公开(公告)号：CN101052919B

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200580037457.9

申请日：2005-10-25

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 岸冈高广 ,  畑中真 ,  木村茂雄

IPC: G03F7/11 ,  C08G59/14 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/091 ,  C08G59/1433 ,  C08G59/1483 ,  C08G59/26 ,  C08G59/28 ,  Y10S438/952

Abstract: 本发明的课题在于提供，能够形成防反射光效果好，与光致抗蚀剂不发生混合，具有比光致抗蚀剂大的蚀刻速度，能够形成在下部没有褶边状(基脚：footing)的光致抗蚀剂图案，在采用ArF准分子激光和F2准分子激光等光刻工艺中能够使用的防反射膜，和用于形成该防反射膜的形成光刻用防反射膜的组合物，本发明提供了形成光刻用防反射膜的组合物，它含有高分子化合物、交联性化合物、交联催化剂、磺酸酯化合物和溶剂。

公开(公告)号：CN101959926A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107398.6

申请日：2009-03-09

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 高山祐树 ,  畑中真 ,  安井圭 ,  齐藤大悟

IPC: C08G61/10 ,  C07C45/70 ,  C07C49/786 ,  C07C67/333 ,  C07C69/76 ,  C09D165/02 ,  C07B61/00

CPC classification number: C07C45/70 ,  C07C67/313 ,  C07C67/343 ,  C07C69/76 ,  C08G61/10 ,  C08G2261/135 ,  C08G2261/1428 ,  C08G2261/312 ,  C08G2261/94

Abstract: 本发明的课题是提供具有优异的透明性和耐热性、高折射率以及对各种溶剂优异的溶解性，并且在变成溶液后粘度低、操作性优异的高分子化合物和该高分子化合物的制造方法、以及含有该高分子化合物组合物。本发明提供了下式(1)所示的芳酰基联苯化合物，使用该化合物得到的高分子化合物，以及含有作为成分(A)的上述高分子化合物和作为成分(B)的交联性化合物的热固化膜形成用高分子组合物[式中，X表示卤原子，R1表示氢原子、式(2a)或式(2b)所示的基团，式(2a)和式(2b)中，R2和R3分别独立地表示氢原子或碳原子数为1～6的烷基]。

公开(公告)号：CN1954265A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200580015398.5

申请日：2005-05-11

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  木村茂雄 ,  榎本智之

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/20 ,  G03F7/38 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0392 ,  G03F7/091 ,  G03F7/095 ,  G03F7/11 ,  G03F7/168

Abstract: 本发明的课题在于提供一种形成防反射膜的组合物，其用于形成在半导体器件制造的光刻工序中使用的、可通过光致抗蚀剂用碱性显影液进行显影的防反射膜，还提供一种使用该形成防反射膜的组合物的光致抗蚀剂图案的形成方法。本发明通过提供下述组合物解决了上述课题，即，一种形成防反射膜的组合物，其包含：具有至少2个乙烯基醚基的化合物、具有至少2个酚性羟基或羧基的碱可溶性化合物、光酸发生剂和溶剂。

公开(公告)号：CN1954264A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200580015922.9

申请日：2005-05-25

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 饭沼洋介 ,  辻新祐 ,  畑中真

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/022 ,  G02B3/0012 ,  G03F7/0233

Abstract: 本发明的课题在于提供一种不产生异物、不降低透明性、膜残留率等其他特性、高灵敏度的正型感光树脂组合物，提供由该正型感光树脂组合物获得的层间绝缘膜和微透镜。本发明通过提供下述组合物而解决了上述课题，即，一种正型感光树脂组合物，其特征在于，含有下述(A)成分、(B)成分和溶剂，(A)成分：选自以不饱和羧酸及其衍生物中的至少1种作为必要单体进行共聚而成的聚合物中的至少1种碱可溶性树脂；(B)成分：式(1)所示的1，2－醌二叠氮化物，式中，D1～D3分别独立地表示氢原子或具有1，2－醌二叠氮基的有机基团，其中，D1～D3中的至少1个是具有1，2－醌二叠氮基的有机基团，另外，n表示1～3的整数，R表示1价的有机基团。

公开(公告)号：CN105765458B

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN201480065093.4

申请日：2014-10-20

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 内山芽育 ,  菅野裕太 ,  石田智久 ,  畑中真

IPC: G03F7/031 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/004 ,  G03F7/028 ,  G03F7/033

Abstract: 本发明提供一种负型感光性树脂组合物，其固化速度增大，即使为15μm以上的膜厚也能够利用从基材的背面曝光使涂膜表面充分地固化，可以形成微细的透明结构体。作为解决本发明课题的方法为含有(A)成分、(B)成分、(C‑1)成分、(C‑2)成分和(D)成分的感光性树脂组合物。(A)成分：碱溶性共聚物，(B)成分：具有2个以上选自丙烯酸酯基、甲基丙烯酸酯基、乙烯基和烯丙基中的至少1种聚合性基团的化合物，(C‑1)成分：具有肟酯基、且365nm时的甲醇中或乙腈中的吸光系数为5,000ml/g·cm以上的光引发剂，(C‑2)成分：365nm时的甲醇中或乙腈中的吸光系数为100ml/g·cm以下的光引发剂，(D)成分：溶剂。

公开(公告)号：CN107429081B

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN201680014475.3

申请日：2016-03-10

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 菅野裕太 ,  伊藤润 ,  畑中真

IPC: C08L33/04 ,  C09D4/02 ,  C07C69/736 ,  C08K5/101 ,  C08L61/28 ,  C08L101/02 ,  C09D7/63 ,  C09D201/02 ,  G02B5/30 ,  G02F1/13363 ,  G02F1/1337

