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公开(公告)号:CN101263376B
公开(公告)日:2010-10-20
申请号:CN200680033668.X
申请日:2006-09-11
申请人: 普罗德克弗公司
发明人: D·克鲁瓦比耶
IPC分类号: G01M3/00 , F16K31/363
CPC分类号: G01M3/2876 , Y10T137/7759 , Y10T137/87917
摘要: 流体流动控制阀,包括:用于与供应管连接的入口(E);用于与排放管连接的出口(S);活动阀瓣(1),其息止时支靠在阀瓣座(2)上,以隔离所述入口(E)和所述出口(S);用于移动所述活动阀瓣(1)的动作部件(5、C),所述动作部件包括:腔室(C),其通过具有确定截面的孔眼(11)与所述入口(E)连通,所述腔室(C)相对于所述阀瓣(1)处在与所述座(2)相反的一侧,以便把所述阀瓣推到它的座上;及旁路(5),其连接所述腔室(C)至所述出口(S),所述旁路在流体通过的开放状态和关闭状态之间是可控制的,该旁路的通过截面大于所述孔眼(11)的截面,从而通过打开所述旁路而使所述腔室内的压力下降;其特征在于,所述阀集成有流体渗漏检测部件(4、5、6),所述流体渗漏检测部件能够检测所述活动阀瓣下游的渗漏。
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公开(公告)号:CN101839737A
公开(公告)日:2010-09-22
申请号:CN201010135177.4
申请日:2010-03-11
申请人: 株式会社堀场STEC
CPC分类号: G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F25/0007 , G05D7/0635 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要: 本发明提供一种优异的质量流量计等,无需特别的工时也能够灵活应对气体类型等试样流体的变更,并且可精度良好地测定流量。所述质量流量计包括:传感器部(2),对流路(1)中流动的试样流体G的流量进行侦测;设定部(4c),设定所指定的试样流体所固有的流量特性函数K和仪器误差修正参数α,流量特性函数K是按照每一流体所确定的、用以根据来自所述传感器部(2)的输出值确定流量的流量特性函数,且仪器误差修正参数α是独立于流量特性函数且为多个试样流体所共用的参数,用以对每一质量流量计的仪器误差进行修正;以及流量计算部(4d),根据流量特性函数K和仪器误差修正参数α,来计算出试样流体G的流量。
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公开(公告)号:CN101636641A
公开(公告)日:2010-01-27
申请号:CN200780044834.0
申请日:2007-07-12
申请人: MKS仪器公司
发明人: 丁军华
CPC分类号: G01F1/68 , G01F15/005 , G01F25/0007 , G05B13/042 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要: 一种具有反馈控制器增益的质量流量控制器,包括:构造成探测流经所述控制器的流体流量的传感器;设置成调节流经所述控制器的流体流量的阀;以及构造成按照所述传感器所测得的流体流量的函数来控制所述阀的处理器。所述传感器和阀设置在反馈系统内,且所述处理器基于至少一个校准气体参数与至少一个工作气体参数的比值而实时修正反馈控制器增益,以使得反馈系统的闭环传递函数无关于工作条件而保持基本上恒定,从而在不同于校准条件的工作条件下具有一致的控制性能。
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公开(公告)号:CN101405041A
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN200780008288.5
申请日:2007-01-17
申请人: 泰坦姆糖尿病护理公司
发明人: P·M·迪普尔那
CPC分类号: F15D1/00 , F15D1/02 , G05D7/01 , Y10T137/0391 , Y10T137/7759
摘要: 通过使用可变形内腔的限流器来控制流体的新装置及相关方法。内腔按照限流器上压力差的函数变形。因为流速与内腔直径的4次幂成正比,所以压力差的微小改变允许了与传统限流器系统相比流速的更大改变并提供了对流速的实时调节和微调节。
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公开(公告)号:CN101263376A
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:CN200680033668.X
申请日:2006-09-11
申请人: 普罗德克弗公司
发明人: D·克鲁瓦比耶
IPC分类号: G01M3/00 , F16K31/363
CPC分类号: G01M3/2876 , Y10T137/7759 , Y10T137/87917
摘要: 流体流动控制阀,包括:用于与供应管连接的入口(E);用于与排放管连接的出口(S);活动阀瓣(1),其息止时支靠在阀瓣座(2)上,以隔离所述入口(E)和所述出口(S);用于移动所述活动阀瓣(1)的动作部件(5、C),所述动作部件包括:腔室(C),其通过具有确定截面的孔眼(11)与所述入口(E)连通,所述腔室(C)相对于所述阀瓣(1)处在与所述座(2)相反的一侧,以便把所述阀瓣推到它的座上;及旁路(5),其连接所述腔室(C)至所述出口(S),所述旁路在流体通过的开放状态和关闭状态之间是可控制的,该旁路的通过截面大于所述孔眼(11)的截面,从而通过打开所述旁路而使所述腔室内的压力下降;其特征在于,所述阀集成有流体渗漏检测部件(4、5、6),所述流体渗漏检测部件能够检测所述活动阀瓣下游的渗漏。
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公开(公告)号:CN100385359C
公开(公告)日:2008-04-30
申请号:CN01815987.7
申请日:2001-09-14
申请人: 富加西提公司
CPC分类号: G05D7/0635 , Y10T137/0368 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要: 本发是涉及流体质量流量控制器和流体流量计及测量和控制方法。一种流体质量流量控制器(20),包括一与压力传感器(46,48)连接的控制电路(70,72,74,76,80),这些压力传感器(46,48)用于感测跨限流器(56)的压差,控制电路用于控制一阀(40),从而将流体质量流速控制到一给定点。该控制电路(70,72,74,76,80)将所测量温度下的压差和下游压力与一定范围内压差和下游压力下流过流量控制器(20)的气体的数据组进行对比,并相应调节控制速度。该流量控制器(20)包括一个两部件本体(22)。限流器(56)可包括一小孔或喷嘴,但最好包括一烧结的金属塞,该塞对于期望的材料具有预定的孔隙度和流量控制器(20)所面临的流量条件。
