二氧化硅系复合微粒分散液、其制造方法以及包含二氧化硅系复合微粒分散液的研磨用浆料

    公开(公告)号:CN107428544A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201680019610.3

    申请日:2016-03-30

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种即便是二氧化硅膜、Si晶片、难以加工的材料也可以高速研磨,同时可以实现高表面精度(低划痕等),进而由于不含杂质,因此能够在半导体基板、布线基板等的半导体器件的表面的研磨中优选使用的二氧化硅系复合微粒分散液。本发明通过一种二氧化硅系复合微粒分散液来解决上述课题,其包含二氧化硅系复合微粒,该二氧化硅系复合微粒在以无定形二氧化硅为主要成分的母颗粒的表面上结合有以结晶性二氧化铈为主要成分的子颗粒,进而具有覆盖这些颗粒的二氧化硅覆膜,且具备下述特征。母颗粒与子颗粒的质量比为特定范围。当供于X射线衍射时,仅检测到二氧化铈的结晶相。结晶性二氧化铈的(111)面(2θ=28度附近)的微晶直径为特定范围。Na等的含有率低。二氧化硅覆膜的Si原子数%相对于Ce原子数%的比为特定范围。

    透明被膜形成用涂布液以及带透明被膜的基材

    公开(公告)号:CN102408798B

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201110212725.3

    申请日:2011-07-19

    Abstract: 本发明提供导电性无机氧化物微粒的掺入量少的情况下也能够具有高导电性,透明性高,着色以及干涉条纹被抑制,经济性也良好的可形成带透明被膜的基材的透明被膜形成用涂布液。本发明的透明被膜形成用涂布液含有导电性无机氧化物微粒、基质形成成分以及分散介质,所述导电性无机氧化物微粒经以下述式(1)表示的有机硅化合物表面处理而形成,分散介质含有酮类,总固体成分的浓度在1-60质量%的范围内,表面处理了的导电性无机氧化物微粒为非凝聚且高分散,其作为固体成分的浓度在0.01-6质量%的范围内,基质形成成分的固体成分的浓度在0.1-59.4质量%的范围内,获得的透明被膜中导电性无机氧化物微粒能形成为链状结构,Rn-SiX4-n (1)其中,R为碳数1-10的非取代或取代的烃基,相互相同或不同,X:碳数1-4的烷氧基、羟基、卤素、氢、n:0-3的整数。

    利用使用完的催化剂的废气处理催化剂的制造方法以及废气处理催化剂

    公开(公告)号:CN104941628A

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201510140096.6

    申请日:2015-03-27

    Abstract: 本发明提供一种利用使用完的含氧化钛废气处理催化剂的,成型性、强度、耐摩损性等优良的同时废气处理催化剂性能优良的废气处理催化剂的制造方法。该废气处理催化剂的制造方法是:粉碎使用完的含氧化钛废气处理催化剂制成平均粒径为0.1~15μm的粉体之后,将硫酸氧钛水溶液及/或偏钛酸浆料、和该使用完的含氧化钛废气处理催化剂粉体进行混合,制成混合浆料,使得硫酸氧钛水溶液及/或偏钛酸浆料的以TiO2计的浓度(CT)和经粉碎的使用完的含氧化钛废气处理催化剂的以固体成分计的浓度(CRC)的浓度比(CT)/(CRC)达到0.1~9.0的范围,对该混合浆料进行过滤后添加碱性化合物,中和硫酸氧钛及/或偏钛酸,制备pH在7~12的范围内的氧化钛凝胶,对该凝胶进行烧成,接着进行粉碎,制备氧化钛类微粉末,混合该氧化钛微粉末和增强材料,对混合物进行成型后烧成。

    改性氧化锆微粒粉末、改性氧化锆微粒分散溶胶及其制造方法

    公开(公告)号:CN103922397A

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201310014575.4

    申请日:2013-01-15

    Abstract: 本发明提供分散性、流动性优异的改性氧化锆微粒粉末、改性氧化锆微粒分散溶胶及其制造方法,该粉末是经有机硅化合物表面处理的改性氧化锆微粒的粉末,其特征在于,平均二次粒径(DM2)在5~500nm的范围、平均一次粒径(DM1)在5~500nm的范围、平均二次粒径(DM2)与平均一次粒径(DM1)之比(DM2)/(DM1)在1~10的范围。所述有机硅化合物为下式(1)表示的有机硅化合物,该微粒中的有机硅化合物的含量以Rn-SiO(4-n)/2(n为1~3的整数)计为1~50重量%的范围,29Si MAS NMR谱的主峰的半宽度在3~15ppm的范围。Rn-SiX4-n (1)(式中,R为碳数1~10的非取代或取代烃基,可以互相相同或不同。X:碳数1~4的烷氧基、羟基、卤素、氢,n:1~3的整数)。

    附有硬质涂膜的基材和硬质涂膜形成用涂布液

    公开(公告)号:CN103897470A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201310728112.4

    申请日:2013-12-25

    Abstract: 本发明提供了一种附有硬质涂膜的基材,该硬质涂膜具有防粘连性、同时翘曲得以抑制。本发明所涉及的附有硬质涂膜的基材的特征在于,由基材和形成于该基材上的硬质涂膜构成,该硬质涂膜由(i)金属氧化物微粒(A)簇(CL)、(ii)基质成分和(iii)簇形成剂构成,至少一部分簇(CL)以在硬质涂膜表面形成凸部的形式存在,该硬质涂膜具有15~200nm的高度范围内的凸部(H凸)。此外,本发明所涉及的硬质涂膜形成用涂布液的特征在于,包含金属氧化物微粒(A)、基质形成成分、簇形成剂和分散介质,且所述金属氧化物微粒(A)浓度(CA)以固体成分计在0.025~48重量份的范围内,所述基质形成成分的浓度(CM)以固体成分计在1~59.7重量份的范围内,所述簇形成剂的浓度(CCL)以固体成分计在0.0005~6重量%的范围内,总固体成分浓度在1~60重量%的范围内,金属氧化物微粒(A)形成簇(CLP)。

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