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公开(公告)号:CN113103043B
公开(公告)日:2023-02-17
申请号:CN202110387331.5
申请日:2021-04-09
申请人: 黄屹
发明人: 黄屹
IPC分类号: B23Q3/15
摘要: 本发明的通过提供了一种加工中心换刀机械手液压控制机构,包括箱体,在该箱体内的上中下位置分别安装有回转式液压缸、花键轴和伸缩式液压缸,回转式液压缸内的转动轴的轴线和伸缩式液压缸内的伸缩轴的轴线均与花键轴的轴线相互平行,花键轴与回转式液压缸之间通过主动齿轮与被动齿轮的啮合使回转式液压缸带动花键轴转动,伸缩式气缸与花键轴之间通过连杆连接,使伸缩式气缸的伸缩运动转变为花键轴的伸缩运动,从而通过回转式液压缸带动花键轴的旋转运动和伸缩式气缸带动花键轴的伸缩运动实现换刀机械手的旋转和伸缩运动,使换刀机械手能够达到指定位置进行对刀具的抓取,最终实现对刀具的更换。
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公开(公告)号:CN115527915A
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN202211186463.2
申请日:2016-06-01
申请人: 应用材料公司
发明人: 小温德尔·格伦·博伊德 , 维贾伊·D·帕克赫 , 郭塘坊 , 丁震文
IPC分类号: H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/56 , G03F7/20 , C03C17/00 , B23Q3/15 , H02N13/00
摘要: 一种制造静电卡盘的方法,包括抛光静电卡盘的陶瓷主体的表面,以产生抛光表面,并将陶瓷涂层沉积到所述陶瓷主体的所述抛光表面上,以产生经涂布的陶瓷主体。所述方法进一步包括在所述经涂布的陶瓷主体之上设置掩模,所述掩模包括多个椭圆形孔,并通过所述掩模的所述多个椭圆形孔沉积陶瓷材料,以在所述经涂布的陶瓷主体上形成多个椭圆形台面,其中所述多个椭圆形台面具有圆边。然后从所述经涂布的陶瓷主体移除所述掩模,并抛光所述多个椭圆形台面。
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公开(公告)号:CN108352354B
公开(公告)日:2022-10-14
申请号:CN201680067355.X
申请日:2016-06-01
申请人: 应用材料公司
发明人: 小温德尔·格伦·博伊德 , 维贾伊·D·帕克赫 , 郭塘坊 , 丁震文
IPC分类号: H01L21/683 , H01L21/56 , H02N13/00 , B23Q3/15
摘要: 一种制造静电卡盘的方法,包括抛光静电卡盘的陶瓷主体的表面,以产生抛光表面,并将陶瓷涂层沉积到所述陶瓷主体的所述抛光表面上,以产生经涂布的陶瓷主体。所述方法进一步包括在所述经涂布的陶瓷主体之上设置掩模,所述掩模包括多个椭圆形孔,并通过所述掩模的所述多个椭圆形孔沉积陶瓷材料,以在所述经涂布的陶瓷主体上形成多个椭圆形台面,其中所述多个椭圆形台面具有圆边。然后从所述经涂布的陶瓷主体移除所述掩模,并抛光所述多个椭圆形台面。
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公开(公告)号:CN112334289B
公开(公告)日:2022-08-02
申请号:CN201980042476.2
申请日:2019-05-31
申请人: 克斯美库股份有限公司
发明人: 儿岛良太
摘要: 提供使从穿过永磁体和磁极部件的磁路泄漏的磁通减少的磁性紧固装置。在磁性紧固装置中,在磁化状态时磁性地紧固模具的由磁性体构成的板(PL)的表面,以包围磁极部件(10)的方式配置有永磁体(20),在其背后设置有极性能够反转的可反转磁体(16)。磁极部件(10)由多个磁极片(101)、(102)、(103)、(104)构成,各磁极片具有与对置的永磁体(20)对应的形状的第1侧面(R)和相邻的磁极片彼此对置的第2侧面(T),第2侧面(T)互不干涉且第1侧面R被永磁体(20)吸附而移动。磁极片(101)、(102)、(103)、(104)从前后被抓持。
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公开(公告)号:CN114505707A
公开(公告)日:2022-05-17
申请号:CN202210074670.2
申请日:2022-01-21
申请人: 珠海格力智能装备技术研究院有限公司 , 珠海格力智能装备有限公司 , 珠海格力电器股份有限公司
IPC分类号: B23Q3/15
