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公开(公告)号：CN101795962A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200880103589.0
申请日：2008-05-28
CPC classification number: B81B7/04 , B81B2201/0214 , B81C2201/0149 , B82Y30/00 , G01N29/036 , G01N2291/0256
Abstract: 本发明涉及一种微机电和纳米机电设备及其生产方法。所述创造性方法的其中一个改变是基于对自组织和自校准机械设备的运用来生产纳米机电结构，由此与传统照相平板印刷术相比，使其基本几何参数不再受到限制，这使得集成度能够达到1016m-2或更高。此外，本发明的一个创造性方面以其独立选取坐标的形式运用所述元件的工行怎频率，由此降低了要求互连的密度。本发明的其他方面提供了一种对给定气体或颗粒表现出极高测量灵敏度的气体传感器，其具有多用途且选择灵活的机械设备和可控制的感应能力恢复过程。本创造性结构为测量振荡元件的共振频率提供了一种简便的方法，所述方法不要求高频信号分析。
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公开(公告)号：CN100348323C
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN03820921.7
申请日：2003-09-05
Applicant: 英特尔公司
IPC: B01L3/00
CPC classification number: B01L3/502715 , B01J2219/00639 , B01L3/50255 , B01L3/502753 , B01L2300/0636 , B01L2300/0681 , B01L2300/0887 , B81B2201/0214 , Y10T137/2224
Abstract: 本发明提供一种微流体装置，其包括集成多孔衬底/传感器，用以检测目标生化分子和化合物。一方面，多个上微流体通道和下微流体通道分别被限定在一个衬底的其中一半处，组装时，两者被夹在一个多孔薄膜的周围。另一方面，所述上通道和所述下通道被形成，以致一部分的下通道会通过一部分的上通道下方，构成一跨通道区，其中所述薄膜位于所述两个通道之间。在各个实施例中，一个或多个薄膜位于由一个或多个上通道和下通道所限定的对应的跨通道区附近。所述多孔薄膜还具有传感特性，因而可产生光学和/或电子特性的变化。因此，本装置可进一步包括测量所述变化的仪器或检测设备，例如光学式检测器和电子仪器。
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公开(公告)号：CN1576841A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410070312.6
申请日：2004-07-29
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: B82Y20/00 , B01J2219/00382 , B01J2219/00385 , B01J2219/00436 , B01J2219/00527 , B01J2219/00576 , B01J2219/00596 , B01J2219/00605 , B01J2219/00612 , B01J2219/00617 , B01J2219/00619 , B01J2219/00621 , B81B2201/0214 , B81B2201/06 , B81C1/00206 , B81C99/009 , B82Y5/00 , B82Y10/00 , G02F2001/01791 , G02F2202/32 , H01S5/3412
Abstract: 本发明涉及规模化生产生物芯片、蛋白质芯片、量子点、量子芯片等微小的结构体特别是纳米级的结构体的方法。其主要采用如下技术方案，在基片11上二维排列抗原12，为使探针13的结合部位同抗原12结合，朝向同一方向二维排列探针13；从探针13朝上的一侧通过喷溅或真空蒸镀在基片11上堆积无机物质形成平坦的薄膜层16，在形成的平坦的薄膜层16的上表面通过电铸法析出相同的无机物质形成支持层；随后，从基片11一起剥离薄膜层16和支持层17，得到具有生物分子形状的模穴19的母版压膜18。
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公开(公告)号：CN1297530A
公开(公告)日：2001-05-30
申请号：CN99805124.1
申请日：1999-02-04
Applicant: 汉斯·戈兰·伊瓦尔德·马丁 , 珀·奥夫·厄曼
Inventor： 汉斯·戈兰·伊瓦尔德·马丁 , 珀·奥夫·厄曼
CPC classification number: B81C1/0046 , B81B2201/0214 , B81B2203/0136 , B81C2201/034 , G01J5/12 , G01N21/3504 , G02B6/3652 , G02B6/3696 , G02B6/4219 , G02B6/423 , G02B6/4246 , H01L21/4803 , H01L35/08 , H01L35/34