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公开(公告)号:CN100365339C
公开(公告)日:2008-01-30
申请号:CN200480022403.0
申请日:2004-06-10
申请人: 麦克米伦公司
CPC分类号: G05D7/0635 , F16K7/16 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要: 一种流动系统,包括化学惰性材料(聚四氟乙烯)制成的比例阀,可使包括惰性液体、高纯度液体、乃至高腐蚀性液体的流体流量变化。还可以对许多气体进行流量控制。对所要求的流体的各种流量,这种阀门可以手动或利用伺服电动机精确地进行远程或电子设定。通过将特定比例的流动参数编程到阀门结构和配置中,这种阀门能够对各种复杂的流动条件(压力、温度和粘度)提供精确和可重复的高分辨度的流量控制。
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公开(公告)号:CN1323770C
公开(公告)日:2007-07-04
申请号:CN03816992.4
申请日:2003-05-29
申请人: 高级技术材料公司
发明人: 卡尔·W·奥兰德 , 马修·B·多纳图奇 , 王录平 , 迈克尔·J·沃德延斯基
CPC分类号: F17C13/04 , F17C5/00 , F17C2201/0109 , F17C2201/0119 , F17C2201/032 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2205/0111 , F17C2205/0176 , F17C2205/0326 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2205/0394 , F17C2221/012 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2225/038 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2260/036 , F17C2260/044 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0324 , Y10T137/0419 , Y10T137/2569 , Y10T137/4259 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7793 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249
摘要: 利用和集成气管(126)可选择流体连通的气体源(102)进行气体分配的装置和方法。该集成气管(126)包括用于将气体排放到用气区域的流路(110),并且该气体源(126)包括容纳高于大气压的气体的调压气体源容器(126)。
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公开(公告)号:CN1964620A
公开(公告)日:2007-05-16
申请号:CN200480037062.4
申请日:2004-12-09
申请人: 山米奎普公司
发明人: 托马斯·N·霍尔斯基 , 罗伯特·W·米尔加特三世
CPC分类号: H01J37/3171 , C23C14/48 , C23C14/564 , H01J9/38 , H01J27/02 , H01J27/024 , H01J37/08 , H01J2209/017 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , Y10T137/0357 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761 , Y10T137/85954 , Y10T137/85978 , Y10T137/85986 , Y10T137/86002
摘要: 一种用于向一真空室输送一稳定的升华蒸气流的蒸气输送系统,其包括一固体材料气化器、一机械节流阀及一压力表、随后是一通往所述真空室的蒸气导管。所述蒸气流速取决于所述气化器的温度及位于所述气化器与所述真空室之间的机械节流阀的流导的设定值二者。所述气化器的温度取决于根据一设定点温度进行的闭环控制。所述机械节流阀受到电控制,例如阀门位置受到根据所述压力表的输出进行的闭环控制。通过此种方式,所述蒸气流速可大体与压力表输出成正比。所有暴露至自所述气化器至所述真空室的蒸气的表面均受到加热来防止冷凝。图中显示一闸阀及一旋转的蝶阀用作上游节流阀。在使用一固定的固体材料充填量时,可使所述气化器的温度在一很长的时间段内保持稳定,在所述时间段内,随着所述充填量的升华,所述节流阀从其工作范围中的一较低的流导缓慢开启。当达到一更大的阀门排放量时,升高温度,以使所述阀门重新调节至其较低的流导设定值,以使其可重新随着所述充填量的进一步消耗而缓慢开启。
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公开(公告)号:CN1313894C
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN200410047927.7
申请日:2004-06-09
申请人: 东京毅力科创株式会社
CPC分类号: H01L21/67253 , H01L21/67017 , Y10T137/2499 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8733
摘要: 本发明提供一种分压控制系统,其能够减少作用气体的白白浪费,同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置:并联设置在作用气体供给管路中,可变地控制作用气体的二个阀门(8);相对各个阀门(8)串联连接,检测作用气体的压力的压力传感器(3);基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作,由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1,P2的控制器(25)。
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