接触压力可将粒子产生减至最低程度。

公开(公告)号：CN102262996A

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN201110145305.8

申请日：2011-05-31

申请人： 北京工业大学

发明人： 韩晓东 ,  岳永海 ,  张跃飞 ,  刘攀 ,  郑坤 ,  张泽

IPC分类号： H01J37/20 ,  G01N23/04

CPC分类号： H01J37/20 ,  G01N3/08 ,  G01N23/04 ,  G01N2203/0286 ,  G01N2223/307 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/2062

摘要： 透射电镜用双轴倾转的原位力、电性能综合测试样品杆属于透射电子显微镜配件及纳米材料原位测量研究领域。本发明包括自设计透射电镜样品杆，力电性能传感器，压片，样品头前端，传感器载台；力电性能传感器通过压片固定在样品杆前端上的传感器载台上，传感器载台通过位于两侧的转轴与样品杆前端连接并且可以绕这两个转轴在垂直于样品杆前端的平面内旋转(即绕着Y轴旋转，±30°)；力电性能传感器上的电极通过压片连接到位于样品杆前端两侧的电极上，经样品杆内的导线连接到外部测试设备上实现力电信号的面内加载(传感器平面内)及反馈的实时监测。本发明可将研究样品倾转到低指数正带轴下实现原位原子尺度观察的同时获得力、电综合性能参数。

公开(公告)号：CN102027562A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200980117115.6

申请日：2009-03-16

申请人： 谢菲尔德大学

发明人： G·默布斯 ,  G·魏 ,  X·徐 ,  J·J·王 ,  R·盖 ,  A·J·罗克伍德 ,  B·因克森

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01L41/09

CPC分类号： H01J37/20 ,  G21K7/00 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20242 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/2617 ,  H02N2/0095

摘要： 一种适合于在透射电子显微镜中断层照相检验试样的试样夹持器组件(500)，包括：主体部分(501)，该主体部分(501)取细长构件的形式，所述细长构件安排成可移动地插入显微镜的支柱中；和操纵器部分，该操纵器部分具有第一轴线，操纵器部分包括：试样安装部分(510)，该试样安装部分(510)配置成支承试样；试样平移组件(530)，该试样平移组可操纵，以便相对于主体部分平移试样安装部分；和试样旋转组件(540)，该试样旋转组件(540)结合到主体部分和试样平移组件(530)上，试样旋转组件可操纵，以便绕第一轴线相对于主体部分旋转试样平移组件。

公开(公告)号：CN101957327A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010229845.X

申请日：2010-07-13

申请人： FEI公司

发明人： B·H·弗雷塔格 ,  G·A·罗森萨尔 ,  D·W·小菲弗

IPC分类号： G01N23/00 ,  G01N23/02

CPC分类号： G01N23/2251 ,  G01N2223/611 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2008

摘要： 本发明涉及用于检查样品的方法。本发明描述一种在电子显微镜中检查样品的方法。样品支座500示出连接焊垫505、508与样品要被放置在其上的区域A的电极504、507。在把样品放置在样品支座上后，在样品上沉积导电图案，以便电压和电流可以被施加到样品的局部化的部分。在样品上施加图案可例如用束诱导沉积或喷墨印刷来完成。本发明还教导在样品中建立电子部件，诸如电阻器、电容器、电感器和有源元件诸如FET。

公开(公告)号：CN100359626C

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN03813914.6

申请日：2003-06-16

申请人： NFAB有限公司

发明人： 德里克·安托尼·伊斯特汉

IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/063 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/26 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/06375

摘要： 电子源是真空中的纳米尖端，如近场显微镜方法中所使用的。离子源是相似的真空中的纳米尖端，其提供有如液体金属离子源中的液体金属(镓)。通过使尖端位于孔隙极板的中心并且向尖端施加适当的电压，从该纳米尺寸的尖端提取电子或者离子。该电子(离子)通过该极板，并且在使用另外的微米级(或者纳米级)圆柱形透镜聚焦之前，使用纳米级/微米级加速镜筒将该电子(离子)加速至数KeV。最终的元件是像差校正的微型(或者次微型)单透镜，其可以将粒子束聚焦在距离设备末端几毫米的位置处。