Abstract: 本发明涉及一种制造气敏传感器的方法,所述气敏传感器与检测器配合,用于检测穿过气室的红外线这样的电磁波。气室(2)包括用于包围气体容积(G)以进行估算测量的空腔(21)。形成气室或空腔内壁的表面或部分表面涂有一个或多个金属层(M1,M2),用于提供高度反射所述电磁波的反射表面。检测器(3)由热敏元件组成且形成在基座(31)上。形成所述检测器的那部分基座由一个或多个拓扑结构的表面区域组成。至少所述那个表面区域或那些表面区域涂有用于形成所述热电偶的第一和第二导电金属层(分别为M1和M2)。第一金属层(M1)以非90°的第一角施加,第二金属层也以非90°且不同于第一角的第二角施加。利用第一和第二金属层(M1,M2)彼此叠加在离散的与检测器相关的表面部分内的优点,包括由此涂敷的导电层的拓扑图形结构和/或轮廓提供了一个或多个热电偶的功能。
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公开(公告)号：CN109668949A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811195171.9
申请日：2018-10-15
Applicant: 马克西姆综合产品公司
CPC classification number: B01L3/508 , B01L3/502715 , B01L2200/026 , B01L2200/0647 , B01L2300/042 , B01L2300/0645 , B01L2300/0848 , B01L2300/0877 , B01L2300/0887 , B81B7/0061 , B81B2201/0214 , B81B2203/04 , B81C1/00309 , B81C2203/035 , G01N27/30 , G01N33/50
Abstract: 一种传感器系统包括被配置用于接收流体样本的测定腔室。分配化学品被布置在所述测定腔室内。第一电极结构包括至少一个导电元件，并且靠近所述第一电极结构的第二电极结构被配置用于通过所述流体样本来传输电信号。所述第一电极结构被配置用于接收通过所述流体样本传输的所述电信号并且响应性地生成感测信号。所述感测信号指示所述流体样本与所述分配化学品的相互作用。控制器电耦合至所述第一电极结构并且被配置用于至少基于由所述第一电极结构生成的所述感测信号来识别所述流体样本中的至少一种分析物。所述第一电极结构嵌入在衬底基板内，并且所述第二电极结构嵌入在耦合至所述衬底基板的微流体盖件内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109502537A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811083883.1
申请日：2018-09-17
Applicant: 梅斯瑞士公司
Inventor： P.德尔雅卡
CPC classification number: H04R19/00 , B81B2201/0214 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2207/012 , B81C1/0023 , B81C1/00309 , B81C2203/019 , B81C2203/035 , H04R1/06 , H04R31/006 , H04R2499/10 , H05K1/181 , H05K2201/10151 , H05K2203/1147 , B81B3/00 , B81B3/0027 , B81B7/0032 , B81B7/02 , B81C1/00134 , B81C1/00261
Abstract: 本发明涉及传感器组件、组装这样的传感器组件的对应方法、以及传感器系统。传感器组件包括至少一个换能器元件(106，106’，106”；206；306；406)，用于监测至少一个被测变量并生成与至少一个被测变量相关的电输出信号；以及传感器基板(112；312；406)，其包括换能器元件。传感器基板(112；312；406)可安装在电路载体(104；204；304；404)上，使得穿透电路载体的介质通道(124)允许至少一个被测变量到换能器元件的接取。电路载体具有导电的可焊接的第一密封图案(132；432)，其至少部分地围绕介质通道且与布置在传感器基板上的可焊接的第二密封图案(134；434)对齐，使得至少部分地围绕介质通道的焊接的密封连接形成在第一密封图案和第二密封图案之间。
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公开(公告)号：CN108931515A
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201810521807.8
申请日：2018-05-25
Applicant: 三星电子株式会社 , 加利福尼亚州技术学院