摘要: 本发明涉及数控机床技术领域,具体涉及一种机械臂刀具锁紧机构,包括刀臂,刀臂的端部设有夹口和刀柄锁紧杆,刀柄锁紧杆沿刀臂的长度方向延伸,刀柄锁紧杆的首端指向夹口,刀柄锁紧杆的尾端穿插在刀臂上并指向刀臂的中部,刀臂的中部设有限位块;当锁定刀柄锁紧杆时,限位块朝垂直于刀臂的方向上升且其侧面抵顶刀柄锁紧杆的尾端;当解锁刀柄锁紧杆时,限位块朝垂直于刀臂的方向下降且让出供刀柄锁紧杆移动的空间位置,该机械臂刀具锁紧机构便于快速地锁住刀具以及解锁刀具,具有锁紧效果好和容易操作的优点。
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公开(公告)号:CN113544837A
公开(公告)日:2021-10-22
申请号:CN202080019750.7
申请日:2020-03-04
申请人: 朗姆研究公司
IPC分类号: H01L21/683 , H02N13/00 , B23Q3/15 , H01J37/32 , H01L21/687 , H01L21/67
摘要: 提供了一种用于等离子体处理室的静电卡盘系统。提供了包含Al‑SiC的基板。陶瓷板设置在该基板上。粘合层将该陶瓷板粘合至该基板上。
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公开(公告)号:CN109277837B
公开(公告)日:2021-10-15
申请号:CN201811283299.0
申请日:2018-10-31
摘要: 本发明涉及一种用于船上大型设备基座面板的现场精加工装置,包括由一组横梁和一组纵梁装配而成的框架结构,框架结构上设有可滑动的滑梁,滑梁上设有可上下垂直运动的动力单元组件和与动力单元组件配合的纵向驱动装置,动力单元组件的下方设有加工头,纵向驱动装置用以驱动动力单元组件进行纵向移动;横梁下方设有水平调整装置,用以调整两根横梁之间的水平位置;纵梁上设有横向驱动装置,横梁上设有与之配合的轨道组件,滑梁的两端设有与轨道组件配合的滑块,在横向驱动装置的作用下,使得滑梁可以沿着横梁进行横向滑动。使用时,通过滑梁的横向移动,可以对需要加工的基座面板进行整体铣削精,提高加工质量和效率,满足大型设备安装精度要求。
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公开(公告)号:CN113474876A
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN202080017081.X
申请日:2020-02-25
申请人: 应用材料公司
IPC分类号: H01L21/683 , H02N13/00 , H01J37/32 , B23Q3/15 , H01L21/67
摘要: 此处提供静电卡盘的实施例。在一些实施例中,一种在基板处理腔室中使用的静电卡盘,包括:板,具有第一侧和与第一侧相对的第二侧;第一电极,嵌入板中靠近第一侧;第二电极,嵌入板中靠近第二侧;多个导电元件,将第一电极耦合至第二电极;第一气体通道,设置于板内并且介于第一电极及第二电极之间;气体入口,从板的第二侧延伸至第一气体通道;以及多个气体出口,从板的第一侧延伸至第一气体通道。
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公开(公告)号:CN112789718A
公开(公告)日:2021-05-11
申请号:CN201980064790.0
申请日:2019-09-17
申请人: 东京毅力科创株式会社
IPC分类号: H01L21/683 , H01L21/67 , H02N13/00 , B23Q3/15 , H01L21/02
摘要: 在一个示例性实施例中,本文描述了一种用于减小微粒与衬底表面之间的吸引力以辅助去除衬底表面上的微粒的新颖技术。更具体而言,利用一种多电极吸盘来辅助清洁衬底。利用该多电极吸盘减小微粒与该衬底之间的吸引力并移动该衬底表面上存在的松动微粒。使用在电极偏压波之间具有相移的交流(AC)电压对该吸盘的电极进行偏压。该衬底表面上所产生的电场波通过使微粒极化来将微粒松动,并使松动的微粒跨衬底移动。
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公开(公告)号:CN112640081A
公开(公告)日:2021-04-09
申请号:CN201980055932.7
申请日:2019-08-22
申请人: 应用材料公司
IPC分类号: H01L21/683 , H02N13/00 , B23Q3/15 , H01L51/56
摘要: 本实施方式公开了一种静电吸盘组件和一种静电吸盘制造方法,其中用于感测基板的基板感测部分和与用于向基板感测部分供电的电源设备连接的信号线已经被形成为嵌入在静电吸盘中。因此,本实施方式可提供为使得用于感测安装在静电吸盘上的基板的基板感测部分和用于向基板感测部分供电的信号线嵌入在静电吸盘中,与常规的方式相比,这可增强载体主体的刚性、防止变形并防止对所述载体主体的电极的干扰。
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