Abstract: 本发明的课题是提供适合形成具有优异的液晶取向性的固化膜的固化膜形成用组合物，提供取向材，提供使用该取向材的相位差材。该固化膜形成用组合物含有：(A)具有下述式(1)所示的基团的肉桂酸酯中的一种或多种(式中，R1和R2分别独立地表示氢原子或烷基，R3表示烷基等，X1表示可以被取代的亚苯基。)；(B)选自下述(B‑1)～(B‑3)中的至少一种的聚合物，(B‑1)：具有至少2个选自羟基、羧基、酰胺基、氨基、烷氧基甲硅烷基和下述式(2)所示的基团中的基团的聚合物(式中，R62表示烷基、烷氧基或苯基。)，(B‑2)：能够与选自羟基、羧基、酰胺基、氨基、烷氧基甲硅烷基和上述式(2)所示的基团中的至少一种基团发生热反应且能够自交联的聚合物，(B‑3)：三聚氰胺甲醛树脂；以及(C)交联剂(其中，在(B)成分为上述(B‑2)时，(C)成分可以与(B‑2)成分相同。)，本发明还涉及固化膜、取向材、相位差材。

公开(公告)号：CN111240102A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN202010199285.1

申请日：2015-08-27

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 伊藤润 ,  畑中真 ,  大村浩之 ,  汤川升志郎 ,  菅野裕太

IPC: G02F1/1337 ,  G02F1/13363 ,  G02B5/30 ,  C09D201/00 ,  C09D133/14 ,  C09D7/40

Abstract: 本发明的课题在于提供一种固化膜形成用组合物，所述固化膜形成用组合物用于提供具有优异的垂直取向性和密合性、即使在树脂膜上也能以高灵敏度使聚合性液晶垂直取向的取向材料、和使用了这样的取向材料的相位差材料。其解决手段是：固化膜形成用组合物，其特征在于，含有(A)具有垂直取向性基团和能够热交联的官能团的聚合物、(B)交联剂、以及(C)密合促进剂和(D)具有热交联性基团的聚合物中的任意一者或两者；取向材料，其特征在于，是使用该组合物得到的；相位差材料，其特征在于，是使用该组合物得到的。

公开(公告)号：CN105474083B

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201480046361.8

申请日：2014-08-26

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  大村浩之 ,  后藤耕平 ,  菅野裕太

IPC: G02F1/1337 ,  G02B5/30 ,  G02F1/13363

Abstract: 本发明提供一种具备优异的垂直取向性，即使在树脂膜上也可以以高灵敏度使聚合性液晶垂直地取向的取向材，以及用于提供使用这样的取向材的相位差材的固化膜形成用组合物。作为解决本发明课题的手段为固化膜形成用组合物、取向材、相位差材，所述固化膜形成用组合物的特征在于，含有(A)聚合物、以及选自(B)交联剂和(C)酸催化剂中的至少一种化合物，该(A)聚合物为使具有羧基和垂直取向性基团的化合物的羧基对侧链或末端具有1个以上环氧基的聚合物的环氧基进行反应而得的聚合物，所述取向材的特征在于，是使用该组合物而获得的，所述相位差材的特征在于，是使用该组合物而获得的。

公开(公告)号：CN106459324B

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201580034050.4

申请日：2015-06-29

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 伊藤润 ,  汤川升志郎 ,  菅野裕太 ,  后藤耕平 ,  畑中真

IPC: C08F290/12 ,  G02B5/30 ,  G02F1/1337

Abstract: 本发明的课题是提供，表层具有具备优异的液晶取向性和密合性的固化膜的光学膜、取向材料、以及使用该取向材料的相位差材料。本发明的解决方法是一种固化膜形成用组合物、取向材料、和相位差材料，该固化膜形成用组合物的特征在于，含有(A)成分、(B)成分和(C)成分，(A)成分：具有光取向性基团和热交联性基团的化合物中的至少一种，(B)成分：包含具有N‑烷氧基甲基的重复单元和具有包含聚合性C＝C双键的侧链的重复单元的聚合物，所述(C)成分为选自(C‑1)、(C‑2)以及(C‑3)中的至少一种聚合物，(C‑1)：具有选自羟基、羧基、酰胺基、氨基和烷氧基甲硅烷基中的至少一种取代基的聚合物，(C‑2)：具有可与(A)成分进行热反应的取代基、且可进行自交联的聚合物，(C‑3)：三聚氰胺甲醛树脂。

公开(公告)号：CN110256630A

公开(公告)日：2019-09-20

申请号：CN201910432968.4

申请日：2015-02-27

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 汤川升志郎 ,  伊藤润 ,  后藤耕平 ,  菅野裕太 ,  大村浩之 ,  畑中真

IPC: C08F222/20 ,  C08F222/38 ,  C08F220/14 ,  C08F220/20 ,  C08L33/12 ,  C08L35/02 ,  C08L35/00 ,  C08L33/14 ,  G02F1/13363 ,  G02F1/1337

Abstract: 本发明提供可以用于提供具有优异的光反应效率，可以以高灵敏度使聚合性液晶取向的取向材的相位差材形成用树脂组合物。作为解决本发明课题的方法涉及一种能够热固化的相位差材形成用树脂组合物，以使用该组合物而得作为特征的取向材，以及使用由该组合物获得的固化膜而形成作为特征的相位差材，所述能够热固化的相位差材形成用树脂组合物的特征在于：含有树脂作为(A)成分，所述树脂具有热反应性部位直接结合或经由连接基团而连接的光取向性基团。