CPC classification number: G01J3/4412 , B81B2203/0361 , B81B2207/056 , B81C1/00206 , B81C2201/0104 , B82Y15/00 , B82Y30/00 , C23C18/06 , C23C18/08 , G01N21/658 , B81B2201/0214 , B81C1/00031
Abstract: 公开了一种感测用基底，制造感测用基底的方法。感测用基底包括：支撑层；多个金属纳米微粒簇，布置在所述支撑层上；以及多个穿孔，布置在所述多个金属纳米微粒簇之间。所述多个金属纳米微粒簇各自包括以三维结构堆叠的多个金属纳米微粒。所述多个穿孔中的每一个中传送入射光。
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公开(公告)号：CN106458575B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201580024337.9
申请日：2015-05-08
Applicant: 因文森斯公司
CPC classification number: B81B7/02 , B81B2201/0214 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2201/0278 , B81B2201/0292 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , B81C1/0023 , B81C2203/0792 , H01L2224/48091 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2924/16152 , H04R1/04 , H04R19/04 , H04R29/004 , H04R2201/003 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本文披露一种包括至少一环境感测器以及至少一MEMS声敏感测器的集成封装件。该封装件包含一分享端口，用于将该两个感测器暴露于该环境中，其中，该环境感测器测量该环境的特性，该声敏感测器测量声波。该端口将该环境感测器暴露于气流以及将该声敏感测器暴露于声波。该声敏感测器的一个实施例为一麦克风，该环境感测器的一个实施例为湿度感测器。
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公开(公告)号：CN104326435B
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201410351867.1
申请日：2014-07-22
Applicant: 原子能和替代能源委员会
CPC classification number: B81B7/0061 , B81B7/007 , B81B2201/0214 , B81B2201/0292 , B81B2201/058 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , B81C1/00269 , B81C1/00309 , B81C2203/0118 , G01N30/6095
Abstract: 本发明涉及具有流体通道的装置以及用于制造该装置的方法，所述装置包括基底，基底包括至少一个微电子和/或纳米电子结构和一个流体通道(2)，微电子和/或纳米电子结构包括至少一个敏感部分，流体通道(2)被限定在基底与帽盖(6)之间，其中，流体通道(2)包括至少两个开口以便实现所述通道中的流动，其中，微电子和/或纳米电子结构位于流体通道内部，其中，帽盖与基底在装配界面处装配，其中，所述装置包括所述微电子和/或纳米电子结构与所述流体通道(2)外部之间的至少一个电连接，其中，所述电连接(8)由穿过基底(4)并且位于所述微电子和/或纳米电子结构正下方而且与所述微电子和/或纳米电子结构接触的通孔形成。
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公开(公告)号：CN104555897B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201410550919.8
申请日：2014-10-16
Applicant: 原子能和替代能源委员会
Inventor： 埃里克·奥里尔 , 弗里德里克-格扎维埃·盖拉德 , 卡琳·马库克斯
IPC: B81C1/00
CPC classification number: C25F3/12 , B81B2201/0214 , B81C1/00206 , B81C2201/0115 , C25F3/02
Abstract: 一种用于制作至少一个多孔区域(ZP)的工艺，所述至少一个多孔区域(ZP)在导电的有源层(6)的至少一部分中，有源层(6)形成堆叠的正面，堆叠层包括导电材料的背面(2)以及介于有源层(6)与背面(2)之间的绝缘层(4)，所述工艺包括以下步骤：a)在背面(2)与有源层(6)之间制作穿过绝缘层(2)的至少一个接触垫(14)；b)将堆叠放置在电化学槽中；c)在背面(2)与有源层(6)之间施加一个通过接触垫(14)的电流，以引起接触垫(14)附近的有有源层(6)的区域(ZP)的多孔化；d)形成微电子结构。
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